浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点

1、浅析电子厂房二次配制程排气系统施工要点决项目技术总结*公司*本项目是为杯市光电第6代LTPS （OXIDE - LCD/AMOLE显示面板生产线项目提供符 合相关要求的二次工艺制程排气系统，即从机台端至主系统Take off点之间Hookup排气配管施工。本专业（通风专业）所负责的是1号建筑一、二层的二次配排 风系统，主要系统有：工艺一般排风系统（GEX、酸废气排风系统（SEX、碱废气排风系统（AEX）、有机废气排风系统（VEX/SOX）、Stripper排风系统（STX）、 CVD粉尘排风系统（CVD）、工艺补风系统（OA） o由于二次配施工是直接与各种设备打 交 道，施工质量是与后续厂房生

2、产产品的效率和质量直接相关，所以施工过程中质 量和节点的把 控为二次配施工重中之重。（）、材料规戈U二次配施工中没有具体提前设计好的施工图纸，只有设备Layout平 面图以及设备UM需求表，前期提量基本都是按点位提量，存在一定的经验值。由于特氟龙 风管、不锈钢风管均不允许现场开口，镀锌风管不允许现场制作三通，二次配排风所有的主 材，比如直管、弯头、三通、测试口短管、特气侦测口短管等部件均是由生产厂家制作好后 发至现场，这样，前期材料的统计提量就是个很大的挑战。既然是经验提量，思路往往就会受到以往项目的干扰，比如重庆京东方L10层 上方空间较 大，二次配主管基本已紧贴L10层顶棚，到对应机台点位

3、处加三通便可走支管与设备端相连， 这样考虑每个点位4个弯头已经足够，而*项目L10层空间很有限，很多时候系统包主管 上有母线，母线上有盖板，盖板上偶尔会有消防管，二次配主管从上面过不去只能向下翻 弯，由此便会至少增加两个弯头，同时还会增加排液点，且*项目还有更令人头疼就是* 孔，不像京东方的井格梁布局使得配管更加方便，有时候会出现这样的情况：设备接口没有正 对高架地板，高架地板开口没有正对*孔，这样配管基本都是一路弯曲到设备接口的，所以每 个点弯头的数量会至少增加3至5个。针对不同项目而言，还需要具体问题具体分析，务必需要仔细勘察现场，项目前期的整体 规划和布局很重要，尤其对于本项目这种情况，

4、一开始就进入项目高峰 期，材料的供应直接影 响节点保证，所以材料是二次配成败的重点把控对象，也是 保证机台Turn on节点的关键所 在。（二）负载规戈I在二次配施工之前，负载规划是非常重要的一步，虽然主系统图纸 己经设计出每个机台所使用Take off点，但是还是会出现以下几种情况：1、实际会勘UM和原设计UM需求量不符合，由于UM表的变更，可能会导致后 续机 台运行流量不够。2、原设计的机台Take off点被挡住，无法使用。3、实际Movein机台数量多于原计划，即原设计中没有设计新机台的UM需求，需重新为该机台规划Take off点位。以上三种情况均可能会导致Submain主管的负载不

5、足，在这条主管的 Take off 点的使用率越来越高的情况下，后续所接机台可能会因为流量不够而Down机。举例1 ： 1号酸排气主系统所接设备为TCISC100/TCISC200/TCISC300,每台用 量60cmm如卜表：由上表便可清晰看出该Submain主管共23个Take off点，接三台设备。Submain设计量为300cmm机台需求量180cmm使用负载比为60%由上表还可知，此Submain还有120cmmB勺富余量，假如此区域后续还有设备 Move in ,在满足富余量的前提下，此主管上依然可以继续接设备。举例2： 18号酸排气主系统所接设备为TCCVD320/TCCD030

6、0/TCCVD420/TCCDO,400 合计用量245.6cmm,如下表：由上表可清晰看出该Submain主管共12个Take off点，接四台设备。Submain设计量为234cmm机台需求量245.5cmm,使用负载比为105%由上表还可知，此Submain B经超出原设计负载，那么先查看其相邻Submain负载用量是否有富余。17号Submain酸排气负载如下：由此可知，17号用量为76%仍有富余54cmm且该系统Take off点也有富余，所以原18 号系统上可以把其中一个机台（比如TCCD0300的Take off点改至17号主系统上，如此，17号和18号主系统均不会超负载，也满足

7、了机台负载需求。同时，为更加直观勺清楚每条Submain主系统所连接哪些设备，绘制主系统轴 测PID图 也是贯穿二次配施工勺主要工作，这样对后期设备调试也很有帮助。主系统轴测PID图可以非 常清晰勺知道每条主系统所连勺具体设备，在主系统屋面风机和设备运行出现问题时候，可以 清楚知道可能会受到影响的涉及该Subma in的其他设备。如下图：一般排气系统轴测PID图所以，二次配前期对机台负载进行整体规划非常有必 要，机台Move in分期进行，同一条主系统会同时有Light on> Phasel > Phase2、Phase3的设备，如若不 提前做整体 规划，Light on和Phas

8、el的设备应该会很容易满足负载，但是随着Submain所接的设备越来越多，Phase2尤其是Phase3的设备很可能会超岀原设计 负载，在本项目虽然Phase3的设备不在包内，但是设计人员早期是有把 Phase3的 设备规划至主系统内的，所以甲方也要求我们考虑Phase3的设备需求。（三）、图纟氏以及成本规戈IJ由于二次配没有设计给出的具体施工平面图纸，且二次配涉及的专业系统不 少，PCW/PV/Exhaust/Chemical/CDA/Drain/特气管道等，虽说管路尺寸都不大，但是个别机台管路复杂，如CVDDR丫等大机台，也会常遇到管道被挡的情况，此 时图纸整体空间管理规划则尤为重要，施工

9、前出图纸，每种管道在自己该在的位置上，不但 美观且不影响其他管路走向，同时，如若管路过长和弯头过多会使得压力损失过大，对后期设 备运行不利。从成本上分析，二次配不像洁净包,二次配按点位按实结算,每个点有规定的标准长度,点的计算以实际点数计算，结合实际米数除以标准米数。点的实际长度L1除以报价标准米数L, 即L1/L二N。N小于2,计算为1个点；N大于2,且小于3计为2个点；以此类推。比如规定 每20米一个点位，即这个点做到了 OvLV40则 结算为一个点，做到40 Lv60结算成两个 点，所以按照这种计算方法即使做到39米还是会结算为一个点，如此便会亏损19米。标准长度规定如下：如上述包定义内

10、点位计算方法实在是比较令人头疼的，这种计算方式 说明了并不是所有的点位做的越长越好，这个长度是有限度的。Take off点管径均为300, 设备接口管径一般小于Take off点管径，那么对于一拖多（即一个Take off点带 多个设备接 点）的情况，怎么去合理分配Take off点到Tee的长度和Tee到POU的长度很重要。需要考虑的是，对于Take off点距离设备比较近和Take off点数量有富余的情况下，多 做这种点位原则上是有利的，但是考虑到底选择一拖几的问题值得推敲，此外二次配主管和支 管的长度怎么分配也值得考虑，才能够实现最终利益最大化。对于Take off点距离设备比较远 的

11、情况下，这种点位如若不提前规划好，亏损可能性非常大，需考虑问题同上，若真的亏损要 实现亏损最小。由此可见，图纸的深化设计和成本控制不可分割，合理的管路规划会降低施工成本以及施工难度，所有的技术和设计最终都应该回归到成本和利润上。(四)质量管扌空 二次配施工作为电子厂房施工的最后一道工序，是直接与机台设备对 接，其施工质量将直接影响厂房后续显示面板生产良品率，如若由于二次配施工质量导致设备 正常运行而Down机，其损失将不可预估。二次配施工质量的管控主要从以下几个方面把握：1 、材料进场检验所有材料进场前均需先和质量相关人员进行自检，而后经业主以及第三 方质量人员进行检验，合格后方可进场，不符合

12、洁净室规范以及损坏严重材料均不得使用，并 立即退场。2 、施工前指导每个班组施工机台前，需向该班组长指明Take off点使用情况，并找到该机台所有需要 施工的点位和点位具体接续名称(SEX/GES/VEX/AEX/CVD/OA/STX,)对于需要区分干湿排的点位必须标示并告知清楚，如有特殊要求的机台也需要提前告知，以免后 续的二次施工。3 、施工中检查本项目每个点包含Duct、弯头、三通、风阀、风压表、特气侦测口、支架以及末端盲板的安装，需要考虑的类项比较多，由于机台调试期间不允许停机，更换 其中任何一 项都比较困难，为避免二次施工，施工过程中的检查很重要，做到亡羊 补牢。4 、Turn o

13、n前检查二次配每个机台的Turn on都是很重要的节点，所以做Turn on前的最后检 查很有必 要，检查管路连接的完整性，负压表安装的正确性，螺栓的紧固性，支架的安装以及加固情况 等，这些都是影响机台Turn on的因素，Turn on前是必须一项项排查的。5 、调试中检查每个机台Turn on后设备方都有为期不短的调试时间，调试时候机台的运行 是极不稳定 的，较容易出现的问题有：清洗机的漏水问题，水经常倒灌入排气管内；压力表超量程问 题，前期由于Submain所挂的设备少，负压比较大，导致管内负压 已超出负压表量程，由此 可能会造成负压表的损坏；软管破损问题，由于机台接口形式的限制，一些机台必须使用软管 连接，软管硬度是远不如硬管的，有破损风险。以上问题多出现在机台试运行调试阶段和正 式运行阶段，所以在试运行阶段若发现并及时解决相关问题，不断优化方案，则在后续正式生 产阶段风险便会大大降低