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文档简介

1、SPECTRO ARCOS全谱直读等离子体发射光谱仪ICP在多晶硅行业的应用1 ICP介绍：目前，ICP作为工业产品质量控制仪器，越来越受到广泛重视，随着多晶硅行业在我国的兴起，德国斯派克ARCOS这款ICP的优势越发突出，其仪器主要特点有以下几点：1）扫描波长范围：130-770nm，扩展了远紫外区域，从而可以有效地检测卤素，对磷、硼、氯、铝、钛、碘等元素分析得到最佳的激发波长。更好的满足多晶硅中杂质的检测。2）采用3块全息光栅，帕型龙格结构，全部采用一级光谱，消除了中阶梯光栅光学象素上下相邻造成的光晕效应3）采用32块CCD检测器，每个CCD的象素数是3648，大大提高了检测速度，全谱读出

2、60个元素每分钟；分辨率：8.5pm 130-340nm（该范围内恒定不变）；15.0pm 340-770nm （该范围内恒定不变） 4）光室密封冲氩，无需吹扫（驱气）和抽真空，开机即可使用，并且为用户大大节省了消耗成本2 太阳能级多晶硅的技术参数太阳能级棒状、块状多晶硅的纯度及相关技术要求应符合表1的规定。 项目太阳能级硅多晶等级1级品2级品3级品N型电阻率，·cm501510P型电阻率，·cm5001010氧浓度，at/cm31.0×10171.0×10171.0×1017碳浓度，at/cm32.5×10165.0×10

3、165.0×1016N型少数载流子寿命，s1005010基体金属杂质，ppmFe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al， TMI0.05Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al， TMI0.5Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al， TMI0.5粉状多晶硅 粉状多晶硅的纯度及相关技术要求应符合表2的规定项目太阳能级硅多晶等级1级品2级品P含量，ppm0.00170.006B含量，ppm0.0005 氧浓度，at/cm31.0×1017 1.0×1017碳浓度，at/cm3 2.5×10165.0×1016基体金属杂质，ppmF

4、e、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al， TMI0.05 Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al， TMI0.5 碳头料中的碳去除干净，可以用作太阳能铸锭和拉棒。其技术要求同表1太阳能级块状和棒状多晶硅纯度要求中的2级品。 粉状料可以太阳能铸锭，其技术要求应符合表2中2级品的规定。综上所述，在太阳能级的多晶硅中要求P0.0017ppm，B0.027ppm，Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ca、Mg、Al等金属元素含量为ppm级，这些元素的分析常有的仪器有ICP或者ICP-MS分析，但一般的ICP对P、B的灵敏度不够，不能快速有效地分析这两个元素；用四级杆ICP- MS分析样品时，氩离子会跟其它离子形成与磷质子数相同的多原子基团，严重干扰磷的分析，而德国斯派克公司的ARCOS型ICP，覆盖130nm-770nm，在紫外区有较强的灵敏度，P的检出限为0.0009ppm，B的检出限为0.00025ppm，又没有其它元素的干扰，可以

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