LCD涂胶预固化作业规程

1、LCD作业指导书A版第4页共6页电子有限公司文件文件编号共6页版本A电子有限公司发布日期2009年3月28日涂胶预固化作业指导书生效日期2009年3月28日编制审核批准一. 目的：本指导书规定涂胶预固化工位的工作内容及步骤。二. 范围:本指导书用于LCD玻璃涂胶预固化操作过程。三. 设备及工装：涂胶机、抽滤瓶、砂芯漏斗、洗液瓶、预固化炉（热板炉）、粘度计、小型净化单元等。四. 材料：正性光刻胶、稀释剂、3M纸等。五. 工艺步骤：5.1作业流程冷板冷却>涂布光刻胶>光刻胶预固化曝光前涂胶检查主要参数及控制要点52冷板冷却521冷却装置：内置冷却水（自来水）循环冷板；5.2.2冷却水温

2、度：室温；5.2.3玻璃冷却时间：（2土 1）s ;5.2.4玻璃表面温度：w 28C。5.3涂布光刻胶5.3.1光刻胶类型：正性光刻胶；5.3.2 光刻胶型号：AZ-RFP-230K2 （日本 Clariant）、RZJ-390PG （苏州瑞红）;5.3.3 稀释剂型号：AZ-1500 （日本 Clariant）、RZJ-3100 （苏州瑞红）;5.3.4 胶粘度：（1828）X 10-3Pa.s （即卩 1828 厘泊） ;5.3.5 环境温度：（21 土 3）C ;5.3.6 环境湿度：（4555） %RH ;5.3.7泵流量：4560 （旋钮刻度）；538泵周期：710 （旋钮刻度）;

3、539 传送速度：（6.0± 1.0） m/min ;5.3.10胶轮压力（Doctor Roll压入量）：表显刻度（5.4±0.4）mm,实际压入量（0.6± 0.4） mm ;涂胶间距（Coating Roll压入量）：实际压入量为 0.08mm,表现刻度（？玻璃厚度0.08?土 0.04） mm,具体如下：1.10t0.70t0.55t0.40t(1.02± 0.04) mm(0.62 ± 0.04) mm(0.47 ± 0.04) mm(0.32 ± 0.04) mm5.3.11涂胶机净化单元：2档5.4、光刻胶预固

4、化5.4.1 预固化炉热板温度（土 5C）： 25C、40C、60C、80C、100 X6 C、80°C、60°C、40°C、25°C ；5.4.2预固化时间：（210± 20） s（每片玻璃周期：15s玻璃热板停留时间：10s）六、生产前准备6.1开启涂胶机、预固化炉等机器，并确认无报警、异常震动、异常声音及其他异常现象，并将机器参数设定为与所要生产的玻璃规格相符；6.2检查光刻胶及稀释剂的型号和日期，确认准确无误后方可开始配制；6.3回收光刻胶须经砂芯漏斗过滤后，将粘度调至适用范围后再重新使用，调节 方法如下：加少量稀释剂，充分摇匀后用旋转

5、式粘度计测出其粘度，重复多 次控制粘度在适用范围内；盛胶的瓶子应分开并做好标识，记录每瓶胶的类 型（原胶、回收胶、过滤胶）、粘度、操作日期等，回收胶应尽快使用（不超 过两个工作日）；6.4每班生产前，涂胶岗位人员应检查胶轮是否生胶线（暗线）、划伤或其他缺陷，胶轮间距是否设置与玻璃厚度相适应；6.5对在线控制参数进行检查、巡视，并登记在图形制作工序过程控制检查表I上。七、生产过程操作7.1涂光刻胶前7.1.1前清洗输出玻璃是否有裂角或破损（如有，报废）、玻璃放置（倒角）是否 正确；7.1.2前清洗输出玻璃表面干净、干燥、无异物7.1.3涂布光刻胶7.1.4检查涂胶机内供胶和回收胶瓶情况，及时补加

6、和回收；7.1.5供胶正常，胶轮上胶正常无胶线后，在玻璃出口处观察涂胶是否正常，如 有异常，则在规定范围内调节涂胶参数至最佳效果；7.1.6涂胶人员应经常巡视，巡视内容包括：传送正常，设定参数在控制范围内;7.1.7无玻璃供涂胶或生产短暂停产时，涂胶机不停，可适当调小周期并调低传 送速度；7.1.8当出现胶线（暗线）时，可按常规的处理方法，处理无效报工艺人员处理；7.2、胶线的处理 7.2.1出现胶线可能是因为胶的粘度不够、供胶不足、涂布压力过大（涂胶轮和支撑轮间距过小）、Doctor轮压力小、涂布过程异常如玻璃表面不够干净kJ干燥等。7.2.2胶线的常规处理a、暂停玻璃通过，检查胶和供胶的状

7、态，确保正常；b、增大涂胶速度并运行一会看胶线是否消失；c、 增大胶轮压力，在原来的基础上再压入0.050.40mm ；d、暂时关闭“ CONVEYOR ”开关；e、 保持较大的“转速”和“压力”，在胶线部分用 M3纸醮适量高粘 度光刻胶。f、保持较大的“转速”和小的“压力” ，M3纸醮稀释剂把胶线及其附近地方的光刻胶清洁干净，用 M3纸醮适量高粘度光刻胶轻轻擦拭或滴加高粘度光刻胶（手动）7.3光刻胶预固化7.3.1当发生裂玻璃时，必须先停机，打开炉盖清理玻璃碎并彻底清洁，并把炉 里的玻璃返工；7.3.2生产过程中，预固化炉炉盖不能打开。LCD作业指导书A版第5页共6页八、曝光前涂胶自检8.1

8、检查涂胶情况，形成的光刻胶膜须均匀，表面不能有针孔、黑点、胶线、 胶点及异物，如有则须返工。检查频率：每换产品，中间过程 15分钟检查一次。8.2在生产细线间距产品（最小间距w 30卩）时，进行涂胶自检的玻璃不能直 接生产使用，须返工。九、停产及交接班管理9.1当生产结束时，如无继续生产，需检查预固化炉内无玻璃方可停止，同时应将胶轮清洁干净后方可停机。9.2 一个产品结束后，首先将涂胶机自动运转停止，待胶轮间距调节至与下一个产品相符时方可开始自动运转9.3交接班时需等接班人员到达后方可离开岗位，同时转交并确认已生产及在线玻璃数量，生产产品种类及特殊要求十、注意事项及异常处理1、生产出现突然停电

9、时，必须马上将胶轮（Doctor Roller和Coating Roller）调 开，并用稀释剂将胶轮上的光刻胶清洗干净；2、较长时间停产之前及复产时必须先用稀释剂清洁胶轮、泵及过滤芯，并将胶 轮（Doctor Roller 和 Coating Roller）调开；3、胶轮应小心谨慎，用力均匀适当，切勿在胶轮上横向滑动以免损伤胶轮的纹理结构；4、每班开始生产及每换产品时应对玻璃在清洗机里的情况进行跟踪，防止玻璃重叠、堵塞，生产过程中应每10分钟巡视一次；5、当胶轮出现胶线时（在玻璃涂覆区或边缘非涂覆区），均应立即暂停玻璃通过， 待处理稳定后再让玻璃通过；&收取返工玻璃应采用插架方式，插

10、架时应从上到下，注意插框不能叠放；7、有紧急情况时，可先按急停键（STOP）停机，再作处理。LCD作业指导书A版第6页共6页LCD作业指导书A版第7页共6页卜一、清洁操作要求11.1每周周一、周四需进行大清洁，较长时间停产时需清洁，复产时需进行大 清洁；11.2清洁规程 11.2.1涂胶机的清洁(步骤 a g可进行也可不进行)c A、关泵，打开过滤芯的排放阀放掉过滤芯、管道中的光刻胶；b、关闭排放阀，把光刻胶换成稀释剂并把装回收胶的瓶换成空瓶;c、开泵，把泵流量及泵周期调到最大，让稀释剂充分清洗过滤芯、泵、 输送管和辊轮；d、调小传送速度，用M3纸醮光刻胶稀释剂分别清洁两个胶轮(Coating

11、 Roller和Doctor Roller)，清洁干净后把两个胶轮分开；e、用M3纸醮光刻胶稀释剂清洁传送胶轮及传送轴；f、关闭电源，用 M3纸醮光刻胶稀释剂清洁涂胶机底下机腔及机壳;g、打开过滤芯的排放阀放掉过滤芯、 管道中的稀释剂并使处于打开状。 丿11.2.2涂胶预固化炉的清洁: 、关闭炉电源, 、过10分钟后打开盖子；用 M3纸或白洁布蘸丙酮擦拭盖子底部、底部边缘、密封圈橡胶、炉子内壁、机械手及机械手横杆，除去表面污垢和凝结物。 、盖上盖子，用拧干湿毛巾擦拭炉盖和炉身的外壁，擦去表面灰尘。、打开炉子底下机器挡板，用吸尘器吸去表面灰尘，再用M3纸或白洁布蘸丙酮擦拭机器支架、线盒表面污物和油污。、用拧干湿毛巾擦拭挡板内外侧，盖上挡板；清洁完毕十二、生产防护12.1使用光刻胶和稀释剂时均须带手套或手指套，操作细心谨慎，防止溅到皮 肤或眼睛，如有接触，应及时用大量清水冲洗；当溶液溅到眼睛时，切勿 用手搓、揉眼睛，必须及时用大量清水冲洗，严重时须及时找眼科医生就 症；12.2设备运行时身