JEM2010型透射电镜详细操作步骤_第1页
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文档简介

1、 JEM2010型透射电镜开机操作:MAG 放大倍数Current density 束斑电子密度Exp time 曝光时间Specimen 样品位置,尽量让X Y接近0,但在+/- 100均可以。Brightness 束斑大小(旧:condenser)Shift 光斑平移(旧:Aignment-trans)Spot size 14 或 15 合轴(旧:13 合轴)Object focus 物镜聚焦1. 开循环水。由于新电镜循环水不关,这步可省。但要注意水温是否正常。2. 打开电源开关。IN/OUT。从来都是开着的,这步也可省。3. 打开荧屏电源;检查荧屏第一页:确认电压是否在120KV;如不是

2、,请联系值班老师;确认样品位置“specimen position”为原点:<x,y,z>=0,0,0,如果不是原点,使用观察窗左侧“SPEC CONTROLLER”控制面板上的N键复原(注意在没有插入样品杆时,严禁使用“N”键!,所以每次推出样品杆之前应该复位);-selector为24. 用键盘键入P3,使荧屏显示第三页,检查P1至P5的电流值,正常情况下:p1:25,p2:25,p3:29,p4,28,p5,100,观察阀V1,V2和V4, V5B, V8, V13,V17和V 21共8个阀处于打开状态。5. 察看右下方的真空面板,确定真空进入10-5Pa量程,理想的状态的是

3、指针居中,在灌入液氮的情况下应该更低;如没达到这个范围,请联系值班老师;6. 灯丝处于关闭状态(filament的开关ON没亮)7. 检查聚光镜光栏是否全打开,物镜光栏是否全打开,如不是请打开全部光栏。检查右侧面板,观察电镜是否处于MAG1(此灯亮)8. 打开左侧门,将“lens”开关打到ON的位置(请一定要非常小心,确认是lens开关,不要开错开关。即开灯丝,将开关稍向外拉再抬上即开。)。9. 再次观察荧屏,电压是否在120KV,如果不是,严禁进行下面操作。10. 将面板左侧开关HT按下,升高压,注意观察左侧面板上显示的Beam Current值,一般120KV时,电流值应该在6062,如果

4、偏离很多,请联系值班老师;(按下HT。确定BEAM CURRENT稳定,只需看一下表中数值是否稳定即可。电流是电压的一半加一或一半加二。)11. 等Beam Current值稳定在6062至少5分钟时间,用键盘开始升压程序。如果电压值不能稳定,请联系值班老师;12. 用键盘键入P1,使银屏显示第一页,然后键入RUN,银屏将问“start HT ?”,键入120,然后按“enter”,银屏会显示“End HT”,键入160,按“enter”键,银屏会显示“?”,键入10,按“enter”键,银屏会显示“?”,键入10,按“enter”键,电镜随之会自动开始升压,此时按下右侧HT wobbler。

5、等这第一步升压完成后,再按HT wobbler停止webbler工作,注意观察左侧Beam Current值是否稳定在8082,如不稳定等1020分钟,如果仍不能稳定,联系值班老师。如稳定,重复刚才的操作,只不过将start HT改为160,end HT改为180,等升压到180KV时,此时Beam Current应在92附近,如果偏离太远或不稳定,联系值班老师。如稳定,继续升压,将start HT改为180, end HT改为200,升压结束时,Beam Current应该在102。(该步骤为升高压。120200Kv,用左边的钮设定。在屏幕上加电压,打开键盘输入run回车;出现HT star

6、t,输120回车; 出现HT stop,输160回车。如此三次加高压到200kv。Total time,输10min;HT step,输10。)13. 再次观察银屏第三页,检察V1V3是否已经正常打开,P1P5值是否在正常范围;右下的SIP显示的真空是否在10-5级,一切正常,按下左侧面板filament的ON键,打开灯丝,等灯丝电流稳定(约24分钟),最后的灯丝电流应该在105左右。观察是否有正常光斑。如没有,请联系值班老师。JEOL2010 常温样品更换步骤一、样品杆插入步骤:1. 更换前一定要观察银屏第一页,检查样品杆位置是否在中心位置;2. 确认灯丝处于关闭状态!3. 使用样品杆上的引

7、导钉(guide pin)对齐样品插口,然后插入到样品杆停下后(此时不可松手!),等待响声直至样品杆被吸住,再将“PUMP/AIR”开关打至“PUMP”一侧,松手静候(一般超过10min)4. 等角度计(goniometer)的绿灯亮后,屏幕P3页显示P4值接近30,顺时针轻转插入一段后,等待V2和V5B均打开后再顺时针轻转继续插入直到终止,注意整个过程吸力很大,一定要拉紧样品杆,使之慢慢进入。5. 插入完毕后一定要等goniometer的绿灯亮,检查P3页的P4值,P4值应该30,阀2打开,右侧下方SIP真空在105级,并指针指向中间方可打开灯丝进行观察。6. 整个插入样品杆的过程中,切勿大

8、幅度摇动样品杆,整个过程要轻、缓慢地进行;人体的任何地方都不可接触样品杆O环到样品杆顶端位置;二、样品杆拔出步骤:1. 关闭灯丝电流;2. 用观察窗左侧“SPEC CONTROLLER”控制面板上的N键复原样品杆位置到原点附近(注意在没有插入样品杆时,严禁使用“N”键!)或用控制球复原;确认样品位置“specimen position”为原点:<x,y,z>=0,0,0,tilt X,y0;3. 将Goniometer的“pump/Air”打倒“Air”一侧;4. 轻轻将样品杆往外拉,拉一段后,会感觉到拉不动,此时稍稍停顿后逆时针轻轻转动一小角度后,再往外拉,很短的距离后,会又拉不

9、动,此时再逆时针轻轻转动一小角度,停顿一会会听到两声阀门启动的声音,然后会感觉到样品杆没有吸引力了,再轻轻拔出样品杆;5. 整个过程中,拉动样品杆要沿着goniometer的轴拉动,不能大幅度摇晃,而且手要一直握住样品杆。整个过程要轻、缓慢地进行;人体的任何地方都不可接触样品杆O环到样品杆顶端位置;三、样品在样品杆上更换步骤:1. 要把样品杆放在样品杆架上;2. 用专门工具一手将样品铜网支撑金属片固定夹抬起,另一手用大捏子夹住铜网支撑金属片,把金属片放到旁边支架,螺丝孔对准支架上的螺丝;3. 用专用螺丝批轻轻拧松2个固定螺丝(不要拧下来,只要拧松即可);4. 轻轻移开固定铜网的弹片(小心损坏铜

10、网)5. 用专用捏子轻轻取出铜网,放上新铜网;6. 重新将固定铜网弹片盖上铜网(注意观察位置,如不对,则要进行调整)7. 用拧紧螺丝固定弹片,一手用专用工具抬起样品架上的固定夹,一手用大捏子将金属片放到固定夹正确位置上,放下固定夹;JEOL 2010日常调机和观察照相步骤1. 打开灯丝,观察到光斑后,一般将电镜放大倍数调到50K条件下进行调机;2. 选择合适的聚光镜光栏;3. 用“BRIGHTNESS”旋钮(左侧面板上)逆时针旋转,将光斑缩小。用左侧面板 shift X和右侧面板shift Y旋钮将光斑移到屏幕中央;4. 调节“BRIGHTNESS”旋钮聚拢光斑,将光斑移到屏中央,再顺时针旋转

11、“BRIGHTNESS”旋钮,扩大光斑覆盖屏幕外四角,。若光斑不与外四角切,则调节聚光镜光栏上的微调节器(“Knob 2”和“Knob 3”,注意不要触动“Knob 4”和“lever”!)使光斑边缘与主荧光板上外四角切。聚光镜光阑的操作旋钮:“Knob 1”:调节光阑大小,白圈大小表示光阑大小,加光阑必须顺时针转动!退回时逆时针,不可旋转过度!“Knob 2”和“Knob 3”:当lever向左时使用“Knob 2”和“Knob 4”:当lever向右时使用5. 重复3和4步骤,直到光斑一直保持在中间。6. 观察荧屏第一页,看DV是否在0,如不是用focus旋钮,调节DV到±0间,

12、7. 把光斑缩小,观察样品焦平面Z值是否在电镜机械焦点附近,具体做法有多种,一种是在开启右侧面板“IMAGE X/Y WOBBLER”,调节右侧面板的Z高度,直到样品中间图像在wobbler工作时仍不动(即正焦附近);另一种做法是调节光斑至最小,观察周围是否有园晕,如有,则用Z键调整,直至光斑周围清晰无晕。8. 重新3,4步骤,观察光斑和聚光镜光栏是否对中;9. 15光斑合轴:用左侧面板“SPOT SIZE”开关,选择spot size 1,看光斑是否在中间,如不是,按下右下面板的GUN键,然后用右下面板的shift X和shift Y旋钮,将光斑移至中央;将spot size改变到5,看光斑

13、是否在中央,如不是,则用电镜左右面板的shift X和Y旋钮,将光斑移到中央,重复刚才操作,重复改变spot size,直到光斑保持在中央。10. ,电压中心调中:一般在100K以上进行,在样品上寻找一个点,移动样品,使这个点在屏幕中央,并用focus旋钮调整到焦点附近,按下右侧面板上的HT wobller,如果电压中心已对中的话,虽然光斑同心放大缩小,但黑点中央位置并不左右或上下移动。否则需要调整电压中心。具体方法如下:维持HT wobller,按下左侧面板的Bright tilt钮,然后在显微镜下边观察,边用左右面板上的DEF X和DEF Y钮移动,直至中心点的位置不在移动。降低放大倍数至

14、最后观察所用的倍数,观察电压中心是否改变,一般情况下,不应改变。注意:电压中心的调整要在正焦附近进行。11. 插入物镜光栏,对中物镜光栏,具体做法如下:按下右侧DIFF键,再通过拨动“SELECTOR”设置“SADIFF”模式(100cm),在键盘上键入P5,使荧屏进入P5页,在放大倍数为100cm时,INT的值应该是1.66,如不是,用使用“DIFF FOCUS”旋钮,调整,使INT的值到1.66,然后,用左侧面板的Brightness旋钮调整光斑大小,直至观察到光晕的边界最清晰,此时,黑色边界即为物镜光栏的边。如果光斑中心不是这个黑色物镜光栏的园中心,则调整物镜光栏位置,直到光斑中心正好是

15、物镜光栏的圆心。恢复DIFF模式到正常Mag1模式;12. 物镜像散矫正:将放大倍数调整到100K以上(一般起码为观察倍数的两倍),将光斑聚拢到覆盖一半的屏幕左右。按下右侧面板/键,抬起屏幕。在此前,先开好CCD控制电脑,并双击Desktop上的Digital 软件。抬起屏幕后,点击软件上的start view,此时会出现CCD扫描样品的图像,选择菜单上框,按住键盘的Ctrl键的同时,在图像上选择一正方形区域,然后点击主菜单的process中的live fft,就会出现选择区域的thorn环,如果不清楚,则调整欠焦量到略欠焦,调整光斑亮度,到观察到thorn环为止,如果环比较园,则表示物镜像散

16、已经处于比较良好的状态,如果不不园,则按下左侧面板上的Object键,用面板上的tilt旋钮,矫正物镜像散,直至thorn环园为止。注意:如果样品有漂移、震动,都会导致thorn环变的不完整,矫正像散会不准确或困难,所以,做这一步的时候,要保持室内环境安静,不要大声喧哗,同时,要有足够的时间让样品和电镜状态稳定。此外,做这一步的时候一般选择用有碳膜的样品进行,否则无法看到thorn环。如果这样,就要用最小反差法和拉线法进行像散的校正。13. 重复按一下右侧面板/键,将放大倍数调整到要观察的倍数,调节焦距,如果铜网比较弯曲,焦平面变化很大,在移动到一区域后,要用Z键调整样品的高度,然后再用聚焦旋

17、钮进行精细调整;不管怎样调整,DV的值应该一直保持在0附近;14. 图像收集可以用底片,也可以用CCD,如果用底片,则用电镜键盘,键入FTX,键入要在底片上显示的字,用FNO键入要记录的底片号码;用Brightness钮调整光斑亮度到大约12左右(此读数需要在小屏幕打下时读取),用右侧面板Long 和Short键调整曝光时间(普通底片,一般曝光亮度为12,曝光时间为1s),在调整好焦距,样品位置后,按一次Photo键进底片,按第二次Photo键,电镜就会进入照相状态。如果用CCD收集数据,则抬起屏幕,在Gatan 软件页面,按下start collect就可开始收集样品图像。注意CCD上收集图片的放大倍数是荧屏上显示放大倍数的1.4倍。JEOL2010 日常关机步骤:1. 首先将灯丝电流关闭,2. 将样品杆位置恢复中央位置,观察荧屏第一页,看X,Y,Z和倾斜角度是否均在0左右;3. 更换样品,把空的样品杆重新插入;如果之前进行了低剂量模式,请键入MDS E退出低剂量;4. 打开所有的聚光镜光栏、物镜光栏;5. 在电镜键盘键入run,荧屏显示start HT,键入200,然后

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