主题ST2000系列电镀铜光剂初步试用报告

1、因生产需要及改善品质,经公司上层决定在09年5月25日开始导入恒侨公司ST-2000 系列电镀铜光剂进行试用评估.二、目的改善电镀品质、降低公司本钱及开发新供给商.三、药水简介1、恒侨ST-2000系列电镀铜光剂为代理乐思公司药水,由 ST-2000M 开缸齐J、ST2000B 添加剂、ST2000c 调整剂组成.2、生产时ST2000B®每千尺耗量添加2L;据每班哈氏片效果补加 ST2000c每天添加量 小于0.5ML/L按槽液体积计算.3、此药水特点为镀液稳定性好,镀铜分散水平好,适合高电流密度电镀,可提升产能；深镀水平好,电沉积层延展性优秀、热应力低.四、跟进过程及测试结果1、

2、洗缸操作详见附件示电镀洗槽.docx2、开缸操作详见下附件示匕电镀开缸.docx3、试板跟进3.1 试板流程：开料一钻孔一沉铜一板电3.2 试板条件：8#铜缸药水分析电镀条件备注CuSo4.5H2O： 66g/LH2SO4： 210g/LCl-： 47PpM1、电流密度：18ASF;2、电镀时间：75min ;3、铜缸温度：25 C1、试板开料：18 " X 24" X 8PNL;底铜 1OZ.2、取飞靶的1,5,8板测试；3、最小孔径：0.2mm；板厚：1.6mm,TP 厚径比w 5： 1常规要求?85%.3.3测试工程及数据分析:3.3.1 均镀水平测试1测试点位置如下

3、列图所示：I 夹板位1234567892均镀水平测试结果见下表：以整飞巴数据为准工程镀铜厚度单位：心m123456789MAXMINAVE均匀性A面36.236.634.232.533.73334.632.93439.230.234.686.90%37.336.935.635.53434.234.63233.636.736.635.53534.53631.831.831.334.233.733.83334.334.633.630.730.236.632.833.139.134.934.438.931.931.837.236.533.6353537.532.731.430.939.236.138

4、.636.133.337.936.732.93536.536.336.733.734.833.135.232.731.9B面36.335.735.33534.834.732.432.431.639.430.634.687.20%37.535.238.233.934.13634.532.632.639.438.137.334.23433.532.231.931.63634.533.434.534.734.633.832.231.932.933.434.633.7353632.833.635.936.334.734.333.133.233.932.234.135.638.536.236.637.4

5、32.537.23832.835.939.136.937.832.633.730.634.43133.3备注1 .试板开料：18 " X24" X 8PNL;电流密度：18ASF;电镀时间：75min;2 .每片板用铜厚测试仪测试9个点；3 .计算公式：镀铜均匀性 =1- MAX-MIN /2*AVE X 100%；4 .接受标准：镀铜均匀性常规要求?85%,即测试结果合格.3.3.2深镀水平测试1深度切片测试数据点位置如下图：A1A3B1 B4A1,A2,A3,A4点的数据为 外表电铜的厚度；B1,B2,B3,B4,C1,C2 孔内 电铜厚度.C2C1B2 B3A2A42

6、深镀水平测试结果见下表：工程孔铜厚测量结果外表铜厚测量结果深镀能 力孔及取板编号B1C1B2B3C2B4最小值A1A2A3A4平均值0.2mm 11# 板34.0832.7335.2435.7633.5734.632.7335.4736.3135.4735.4735.6891.73%0.2mm 5#板32.0828.5330.5730.7327.732.5727.732.9633.7932.1232.1232.7484.61%0.2mm 8#板33.7635.0832.0833.7630.3733.5730.3735.4735.4734.6334.6335.0586.65%0.3mm 11#

7、板35.6334.7335.2835.3634.0835.8634.0836.3136.3136.3136.3136.3193.86%0.3mm 5 5#板34.4130.2134.0832.4431.0533.5730.2136.3132.9636.1533.7934.886.81%0.3mm 8 8#板35.2831.8935.2436.9232.7236.9231.8936.1535.4739.6736.1536.8686.52%平均值31.1635.2488.36%备注1 .取孔彳0: 0.2、0.3mm；板厚：1.6mm；2 .孔口表铜铜厚均值 35.24心可3 .计算公式：镀铜深镀

8、水平=孔铜最小值/表铜平均值X100%;4 .镀铜深镀水平平均值为88.36%,常规要求?85%,即测试结果合格.3取0.2、0.3mm两种最小孔径切片观察深镀水平,如下列图:局部放大图及测量数据图一以上为孔径0.2mm切片数据全孔图片图二以上为孔径0.3mm切片数据3.3.3镀铜延展性测试：延展性要求?12%Sample NameDirectionThickness(mm)Tensile Strength(N/mm 2)Elongation(%)未塌1-1#H0.0439265.4415.35未塌1-2#H0.0461264.0415.90未塌1-3#H0.0488264.0316.64未塌

9、2-1#H0.0391276.1112.49未塌2-2#H0.0456268.6915.87未塌2-3#H0.0477269.9716.57已煽1-1#H0.0470258.6217.96已幅1-2#H0.0436258.3515.35已幅1-3#H0.0476261.1715.90已煽1-4#H0.0426259.8015.92已煽2-1#H0.0445276.0316.50已煽2-2#H0.0489266.4615.75已煽2-3#H0.0382279.6712.18已幅2-4#H0.0482272.2616.35备注镀铜延展性测t结果均在 12%以上,测试结果合格.3.3.4热应力测试：

10、结果如下测试条件：浸锡温度 288 C, 10S/次,3次,如下图切片图片一切片图片二3.3.5小结1均镀水平：以上数据表达 8#铜缸均匀性测试平均为87%,均匀性良好.2深镀水平：以上数据表达8#铜缸深镀水平测试深镀水平最小 84.61%,最大93.86%, 平均值为88.36%;深镀水平大于85%深镀水平良好.3镀铜延展性：以上数据表达 8#镀铜缸延展性测试结果均在 12犯上,镀铜延展 性良好.4热应力实验：浸锡温度288c , 10S/次,3次,结果无孔角断裂及孔壁别离现象.五、本钱评估需跟进批量生产,确定耗量标准,再进行本钱评估.六、环境评估药水可直接排入废水处理池,进行综合处理；废气由专用抽风管道抽至废气塔进行处理.七、技术效劳药水供给商恒侨公司设有驻厂工程师,出现品质异常随时可至我司生产现场处理,技术效劳到达我司要求.八、结论1 .电