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文档简介
1、传输线脉冲测试系统1套技术要求一、设备的组成及配置清单1.1 传输线脉冲发生器1.2 示波器1.3 漏电监测单元1.4 自动化测试硬件系统(传输线脉冲波形注入的波形控制,被测器件的瞬态电压和电 流波形、IV曲线测试)1.5 预装了自动化测试、记录软件的电脑台式主机(配置:i7处理器,8G内存,1T硬 盘),国内采购19英寸显示器、鼠标、键盘1.6 探针台及测试配件(包含:体视显微镜(最高放大倍率90倍,国内采购),微距 探针座,探针臂,探针,测试配套的连接线缆,以及电压和电流探头)二、系统各部分的技术规范要求2.1 传输线脉冲脉冲发生器:开路最大输出电压:土 1.25kV短路最大输出电流:土
2、25 A系统阻抗:50?上升沿时间:0.1ns, 0.3ns, 0.6ns, 1ns ,内置程控可选 传输线脉冲脉冲宽度:0.5ns, 1ns , 5ns, 100 ns ,内置程控可选2.2 数字源表:电压量程:土 200V电压精度:w± 100nV流量程:土 1A电流精度:w±1pA2.3 示波器:带宽13GHz采样率40Gsa/s,四个模拟通道2.4 测试电脑和测试软件能通过USB接口、GP旧接口或者网口控制示波器、SMU传输线脉冲发生器;能够 设置五段或以上传输线脉冲测试电压序列、能够调整脉冲间隔、测量窗口和 电压步长;能够设置五个或以上DC测试点进行直流漏电测试;
3、系统校准包括电压、电流瞬态波形的起始时间校准,以及 SOZL四步校准,校准完成后在软件中自动计算校正参数;能够启用或禁用漏电测量;能够保存测试结果(包括IV曲线图、IV曲线数据表格、每个瞬态电压、电流测 试波形数据);能够支持多种数据结果分析:IV曲线,IVT 3D图,动态电阻,R-t的曲线及DUT端能量积分功能;能够调用四个或以上测试结果进行对比分析。2.5 探针测试装置:可进行两线和四线的传输线脉冲探针测试,装置包括探针台、体视显微(最高放大倍率90倍,国内采购),探针座和探针臂,探针,测试配套的连接线缆,以及电压和 电流探头。2.6 双向开关模块:用于传输线脉冲测试与漏电测试之间的切换2
4、.7 电流测量配件:配备传输线脉冲测试电流探头配备快速传输线脉冲TDR-S方式的电流测量低损传输线2.8 支持TDR-O方法的标准传输线脉冲测试和TDR-S方法的超快传输线脉冲测试, TDR-S测试方法需配备电压、电流测试通道的S参数频域补偿算法。三、质保要求:验收合格后2年显微高速成像系统1套1 .工作温度-10 C50c2 .满幅分辨率不低于1280X 8003 .满幅拍摄速率不低于5200帧/秒4 .分辨率为256X 256时拍摄速率不低于50000帧/秒5 .分辨率256X 128时拍摄速率不低于100000帧/秒6 .最高拍摄速率不低于55万帧/秒7 .像元尺寸不小于20um8 .黑
5、白图像传感器,灵敏度不低于40000 ISO/ASA (12232SAT标准)9.最小曝光时间不大于1us10.内存容量不小于18G11 .分辨率连续可调(64X8)12 .具备基于图像的自动触发功能13.具备1us级二次曝光功能和自动曝光功能14 .内置机械快门15 .具备千兆以太网控制接口16 .具备HD-SDI视频输出功能17 .重量不大于2.5KG18 .体积不大于 12.7 cmX 12.7 cmX 12.7cm19 .与现有Nikon设备匹配20 .图像格式必须具备CINEMOVAVK MP4等视频格式和BMPTIFF、JPG等图片 格式,支持内存独立分段记录功能,不低于63段21
6、 .具备可编程输入输出接口22 .配备分析处理软件,具备摄像机设置、分析回放、运动分析、图像处理、文件管理及各式转换23 .配备专用光源、标配电缆24 .需提供生产厂家或总代理授权书、售后服务承诺书及技术证明材料(含彩页)可调谐激光器1台1 .步进波长调谐,波长设置精度,土 200 pm,步长分辨率:土 10 pm2 .波长扫描范围覆盖14901610nm3 .输出光功率+3dBm (全波段),输出功率+6dBm (1520-1590 nm)4 .线宽150 kHz (相干性控制开启),边模抑制比 45dB5,扫描速度:可达10nm/s6,输出:单模光纤输出,FC/APC接头配置:可调激光器主
7、机1台,电脑1台。需提供生产厂家或总代理授权书、售后服务承诺书及技术证明材料(含彩页)数字源表1台1 .用于高速直流参数测度2 . 提供宽动态范围 10pA-10A,1uV-1100V,20w-1 OOOw3 .四象限工作4 . 0.012%精确度,5?的分辨率5 .可程控电流驱动和电压测量钳位的6位线电阻测量6 .内置快速失败/通过测试比较器7 .可选式接触检查功能8 .数字1/0提供快速分选与机械手连接,9 .达1700读数/秒(4位半分辨率),至GP旧总线精密恒压泵1台技术参数:双通道,每个通道单独控制不同气压。一、压力驱动微流体进样仪1 . 压力输出波动:v 0.005%2 .压力输出
8、响应时间:9ms3 .内置压力传感器误差:w 0.006%4 .压力输出稳定时间:w 40ms5 .压力和真空源:将压力/真空源(空气压缩机、高压气瓶或者真空泵)与OB1连 接6 .监控:使用控制软件对压力输出和流量进行控制,可以通过编程压力和流量输出程 序来实现智能自动控制7 .样品:根据设定,OB1可以将储液瓶中的液体压入微流控芯片的流道中或者将液 体 从流道中吸出8 .芯片:通过精确的控制流体在芯片中的流动,OB1给予更加全面的样品控制。9 .产品输出参数:9.1 压力输出范围:-900-1 OOOmbar9.2 压力输出波动:满量程的0.05% (1000-500mbar内为500 u
9、bar);满量程的 0.25% (500-1000 mbar 内为 5 mbar)9.3 响应时间.9ms9.4 稳定时间:w 40ms9.5 内置压力传感器分变率:满量程的0.006% (122 ubar )10 .外接压力源压力范围(最小压力最大压力)真空源OOOmbar到0,压力源 1.5bar-10bar二、微流体流量传感器1 ,流量测量范围:0.07 P l/min-5000 |J l/min2 .传感器响应时间:w40ms3 .流量分辨率:1.5pl/s4 .低死体积:1 |I5 .双向流量测量6 .传感器内腔使用硼硅酸盐玻璃、石英玻璃或惰性PEEK材料,确保良好的化学和生物相容性
10、7 .微流控流量传感器:MSF27.1 流量范围:。到土 7 IL/min72精度(111、.=测量值):7到0.4&0.4到7 P L/min之间5%m.v.; -0.4 到 0.4 |J L/min 之间 20nLzmin7.3 传感器内径:150 P m8 .内部传感器毛细管为石英材质;紧凑型变速蠕动泵1套、技术参数:1 .控制类型:模拟变速2 .每分钟最小转数(rpm): 1.73 .每分钟最大转数(rpm): 104 .速度控制:土 5%5 .通道数:16 .最大流速(mL/min) : 1.657 .最小流速(mL/min) : 0.0028 .接受的管规格 0.19、025、0.51 >
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