扫描电化学显微镜课件

1、扫描电化学显微镜第十二章第十二章 扫描电化学显微镜扫描电化学显微镜扫描电化学显微镜扫描电化学显微镜扫描电化学显微镜(SECM)是是80年代末由年代末由AJBard的小组提出和发展起来的一种的小组提出和发展起来的一种扫描探针显檄镜技术。它是基于扫描探针显檄镜技术。它是基于70年代末年代末超徽电极超徽电极(UME)及及80年代初扫描隧道显微年代初扫描隧道显微镜镜(STM)的发展而产生出来的一种分辨率的发展而产生出来的一种分辨率介于普通光学显微镜与介于普通光学显微镜与STM之间的电化学之间的电化学现场检测新技术。现场检测新技术。 扫描电化学显微镜与与STM和和AFM技术不同，技术不同，SECM基于电

2、化基于电化学原理工作，可测量微区内物质氧化或还学原理工作，可测量微区内物质氧化或还原所给出的电化学电流。该技术驱动非常原所给出的电化学电流。该技术驱动非常小的电极（探针）在靠近样品处进行扫描，小的电极（探针）在靠近样品处进行扫描，样品可以是导体、绝缘体或半导体，从而样品可以是导体、绝缘体或半导体，从而获得对应的微区电化学和相关信息，目前获得对应的微区电化学和相关信息，目前 可达到的最高分辨率约为几十纳米。可达到的最高分辨率约为几十纳米。扫描电化学显微镜一、一、SECM装置装置1、电化学部分（电解池、探头、基底、各、电化学部分（电解池、探头、基底、各种电极和双恒电位仪）种电极和双恒电位仪）2、压

3、电驱动器（用来精确地控制操作探针、压电驱动器（用来精确地控制操作探针和基底位置）和基底位置）3、计算机（用来控制操作、获取和分析数、计算机（用来控制操作、获取和分析数据）据）扫描电化学显微镜 SECM Block Diagram扫描电化学显微镜双恒电位仪控制探针与基底电极的电位或双恒电位仪控制探针与基底电极的电位或电流，定位装置控制探针对基底进行电流，定位装置控制探针对基底进行X、Y、Z方向扫描。电解池固定于操作台上。探方向扫描。电解池固定于操作台上。探针电极的设计和表面状态可显著影响针电极的设计和表面状态可显著影响SECM的分辨率和实验的重现性，用前需的分辨率和实验的重现性，用前需处理以获得

4、干净表面。处理以获得干净表面。扫描电化学显微镜1、探针制备、探针制备SECM探针为被绝缘层包围的超微圆盘电探针为被绝缘层包围的超微圆盘电极（极（UMDE），常为贵金属或碳纤微，半），常为贵金属或碳纤微，半径在微米或亚微米级。制作时把清洗过的径在微米或亚微米级。制作时把清洗过的微电极丝放入除氧气毛细玻璃管内，两端微电极丝放入除氧气毛细玻璃管内，两端加热封口，然后打磨至电极部分露出，由加热封口，然后打磨至电极部分露出，由粗到细用抛光布依次抛光至探针尖端为平粗到细用抛光布依次抛光至探针尖端为平面。再小心地把绝缘层打磨成锥形，以在面。再小心地把绝缘层打磨成锥形，以在实验中获得实验中获得 尽可能小的探针

5、尽可能小的探针-基底间距（基底间距（d）。）。 扫描电化学显微镜2、探针的质量、探针的质量SECM的分辨率主要取决于探针的尺寸、的分辨率主要取决于探针的尺寸、形状及探针形状及探针-基底间距（基底间距（d）。能够做出小）。能够做出小而平的超微盘电极是提高分辨率的关键所而平的超微盘电极是提高分辨率的关键所在，且足够小的在，且足够小的d与与a能够较快获得探针稳能够较快获得探针稳态电流。同时要求绝缘层要薄，减少探针态电流。同时要求绝缘层要薄，减少探针周围的归一化屏蔽层尺寸周围的归一化屏蔽层尺寸RG（ RG = r/a, r为探针尖端半径为探针尖端半径 ）值，以获）值，以获得更大的探针电流响应。得更大的

6、探针电流响应。扫描电化学显微镜 Disk-type SECM Tip扫描电化学显微镜二、工作原理二、工作原理正负反馈模式的工作原理：正负反馈模式的工作原理：工作电极：工作电极：UME探头（圆盘电极，半径是探头（圆盘电极，半径是a）基底：所研究的样品基底：所研究的样品,也可以被极化而作为第二个也可以被极化而作为第二个 工作电极工作电极作为探头的超微盘电极和基底均处于一含有作为探头的超微盘电极和基底均处于一含有电化学活性物电化学活性物R （Fe(CN)64-）的溶液中，当探针）的溶液中，当探针所处的电极电位足以使所处的电极电位足以使R的氧化反应的氧化反应（ R-ne O ）仅受溶液的扩散控制时，）

7、仅受溶液的扩散控制时，则该条件下探针上的稳态电流则该条件下探针上的稳态电流扫描电化学显微镜iT, = 4 n F C0* D0 aF:法拉第常数；法拉第常数； C0* ：溶液本体中：溶液本体中R的浓度；的浓度； D0 ：扩散系数；：扩散系数； a：探头半径：探头半径（1）当探针与基底间距）当探针与基底间距 d 大于大于5-10a时，基时，基底的存在并不影响该稳态电流值。底的存在并不影响该稳态电流值。（2）当探针与基底间距）当探针与基底间距 d 与与a相当时，探针相当时，探针上的电化学电流上的电化学电流 iT 将随距离将随距离d 的变化和基的变化和基底性质的不同而发生显著改变。底性质的不同而发生

8、显著改变。扫描电化学显微镜当处于探针下的区域为导体时，探针上产当处于探针下的区域为导体时，探针上产生的氧化态物种生的氧化态物种O扩散至该区域时可被还原扩散至该区域时可被还原成成R （ O+ ne R ） ，然后又扩散至探针，然后又扩散至探针，使探针工作表面上使探针工作表面上R的有效流量增加，因而的有效流量增加，因而iT iT, ，称为正反馈。此时在保持探针垂直距离不，称为正反馈。此时在保持探针垂直距离不变的情形下，将探针移至基底的绝缘体区域上方，变的情形下，将探针移至基底的绝缘体区域上方，R向探头表面的正常扩散因该绝缘体的存在而受向探头表面的正常扩散因该绝缘体的存在而受到阻碍，因而到阻碍，因而

9、iT iT, ，称为负反馈。称为负反馈。 扫描电化学显微镜SECM的反馈模式的反馈模式扫描电化学显微镜当探针在微位移器的驱动下对基底进行恒当探针在微位移器的驱动下对基底进行恒定高度状态下的定高度状态下的X-Y扫描时，探针电极上扫描时，探针电极上的法拉第电流将随基底的起伏或性质改变的法拉第电流将随基底的起伏或性质改变而发生相应改变，而发生相应改变，SECM就是通过电流的就是通过电流的正反馈或负反馈过程及其强弱来感应基底正反馈或负反馈过程及其强弱来感应基底表面的几何形貌或电化学活性研究的。表面的几何形貌或电化学活性研究的。扫描电化学显微镜CV of the ion Ru(NH3)63+ at a

10、10-m diameter tip in an unstirred buffer solution. 扫描电化学显微镜三、实验方法三、实验方法（一）电流法（一）电流法 该模式是基于给定探针、基底电位，该模式是基于给定探针、基底电位，观察电流随时间或探针位置的变化，从而观察电流随时间或探针位置的变化，从而获取信息的方法。获取信息的方法。1、变电流模式（恒高度）、变电流模式（恒高度）（1）反馈模式：探针既是信号的发生源又）反馈模式：探针既是信号的发生源又是检测器，被形象地称为是检测器，被形象地称为“电化学雷电化学雷达达”。扫描电化学显微镜当探针与基底建立电化学反馈电流后，恒定当探针与基底建立电化学

11、反馈电流后，恒定探针探针-基底绝对距离基底绝对距离d，即探针在基底表面进，即探针在基底表面进行等高的行等高的X，Y方向扫描，同时记录探针在方向扫描，同时记录探针在不同位置的电流大小不同位置的电流大小.扫描电化学显微镜（2）收集模式：探针（基底）上施加电位收集模式：探针（基底）上施加电位得到电生物，基底（探针）电极上记录所得到电生物，基底（探针）电极上记录所收集的该物质产生的电流，根据收集比率收集的该物质产生的电流，根据收集比率得到物质产生得到物质产生/消耗流量图。可分为探针产消耗流量图。可分为探针产生生/基底收集和基底产生基底收集和基底产生/探针收集两种。探针收集两种。扫描电化学显微镜（3）暂

12、态检测模式）暂态检测模式单电位跃记时安培法和双电位跃记时安培单电位跃记时安培法和双电位跃记时安培法用于法用于SECM研究获取暂态信息。在探针研究获取暂态信息。在探针上施加大幅度电位阶跃至扩散控制电位，上施加大幅度电位阶跃至扩散控制电位，考察还原反应，设考察还原反应，设 tc为到达稳态的时间，则为到达稳态的时间，则在绝缘体基底上在绝缘体基底上tc是（是（d2/DO）的函数，而在）的函数，而在导体基底上导体基底上tc是是d2（1/DO +1/DR ） 的函数。的函数。扫描电化学显微镜2、恒电流模式（直接模式）、恒电流模式（直接模式）通过反馈电路控制探针通过反馈电路控制探针-基底的相对间距基底的相对

13、间距d不变，并检测探针在垂直方向的位置变化不变，并检测探针在垂直方向的位置变化来实现成象过程，以提高分辨率来实现成象过程，以提高分辨率. 对于基底含有导电和绝缘体微结构的不均对于基底含有导电和绝缘体微结构的不均匀体系，应用恒电流模式可以避免恒高度匀体系，应用恒电流模式可以避免恒高度模式所引起的探头会碰到基底而撞坏的问题。模式所引起的探头会碰到基底而撞坏的问题。扫描电化学显微镜（二）电位法（二）电位法微型离子选择性电极作为微型离子选择性电极作为SECM的探针。的探针。此类探针仅传感基底附近浓度，而不产生此类探针仅传感基底附近浓度，而不产生或消耗电极反应活性物质。电极膜电位方或消耗电极反应活性物质

14、。电极膜电位方程可用于浓度空间分布的计算并确定探针程可用于浓度空间分布的计算并确定探针-基底间距范围。基底间距范围。扫描电化学显微镜（三）电阻法（三）电阻法液膜或玻璃微管离子选择性电极可用于没液膜或玻璃微管离子选择性电极可用于没有电活性物质或有背景电流干扰的体系，有电活性物质或有背景电流干扰的体系，也常用在生物体系中。在两电极之间施加也常用在生物体系中。在两电极之间施加恒电位，通过测量探针恒电位，通过测量探针-基底电极间的溶液基底电极间的溶液电阻来获得空间分辨信息。探针电极内阻电阻来获得空间分辨信息。探针电极内阻越小，灵敏度越高。越小，灵敏度越高。扫描电化学显微镜四、四、SECM的应用的应用1

15、、样品表面扫描成像、样品表面扫描成像探针在靠近样品表面扫描并记录作为探针在靠近样品表面扫描并记录作为X-Y-Z坐标位置函数的探针电流，可以得到三坐标位置函数的探针电流，可以得到三维的维的SECM图像。图像。扫描电化学显微镜SECM的探针可移至非常靠近样品电极表的探针可移至非常靠近样品电极表面从而形成薄层池，达到很高的传质系数，面从而形成薄层池，达到很高的传质系数，且且SECM探针电流测量很容易在稳态进行，探针电流测量很容易在稳态进行，具有很高的信噪比和测量精度，也基本不具有很高的信噪比和测量精度，也基本不受受iR降和充电电流的影响。降和充电电流的影响。2、异相电荷转移反应研究、异相电荷转移反应

16、研究扫描电化学显微镜SECM可以定量地测量在探针或基底表面可以定量地测量在探针或基底表面的异相电子转移速率常数。异相速率常数的异相电子转移速率常数。异相速率常数既可以通过稳态伏安法也可以由分析既可以通过稳态伏安法也可以由分析i-d曲曲线而得到。线而得到。扫描电化学显微镜3、均相化学反应动力学研究、均相化学反应动力学研究SECM的收集模式、反馈模式及其与记时的收集模式、反馈模式及其与记时安培法、快扫描循环伏安法等电化学方法安培法、快扫描循环伏安法等电化学方法的联用，已用于测定均相化学反应动力学的联用，已用于测定均相化学反应动力学和其它类型的与电极过程耦联的化学反应和其它类型的与电极过程耦联的化学

17、反应动力学。动力学。扫描电化学显微镜4、薄膜表征、薄膜表征SECM可监测微区反应，因此也是研究电可监测微区反应，因此也是研究电极表面薄膜的十分有效的技术。它既可以极表面薄膜的十分有效的技术。它既可以通过媒介反应进行测量，也可以把探针伸通过媒介反应进行测量，也可以把探针伸入膜中直接测量。入膜中直接测量。扫描电化学显微镜5、液、液/液界面研究液界面研究SECM主要应用于研究固体基底。但最近主要应用于研究固体基底。但最近的研究表明，液的研究表明，液/液界面是一个稳定的、在液界面是一个稳定的、在尺寸上处于亚微米级的界面，从而可作为尺寸上处于亚微米级的界面，从而可作为SECM的基底。的基底。扫描电化学显

18、微镜SECM用于液用于液/液界面研究时，两相的电位液界面研究时，两相的电位取决于两相中电对的浓度。此时电子转移取决于两相中电对的浓度。此时电子转移在探针附近微区内发生，而离子转移在整在探针附近微区内发生，而离子转移在整个相界面发生，因而可以区分电子转移与个相界面发生，因而可以区分电子转移与离子转移过程，减少电容电流和非水相离子转移过程，减少电容电流和非水相iR降的影响。降的影响。扫描电化学显微镜6、生物体系测量和成像、生物体系测量和成像 用用SECM的电流法或电位法可观察人的电流法或电位法可观察人工或天然的生物体系。如活细胞研究、生工或天然的生物体系。如活细胞研究、生物酶活性的分布和测定、抗原

19、抗体成像等。物酶活性的分布和测定、抗原抗体成像等。扫描电化学显微镜7、微区加工、微区加工当探针移至样品表面时，电子转移局限于当探针移至样品表面时，电子转移局限于靠近样品表面的很小的区域，故可用靠近样品表面的很小的区域，故可用SECM进行微区沉积或刻蚀。探针可以作进行微区沉积或刻蚀。探针可以作为工作电极来直接进行表面加工，为工作电极来直接进行表面加工，也可以在探针上产生试剂与样品的作用。也可以在探针上产生试剂与样品的作用。已用于制作生物传感器的生物分子沉积。已用于制作生物传感器的生物分子沉积。扫描电化学显微镜8、联用技术、联用技术（1）SECM与石英晶体微天平（与石英晶体微天平（QCM）联用。由

20、联用。由SECM提供电化学信息，由提供电化学信息，由QCM提供质量效应信息来研究有机或无机薄膜提供质量效应信息来研究有机或无机薄膜性质。性质。扫描电化学显微镜（2）SECM与原子力显微镜（与原子力显微镜（AFM）联用，）联用，同时提供高空间分辨率的电化学和基底形同时提供高空间分辨率的电化学和基底形貌信息，已用于表面刻蚀和固貌信息，已用于表面刻蚀和固/液界面研究。液界面研究。（3）SECM与扫描光学显微技术联用，同与扫描光学显微技术联用，同时进行扫描电化学、光学研究获得空间分辨时进行扫描电化学、光学研究获得空间分辨信息。信息。扫描电化学显微镜参考文献：参考文献：1、Corrosion Scien

21、ce, 2005, 47, 3312-3323In situ monitoring of electroactive species by using the scanning electrochemical microscope. Application to the investigation of degradation processes at defective coated metals 扫描电化学显微镜2、Synthetic Metals, 2005, 152, 133-136 Synthesis and characterization of inherently conduc

22、ting polymers by using Scanning Electrochemical Microscopy and Electrochemical Quartz Crystal Microbalance 扫描电化学显微镜3、Journal of Electroanalytical Chemistry, 2005, 585, 8-18 Combined scanning electrochemical-atomic force microscopy (SECM-AFM): Simulation and experiment for flux-generation at un-insul

23、ated metal-coated probes . 扫描电化学显微镜五、最新进展五、最新进展1、SECM的探的探头头 在在SECMSECM早期的研究中，大多采用各种金属或碳纤早期的研究中，大多采用各种金属或碳纤微圆盘电极作为探头，这种探头至今仍是最常微圆盘电极作为探头，这种探头至今仍是最常用的用的SECMSECM伏安式伏安式( (或称之为安培式或称之为安培式) )探头。这样就探头。这样就限制了限制了SECMSECM仅可应用到有电活性样品的研究中。仅可应用到有电活性样品的研究中。 扫描电化学显微镜然而，许多与生命过程有密切关系的离子物然而，许多与生命过程有密切关系的离子物质，如质，如ClCl-

24、 - 、NHNH4 4+ +；、；、AcAc+ + ( (乙酰胆碱乙酰胆碱) )及碱金及碱金属和碱土金属离子等，均是非电活性物质。属和碱土金属离子等，均是非电活性物质。为了检测它们的流量及浓度分布的纵剖面，为了检测它们的流量及浓度分布的纵剖面，人们通常是制作固体或以微米管为基础的电人们通常是制作固体或以微米管为基础的电位式的离子选择性微电极来作为位式的离子选择性微电极来作为SECMSECM的探头。的探头。扫描电化学显微镜因为电位式的探头是一个被动式的传感器，因为电位式的探头是一个被动式的传感器，它不会改变在基底上产生或消耗的物质的它不会改变在基底上产生或消耗的物质的浓度分布的纵剖面，这样它可方

25、便地应用浓度分布的纵剖面，这样它可方便地应用在在收集模式收集模式实验中。并且它与伏安式探头实验中。并且它与伏安式探头相比具有选择性。但是它与伏安式探头相相比具有选择性。但是它与伏安式探头相比，其图像分辨率降低。另外它不能给出比，其图像分辨率降低。另外它不能给出离基底的距离的信息。离基底的距离的信息。扫描电化学显微镜已报道在已报道在碳纤维上涂有酶碳纤维上涂有酶可作为具有生物敏感性可作为具有生物敏感性的探头。另外已发展了一种对于研究半导体电的探头。另外已发展了一种对于研究半导体电化学有用的探头，在化学有用的探头，在光导纤维外镀一层很薄的光导纤维外镀一层很薄的金金，然后用高分子膜将之绝缘，然后用高分

26、子膜将之绝缘 。光导纤维可在。光导纤维可在基底上产生一个微米大小的聚光点，金圆环电极基底上产生一个微米大小的聚光点，金圆环电极作为探头检测在基底上发生光化学反应的产物。作为探头检测在基底上发生光化学反应的产物。探头电流和基底的光电流可提供有关区域光化学探头电流和基底的光电流可提供有关区域光化学反应性以及给出基底的图像。反应性以及给出基底的图像。扫描电化学显微镜以液体为基础的以液体为基础的玻璃微米管玻璃微米管类型的类型的ISMEISME也也可以作为可以作为SECMSECM的探头。对的探头。对K K+ + 、ZnZn+ + 和和NHNH4 4+ +有选择性的微米管探头可用来给出微米级有选择性的微米

27、管探头可用来给出微米级分辨率的区域浓度分布图分辨率的区域浓度分布图 。扫描电化学显微镜2、SECM图像图像大多数已报道的大多数已报道的SECMSECM图像是应用等高模式得到图像是应用等高模式得到的。此模式的工作原理是探头在基底表面进行的。此模式的工作原理是探头在基底表面进行等高的等高的x x，Y Y方向扫描，同时记录探头在不同位方向扫描，同时记录探头在不同位置的电流大小。探头电流的大小反映出置的电流大小。探头电流的大小反映出z z方向的方向的高低不等，从而可得到基底的三维图像。可获得高低不等，从而可得到基底的三维图像。可获得的图像的分辨率主要与探头的大小和探头与基底的图像的分辨率主要与探头的大小和探头与基底之间的距离有关。之间的距离有关。扫描电化学显微镜应用纳米级的探针可使图像的分辨率从应用纳米级的探针可使图像的分辨率从 m提高到提高到3050 nm，这已接近其理论极，这已接近其理论极限。因为进一步提高图像的分辨率需要将限。因为进一步提高图像的分辨率需要将探头移到离基底在探头移到离基底在1O nm1O nm之内，可以引起电之内，可以引起电子在探头