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文档简介
Process工艺 The boat will be covered with more SiN every run 每次运行工艺都会在舟上又镀上更多的SiN。 150 process runs should not be exceeded 石墨舟每次不应该超过150次进行清洗。 Uniformity will significantly worsen if overused 如果过度使用可以明显看到均匀性变差。 © centrotherm photovoltaics AG Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent | File: ctpv_0907.pot 11 Summary概要 石墨舟的维护及准备对一个好的 ARC镀膜是非常重要的。 由于舟的维护不到位引起的一些常见问题: 不均匀性 (片对片 清洗较差 被损坏的石墨板或者螺纹杆 不均匀性 (片内 插脚磨损 插脚位置及放置 硅片边缘色差 不适当的预处理工艺 操作及装载问题/导致舟在工艺中损坏 舟没有正确装配。 © centrotherm photovoltaics AG Thema der Präsentation | Unterkapitel | Refe
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