激光干涉仪安装指南

1、激光干涉仪安装使用指导5.1 连接硬件部分 连接硬件时必备知识？安装 ML10：一、激光安全一、激光安全 - - 切勿凝视光束切勿凝视光束根据 EN60825-1 以及美国标准 ANSI 2136，RENISHAW ML10 激光器属 II 级激光，因而不需要佩戴护目镜（正常条件下人会自然地眨动眼睛并转移目光以避免伤害）。 切勿直接凝视光束或照射他人的眼睛。 注视漫射光束不会造成伤害。二、警告警告1. 主电源导线是一根三股的电缆线。 地线（接地）的电源部分需有效接地。2. 零线没有熔接保险丝。 将装置接上电源时，务必留心将正确的电线连接火线三、接口介绍接口介绍ML10 的后面板包括一个激光器状

2、态灯、ON/OFF 电源开关、电源连接、数据联结插座、以及角度俯仰调整。注：请返回观看 ML10 后面面板（图）激光器状态灯可表示激光器是否已达到稳定的状态。ON/OFF 开关控制 ML10 激光器的电源输入。 电源插座就在此开关旁边，可插入提供的电源导线上压模的标准 IEC 接头。安装 EC10一、重要注意事项一、重要注意事项 应先连接 EC10 的气温及材料温度传感器电源，再开启 EC10 电源。 一旦 EC10 检测到其中一个传感器通道尚未接通，将不会再度探测该通道。 当使用少于三个材料温度传感器时，需按照从右到左的顺序使用插座。注：请返回第一大点的第三小点中的图三 即 EC10 后视图

3、二、二、EC10EC10 数据链接数据链接EC10 机架后部有电源插座、电源开关 (on/off)、一个状态灯、以及数据链接电缆插座，可将 EC10 装置连接 PC10 或 PCM20 接口卡。三、警告警告EC10 的原厂设置应已符合您所在国家的电压及频率规格。 不过，在您使用 EC10 前，特别是在国外使用 EC10 或在非标准电源的场所使用时，请先确定将电源设定在适当的电压。 请检查装置下部的开关设置，如下图 5 所示：电压选择开关应设置为：100 伏、120 伏则 EC10 设定为：120 伏 ；220 伏、240 伏则EC10 设定为：240 伏 如下改变电压设定：如下改变电压设定：1

4、. 确定先将电源开关关闭。 2. 用一枚硬币或一把大型的平头螺丝起子或类似工具将开关转到正确的设定。 3. 打开开关。 现在即可安全使用装置。EC10 机架后部的电源插座旁边的收放式托盘中，有一根 T 级保险丝管防护火线（通电）输入。 该托盘也有备用保险丝的放置槽。 工作的保险丝放在内侧。三、安装三脚架三、安装三脚架安装三脚架的时候要注意水平的问题，水平的调节在三只脚的调试上。每次挪动三脚架后都必须看三脚架上的水平指示器，判断时候水平。四、计算机接口四、计算机接口DX10 接口组件 (USB) DX10 已取代 PCM20 (PCMCIA) 卡，成为 ML10 和 EC10 与笔记本电脑通信的

5、标准接口。 它同样也适用于台式机，取代了 PC10 接口卡（现已停产）。 DX10 是可靠的高速通信设备，可以 5 kHz 的速度将数据直接传输到 Laser10。 DX10 与 Windows XP、SP1 和 SP2 兼容，但与老版本的 Windows 操作系统不兼容。 对于双轴数据采集，只需使用两个 DX10 接口，分别插入两个 USB 端口或一个单独的集线器上即可。DX10 接口组件 (USB) 包括： DX10 接口 (USB) 3 米 USB 电缆 DX10 驱动程序安装光盘 连接简略图5.2 启用软件 如何安装和配置软件？一、安装软件1.开启计算机，等候它在 Windows 中启

6、动，然后插入 CD-ROM 光盘至 光盘驱动器。 安装程序现在应会自动运行。若安装程序没有自动运行，请从计算机的任务栏中选择开始/运行，进入运行对话框。 单击浏览按钮，并由浏览对话框来使用安装 CD-ROM 光盘上的 Setup.exe 文件。 选择 Setup.exe，然后单击打开按钮。 现在，从运行对话框中选择“确定”以开始软件安装程序。2.您现在会看到安装向导的欢迎屏幕。 该向导是一组屏幕，可自动指导您逐步完成安装程序。 单击下一步，进入下一步（会出现选择目标位置屏幕），或取消退出安装程序。3.选择目标位置屏幕容许您定义将在其中加载软件的目录。 建议您接受 C:Program Files

7、Renishaw Laser10 的默认值，但也可单击浏览按钮选择另一个目录。单击下一步以进入下一步，会出现选择程序文件夹屏幕。4.选择程序文件夹屏幕容许您在程序启动菜单中选择用来储存程序启动图标的文件夹。 安装程序会自动提供默认的文件夹 Renishaw Laser10，但您也可从列表中选择另一个文件夹或输入一个新的文件夹名称。单击下一步开始安装。5.在安装过程中，您会看到一系列的进度表、消息及指示说明。6.安装结束时，会询问您是否要更新 HTML 帮助。 若选择是，Internet Explorer 浏览器提供的 HTML 帮助程序会更新为使用该帮助所需的标准。 因此建议您选择是。7.最后

8、，设置完成屏幕会出现，询问您是否要现在重新启动计算机或稍后再启动。 选择适当的选项，单击完成退出安装程序。二、配置软件什么是配置？什么是配置？配置就是一种功能，允许您输入有关系统中硬件类型以及您希望如何使用软件的信息。 一旦输入有关信息后，软件就会将它储存在一个文件中，在每一次启动软件时使用。某部分数据采集及分析程序的操作是由软件设定控制的。 您可以根据需求来配置这些设定，如有某一设定，允许您指定程序一般用来储存采集的数据的默认目录。要配置软件要配置软件1.使用数据采集软件。2.从菜单栏上，选择配置。 会出现配置菜单。 注：注： 选项可用与否，取决于选中的数据采集类型（如角度、线性或直线度）。

9、 不可用的选项呈暗淡显示。 可用的选项有： 数据文件目录 环境设置 测量单位 工具栏 选择设备（选择 PC10 以及 PCM20 设备驱动器） 选择接口（设定 PC10 以及 PCM20 卡配置） 配置文件 语言选择 我们一般在默认安装的情况下，要将选择设备里的选项设置为当前使用设备的型号，因为我们使用的是 DX10 代替 PC10 以及 PCM10 所以此选项选择为：DX10默认的环境参数单位默认的环境参数单位当执行了环境补偿时，您将会在一个窗口查看环境参数，或在一个对话框内将它们输入。 这些参数所用的单位取决于为软件配置的单位。 要更改默认值，按照下列步骤进行：1.从配置菜单中，选择环境设

10、置选项。 会出现环境设置对话框。 2第一个参数，膨胀系数，可用来输入被校准的机床或对象的热膨胀系数。通常都.会输入机床反馈系统的膨胀系数。例如，11.7ppm/C (6.50ppm/F) 是使用钢制滚珠丝杠及园编码器反馈系统的一个典型数值。 有关选择材料热膨胀系数的信息，请参阅材料热膨胀补偿一节。 3.其它每一参数决定环境数值在环境设置窗口中以哪一种单位显示。 要更改单位，从下拉列表中选择所需的单位。 会出现一个单位列表，可从列表中选择必要的选项。 可用单位有： 环境参数环境参数 可用单位可用单位膨胀系数膨胀系数每摄氏度 ppm每华氏度 ppm气压气压千帕 (kPa)毫巴 (mbar)毫米汞柱

11、 (mmHg)英寸汞柱 (inHg)英寸水柱 (inH2O)每平方英寸磅 (psi)厘米水柱 (cmH2O)气温及材质温度气温及材质温度摄氏度华氏度默认的测量单位默认的测量单位1.从配置菜单中，选择测量单位选项。 会出现单位设置对话框。 、2.显示单位字段会设置大型数字读数窗口的单位。 它允许您设定一般在使用软件时喜欢使用的单位。 它可以设置为公制 (mm) 或英制 (in)，或是角度测量时所用的弧秒、度数或 m/mm。误差单位字段允许您设置用来显示误差值的单位。注：注：当使用数据采集软件时，您可以随时来回切换显示单位，方法是单击工具栏上的 按钮或按 Ctrl+U 键。 会有一个状态灯显示当前

12、设置的单位。 同样地，您可以随时来回切换误差单位，方法是单击工具栏上的 按钮或按 Ctrl+E 键。 分析数据时，您可以覆盖这些首选的单位，方法是从数据分析主窗口菜单栏选择绘制图/单位选项。3.标准小数位数选项会决定数字读数以及误差值读数的分辨率。 要更改数字位数，只需从适当的公制或英制选项的下拉列表中选择所需的数字即可。每一种测量模式可用的选项如下：线性测量毫米英寸多配置文件多配置文件您可能需要超过一个配置文件，才能满足车间内各种机床或操作员首选项的特殊设置。.RCF 文件中的配置信息是以 ASCII 文本格式保存，因此可用如记事本（Windows 95 或 NT 附带的程序）等文字编辑器来

13、查看及打印。若您想使用您自己先前创建的文件中的一个配置，请从菜单栏中选择配置/加载配置文件。 会出现打开对话框，允许您从列表中选择一个文件。语言选择语言选择要更改软件所显示及绘制的文本语言，从菜单栏中选择配置/语言。 会出现一个子菜单，包含软件当前所支持的所有语言选项。单击所需的语言选项。 会出现一个对话框，要求您确认所做的选择。 单击是确认。 软件会重新自行配置，并在下一次运行软件时使用该种语言。 如何识别软件指示灯含义？数据采集主窗口的状态灯窗口包含各个指示灯，能够提供有关 ML10 激光器及 EC10 的状态信息。 状态灯在屏幕上按下面的顺序排列：测量模式测量模式测量单位测量单位平均模式

14、平均模式 ML10ML10 没有回应没有回应/ /无接口卡无接口卡信号强度过低信号强度过低EC10EC10 手动手动/ /自动自动 EC10EC10 错误错误 加热器开加热器开/ /关关高速误差高速误差光束被遮断光束被遮断预热预热 脉冲触发脉冲触发ML10ML10 ON/ML10ON/ML10 故障故障/ /HTHT FAILFAILML10ML10 稳定稳定/ /ML10ML10 不稳定不稳定测量模式测量模式此状态灯指出当前进行的测量模式（如线性、角度、直线度等）。测量单位测量单位此状态灯指出测量显示屏上的读数单位。 单位可从菜单栏选择配置/测量单位改变，或使用工具栏上的 按钮在公制和英制单

15、位间来回切换。平均模式平均模式当显示的测量读数是一个平均值时，此状态灯会亮，指出使用的是短期或长期平均模式。ML10ML10 没有回应没有回应/ /无接口卡无接口卡显示平均模式的状态灯也会显示 ML10 没有回应的消息。 这时： 1. 确定 ML10 激光器及 PC10 或 PCM20 接口卡间的数据链接已正确连接。 2. 确定已打开 ML10 激光器的开关。 3. 当 EC10 环境补偿装置与 PC10 接口卡已连接时，确定已打开其开关（或是断开连接）。 该状态灯也会显示无接口卡的消息。 此消息表示 Renishaw 接口没有正确安装或配置。要安装及配置一个台式计算机的 PC10 接口卡要安

16、装及配置一个笔记型计算机的 PCM20 接口卡使用 DX10 的要配置 DX10信号强度过低信号强度过低SIGNAL LOW 状态灯会发出警告表示信号强度已降至不到其最大值的 25%。 这可能是由于激光器和测量镜组间没有准直并可能导致完全丧失信号，或可能是由于余弦误差所造成的。 信号强度过低也可能是由于测量镜组不干净所造成的。EC10EC10 手动手动/ /自动自动当一个 EC10 环境补偿装置连接到 PC10 接口卡并打开时，此状态灯会亮。 它会分辨 EC10 装置是在自动或手动模式中运行。EC10EC10 错误错误此状态灯也会显示 EC10 FAULT 消息，表示 EC10 以及 PC10

17、 接口卡间已建立的数据链接已停止运行。 若发生此种状况，请确定 EC10 装置及 PC10 接口卡间的数据链接电缆没有断开。加热器开加热器开/ /关关ML10 激光器由一个内置的加热器来维持温度，从而将激光管的长度保持在一定的容差，以维持其稳定性。 不过，这种保持稳定的形式可能会受到操作期间室温显著改变的影响，致使 加热器完全开启 或 加热器完全关闭 状态灯亮起。高速误差高速误差ML10 激光器内的探测电路是利用栅格计数技术来确定测量数值。 探测器电路内的逻辑元件运行速度支配了线性镜组可被分离的最快速度。请参阅线性测量规范，了解 ML10 的最快测量速度。若超出该速度限制，测量读数很可能出错，

18、因为探测器电路会“遗漏”栅格。 不过，自检过程会断定是否发生这种状况，因而亮起 HIGH SPEED ERROR 状态灯并冻结测量读数。 这些情况要在系统重新定标后才能消除。注：注：没有信号时可能会触发 HIGH SPEED ERROR 标志，因此即使镜组一直保持静止的状态，也可能会显示 BEAM OBSTRUCTED 标志。光束被遮断光束被遮断BEAM OBSTRUCTED 状态灯会发出警告表示信号强度已降至不到其最大值的 12.5%。 这可能是由于光束没有准直，或是光束受到物理干扰所致。当 BEAM OBSTRUCTED 状态灯亮时，测量显示屏会冻结并亮红灯。 这些情况要等到恢复足够的信号

19、强度而且系统重新定标后才会结束。若 BEAM OBSTRUCTED 状态灯意外亮起，可能是因为激光器不稳定所致。预热预热打开 ML10 后， PREHEAT 状态灯会亮大约 10 到 15 分钟。 它表示 ML10 正在经历初始的稳定阶段。 这时， ML10 UNSTABLE 状态灯也会亮。脉冲入脉冲入/ /脉冲出脉冲出此状态灯也可用来在启动 脉冲入 及 脉冲出 装置时显示。ML10ML10 ON/ML10ON/ML10 故障故障/HT/HT FAILFAIL这些都是可能会出现在屏幕上相同位置的消息。ML10 ON 应在任何时候，一连接上 ML10 激光器并开启时显示。ML10 FAULT 消

20、息会发出警告表示激光器的输出功率已降至预置的阈值以下。 只要保持足够的信号强度，即使出现此消息，仍能获得令人满意的测量结果。 不过，若它一直亮下去，请尽快与 Renishaw 或您当地分销商洽商。HT FAIL 消息表示 ML10 激光器电源发生故障。 若发生这种情况，请先检查激光器的操作电压是否正确。 如该标志继续出现，请与 Renishaw 或您当地分销商洽商。ML10ML10 稳定稳定/ML10/ML10 不稳定不稳定这两条是可能会出现在屏幕上相同位置的消息。ML10 稳定 表示 ML10 已达到稳定的状态。ML10 不稳定 则表示激光器的光输出波长没有保持在所需的容差范围内。 在 ML10 激光器刚开启时会出现这种情况，但若后来 ML10 变得不稳定， ML10 UNSTABLE 状态灯还是会亮。 5.3 镜组的使用 检测螺距误差应该选用什么境？ 该方法选用的镜组请参看第四小点的图 1，在机床上的安装如下图： 检测时镜组的光学设置和测量原理是什么？图图 1 1 - 线性测量的光学设置要设置线性测量，将一个线性反射镜连接到具有两个紧螺纹的分光镜上。 这个组合要件被称为“线性干涉镜”，可以作为激光束的参考路径。 线性干涉镜位于 ML10 激光器和线性反射镜之间的光束路径，如图 1 所示。分光镜管上标有两个箭头以显示其方位。 箭头应指向两个反射