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1、第七篇 量测系统分析(Measurement System Analysis)7 . 1量 测 系 统 分 析1 8 37 . 2计 量 值 量 测 系 统分 析1 8 77 . 3计 数 值 量 测 系 统分 析2 0 4SPC是对任何场所依计划收集的数据数据进行简单的统计分析， 以分析制程是否稳定，而据以采取对策。然而绝大部份的数据都需经 由量测系统而得，若量测系统中的设备及人员的误差很大，则直接影 响制程观测数据的误差， 以误差大的制程观测数据作为制程问题对策 的依据，其付出的代价是很难衡量的。业界除了对仪器设备进行有效 的管理之外， 对于制程管制系统中使用的量测系统进行研究是很重要 的
2、。计量值由仪器设备直接或经由人员检验读取量测结果；计数值由 仪器设备自动判定或由人员目视判定 OK/NG或GO/NOGQ两者皆受仪 器设备本身或检验人员的影响。仪器设备系统分析(MSA)以简单的实验及统计分析就能衡量仪器系统的变异，并分离仪器设备及检验人员的变异，以此为仪器设备系统管理的依据。7.1量测系统分析SPC是对任何场所依计划收集的数据数据进行简单的统计分析，以分析制程是否稳定，而据以采取对策。绝大部份的数据都需经由量 测系统而得，若量测系统中的设备及人员的误差很大，则直接影响制 程观测数据的误差，以误差大的制程观测数据作为制程问题对策的依 据，其付出的代价是很难衡量的。业界除了对仪器
3、设备进行有效的管 理之外 ， 对 于制程管制系 统 中 使用的量 测系统 ， 分 析其准 确性 (Accuracy) 、稳定性 (Stability) 、再现性 (Repeatability) 及再生性 (Reproducibility) 的研究是很重要的。以下介绍几个专有名词。量测系统：包含仪器设备 (Gauge) 、使用人员、方法、 样品及环境。量测系统准确性 (Accuracy) ：同一人员使用同一仪器设 备，重复量测同一样品的同一特性， 所得数据的平均数与真值的差，如【图 7-1】所示OBSERVATIO NPROCESSMEASUREMEN T【图7-1】量测系统准确性量测系统精密度
4、(Precision):总合影响量测系统的再 现性、再生性及其他因素引起的变异。实际量测产品或制程数据，其观测得的数据受到很多原因影响， 假设各原因是相互独立的，可以由变异表示之，如下式。 222OBSERVATION12 kOBSERVATION :观测数据的总变异，i :第i个原因的变异，i=1,2，,k 一般影响制程观测数据的原因不是很容易确认及解释，但是我们 可以用实验来确认因量测系统引起的变异及产品或制程本身的变异，如下式OBSERVATION2PROCESS2MEASUREMENT若能降低量测系统引起的变异，可以使观测数据的总变异减小， 如【图7-2】所示。因此，如何衡量量测系统的误差而且保证其误差 在一定的程度下，是量测系统分析的主要目的。MEAS
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