防静电定期检测规范

1、防静电定期检测规范5、作业程序5.1 测试方法：5.1.1 测试环境：环境温度23± 5C,相对湿度40%-70%5.1.2 测试仪器使用方法5.1.2.1 静电场测试仪（TREK520静电场测试仪是感应式的，该仪器表面有2个按键："POWE R、”RANGE/ZER Q “HOLD, 按“POWER键开机/关机。该仪器有两个量程：02KM 020KV,可通过按 “RANGE/ZERQS进行切换。当显示3位小数时，量程范围为02KV当显示2位 小数时，量程范围为020KM每次测试时都应进行读数清零工作， 方法为：将sensor对准一个已知的电压 为0V的导体上，按“ RAN

2、GE/ZERQS至少3秒钟。为保证测试值的准确性，测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。测试前， 先将待测物放置在绝缘的物体上（如干燥的硬纸板），手持干燥并干净的棉布以每 分钟120次的速度，施加适当的压力（24千克力），单向摩擦待测物表面20次， 然后用仪器测量电压（senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在 一起），将显示的读数乘以1000即得实际的电压值，例如读数为“ .018”，则实 际电压为18V。5.1.2.2 表面电阻测试仪（ACL-385）ACL-385为简易表面电阻测试仪，该仪器两个测试电极间距根据标准不变，测试时将被测物放于绝缘的平面上，表面电阻测试仪平置在

3、材料表面上，手指施加适当压力 （24KG于测试按钮上，使测试电极与材料表面接触良好，指示灯发亮档即 为读数。如果被测材料为软性材料，可施加 46kg的压力进行测试。5.1.2.3 接地电阻测试仪（EMI-20780）EMI-20780可以测试点对点电阻（RTT）,接地电阻（RTG）、体积电阻，和表面电阻率，配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试范围为：1x 10 3?-1012?;测试电压为：10V或100V+/-5%;测试精度为：+/-10%；测试时间为15秒； 测试时：把2条连接线分别插入测试表上端的“ A”插口，注意白色连接线和黑色 连接线的插头不同，不要插错.然后连接线另一端分别

4、插入点对点重锤电极；按 下“D”测试按键15秒，这时LCM幕按顺序显示如下： 华氏温度 摄氏温度 相对湿度 电阻值所采用的测试电压电阻测试结果由“ B”显示屏和“ C冥数LED指示灯共同显示，例如电阻值为175, 000, 000Q ,显示如下：1.75显示在“B”显示屏上，同时"C LED旨示灯的8会亮，表示测试结果为：1.75 x 108Qo如果LCES示屏显示“ 1"，说明超过该仪器测试范围。测试电压为10Vl戈100V,按下“F”键，采用10Vt压测试，如果不按下“F”键，仪器 会根据不同测试材料自动选择测试电压.阻值在105。以下时采用10VM试电压，阻值 在10

5、6。以上时采用100VH试电压5.1.2.4人体综合电阻测试（腕带测试、鞋测试） 测试步骤：1 .员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确，静电鞋鞋底干净，穿戴正确。左右两 脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板，然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。2 .扫描工卡后，电脑会显示你的身份资料，同时仪器的LCDS板提示“请您按下测试键”。 手指按下测试键，（确保手指与按钮金属键的完全接触）开始测试， 3秒后仪器将测试完 毕。3 .如果受测对象合格，仪器“嘟”长响一声，同时仪器的 LCDS板显示“通过”，如果 测试不合格，仪器”嘟嘟嘟嘟”短响8声，同时仪器的LCD面板显示“不通过”。不通

6、 过时可连续测试4次，若还是不合格，员工立即到IPQAt更换。4 . IPQAS维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。5.1,2.5接地桩电阻测试仪（ZC29阻号）1 .沿被测接地极E'使电位探棒P'和电流探棒C'依直线彳此相距20米，且电位 探棒P'系在E'和C之间。2 .E端钮接5n#线，训钮接20n#线，C端钮接40m#线。3 .将仪表放置水平后检查检流计是否指零，否则可将零位调正器调节零位。4 .将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把，同时旋动电位器刻度盘，使检流计指针指“ 0”。5 .当检流计的指针接近平衡时，加快发电机摇柄转速，使其达到

7、每分钟150转。再转支电位器刻度盘，使检流计平衡，此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测 接地电阻数值。6 .当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率， 重新调整刻度盘以得正确 读数。7 .当测量小于1欧的接地电阻时，应将2个国的联结片打开，分别用导线联接到 被测接地体上，以消除测量时联接导线电阻的附加误差，操作步骤同上。8 .当检流计的灵敏度过高时，可将二根探棒插入土壤中浅一些，当检流计灵敏 度过低时，可沿探棒注水使其湿润。5.1.2.6 离子风机测试仪（3M-718 Z3M-718A）1、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端 相连接，同时按下

8、静电产生仪“ +”按钮和测试仪“ HOLD键，测试仪显静电值应大于“+1000V 。2、在离子风机下不超过30cmt水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显 示值应大于-40V小于+40V。3、打开测试仪（718）电源，将测试仪（718）金属板一端与静电产生仪（718A）金属端 相连接，同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“ HOLD键，测试仪显静电值应小于 “-1000V” 。4、离子风机下不超过30cn#水平移动静电测试仪3秒钟（金属板向上），再看测试仪显示 值应大于-40V小于+40V5、在检测表中记录显示值，注明检测日期，调节后的值。注意：要求平衡电压为-400平衡电压0

9、40V5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪（SAML1800:测试时，开关旋转至“ 1801 FALL”档，SALM1801S-I的LE四成红色，蜂鸣器发出 报警声响；旋转开关至“ 1801 PAS6档,SALM1801S-I的LED变成绿灯，蜂鸣器停止发 出报警声响。此为合格。5.2测试项目5.2.1 静电接地极电阻测试每半年使用ZC29B!行一次测试，要求静电接地极对地电阻小于1Q,将测试结果记 录在ESD点检记录表格 中。5.2.2 设备、仪器接地电阻测试每月由ES文员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次（新建工位或工位调整后 要立即测试）测试结果记录在ESDS检记录表格中。1 .

10、设备仪器接地电阻：设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Qo测试频率：每月。2 .电烙铁：对使用中的电烙铁进行接地电阻测试，要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗 要小于10 Q。测试频率：每天。1.1.3 静电接地线接地电阻：每半年ESX员对静电接地线的接地电阻进行检测。要求每条线都要测。测试方法: 在每条静电接地线上任意找一个点，将万用表的一端连在这个点上，另一端插在 电源地线孔里。要求电阻值小于10Q。测试结果记录在ESD（检记录表格中。1.1.4 防静电工服PET程师或指定人员，每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试，要求表面电阻1X105?<Rs< 1 X

11、109?（上衣做点对点、袖对袖、片对片测试，裤子做裤脚对裤脚、点对点测试），“每次全检，测试结果记录在 ESD（检记录表格中。如检测到不合格的情况，在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章，并邮件通知该员工经理让其当天之内到库房更换。IPQ既督有无不合格静电服流 入产线。1.1.5 防静电工作台ESD 专员负责 每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻在IX 105IX 109 欧姆和接地电阻在1*1061乂109欧姆。每块工作台面测试3个点，将测试结果平 均值记录在ESD（检记录表格中。1.1.6 地板由ES国员负责每 季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次，要

12、求地板的表面电阻在 1*1051*109?之间。每100平米地面测5个点（对于面积小于100平方米的独立区 域如：IQG RDS验室、来料仓，每个区域要测5个点）。测试时两个电极距离为 0.6米1米，测试结果记录在ESD（检记录表格中。同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次，接地电阻在1*105-1*10 9Q之间。测试方法：将EMI-20780的一个电极放在地板上，另一端插入电源地线 插孔里。每100平米测试1个点。测试结果记录在ESD（检记录表格中。1.1.7 物流器具（如：周转箱、周转车、货架）1.1.7.1 由ES*员负责每半年使用TREK520DEMI-20780测试仪测试

13、一次，要求摩擦电压小 于100V,周转箱表面电阻：1X103?- 1X109?,每次每种器具抽检，每1条线抽 检10Pcs,如果有IPcs不合格则全检。测试结果记录在ESD（检记录表格中。1.1.7.2 由ESD员负责每季度使用EMI-2078CW试仪测试一次，要求周转车，货架表面电阻小于1X109?,接地电阻在1X10?- 1X109?之间。测试结果记录在ESDC检记录表格中。1.1.8 腕带、工鞋性能检测操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试，测试结果由电脑自动保存，产线专门 人员进行存档管理；在车间办公的职员，每日上班进入车间前要进行工鞋测试， 对于有可能接触产品的职员（如生产主管

14、、工艺、设备、质控人员）每日上班也 必须使用人体综合电阻测试仪，测试记录由电脑自动保存。如有测试不合格者需 立即到IPQAt更换。测试合格后方能进入产线。100KQ -35MQ。腕带系统电阻：800KQ -10MQ;工鞋系统电阻:1.1.9 静电场检测由ES*员负责每季度使用静电场测试仪（TREK520对车间各工位的静电场强进行一次测 试，并将测试结果记录在ESDC检记录表格中。测试要求：距工作台30CME围内，静电值要小于+/- 100 V1.1.10 离子风机测试由ES*员负责每季度使用3M-718f 3M-718A寸车间的离子风机性能进行测试，测试内容包括“平衡电压”、“消电时间”，并将

15、结果记录在ESD（检记录表格中测试要求：测试仪器距离离子风扇正前方30厘米；合格标准：1000V降到100Vl勺消电时间小于3秒，平衡电压绝对值小于40V。注：CPM?分别在正、负两种充电状态下测试1.1.11 防静电工作椅子由ES国员负责 每月使用EMI-20780测试仪测试一次，要求表面电阻和接地电阻都在1X105-1X 109欧姆之间，。将测试结果平均值记录在ESDC检记录表格中。1.1.12 传送带测试由ESD员负责每季度使用表面阻抗测试仪测试一次，要求表面电阻在1 X 105- 1 X 109欧姆之间。每条传送带测试3个点，将测试结果平均值记录在ESD 点检记录表格中。1.1.13

16、手腕监视器测试由ES*员负责每半年使用SAML180校正仪对手腕监视器的电容进行一次。测试不合格立即更换。5.3 防静电包装材料的测试5.3.1 认证测试：首先要求供应商送样给 PE确认，同时附上产品的相关参数说明书或产品相关性能指标认定书，经PE验证合格后方可采购。防静电性能测试环境要求：温度23± 5C,湿度15±5% 测试项目材料表面 电阻摩擦 电压屏蔽泄 漏电压高温环境模拟测 试ES丽志PEgVVVV吸塑盒、物VVVV料盒汽珠袋、泡棉VV有机保护屏VVV缓冲材料VV屏蔽袋VVVVV防静电胶带VVVV防静电防尘 布VV打为必测项目高温测试：在温度为60C,湿度为15%

17、的干燥箱内烘烤12天或在温度为70C,湿度为15%的干燥箱内烘烤8天，然后放于室温存放24小时再进行表面电阻、摩擦电压测试5.3.2 接收测试品管部门对所有无物料代码的ESD甫料进行来料检验。不定期全检。检验要求如下：防静电性能测试环境要求：温度23± 5 C,湿度4070%测试项目5.3.3点检测试材料表面电阻摩擦电压屏蔽泄漏电压高温环境 模拟测试ES揖志PEgVVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有机保护屏VVO缓冲材料VVO防静电胶带VVVV屏敝袋VVVV防静电防尘 布VV由ESD、组人员每个月使用表面阻抗测试仪对各条线的防静电袋、自制容器、防静电胶、有机玻璃屏进行抽检。

18、要求表面电阻在 1X 10 4-1X 1011欧姆之间，摩擦 电压小于100V。每条线测试5Pcs,若有3Pc/合格则整条线全检并更换相应物料。以上这些物料必须有防静电标识才可投入产线使用，一经IPQ侬现将没收，找替代品或者做防静电加工。5.4 各类防静电物品、设施检测指标测试项目摩擦电压表向电阻系统电阻防静电工服、工帽1 X 105? <RS< 1X109?工鞋1 X105? <Rs<1 X 109?0.1 X106? W R<3. 5X107?腕带内面 v 1x105a外面 >1x107a0.8 X106? w R<3. 5X107?防静电地板0.

19、1 X106? <Rs< 1 X 109?0.1 x 106? < R< 1 X 10 9?工作台1 X106? <Rs<1 X109?0.75 X 106? W R< 1 X 109?周转箱、周转 盒、托盘、料 盒、防静电刷 子、防静电镣 子、防静电推 车<100V1 X103? WRs<1 X109?传送带1 X 106? WR<91 X 10?防静电工作椅1 X105?<R<1X 109?1 X106?<R<1X 109?PE<100V1 X 104? WRS<1 X1011?吸塑盒<100V1 X104? <Rs<1 X1011?汽珠袋、泡棉<100V1 X104? <Rs<1 X1011?缓冲材料<100V1 X104? <Rs<1X1011?屏蔽型防静电袋<100V1 X 104? < Rs< 1X1011?防静电胶带<100V1 X104? WR<1 X1011?防静电有机玻璃板<100V1 X104? <Rs<1 X1011?防静电防尘布、手套、指套<100V1 X 104? WRs<1 X1011?注：1.屏蔽袋要加测“屏蔽泄漏电压”，要求小于10