ab339eagle60近100种不良地分析报告及调节方法

1、AB 339Eagle60Fully AutomaticGold Wire Ball BonderRevision : BDate : 02-13-20031st Bond Issue錯誤訊息B1 Missi ng ball detected狀況種類狀況一：Die 表面有 Capillary mark ,金線飛出 Capillary .狀況一問題分析Processing1. 檢查 EFO FIRE LEVEL 是否在正確位置可將 EFO box output switch切至 off, dummy bo nd點，此時可看到 Tail與E-torch角度是否正確（建議45度）2.檢查是否為金線污

2、染造成 燒球不良可將FIN 15 : EFO delay time 加長至450 ms,此時燒球時間延遲，在AUTO bon di ng 時可看到放電的顏色，一般正常顏色為藍色，異常顏色為藍色中有帶橙 黃色，若有異常請更換金線3.檢查 2nd bond lead壓合是否正常 ,2nd bond parameter 是否適當1. 不正常的2nd bond環境容易造成Tail（線尾）的長度不穩定也會導致燒球不良2. Tail too short靈敏度調整適當的值，將有助於檢知Tail長度正常與否，進而防止capillary mark on pad的發生（建議值-5 0 ）4. E-Torch 太髒

3、1 清潔 E-Torch5放電棒打火打在windowclamp 上1 .調整 window clamp 高度6 .參數設定不良1 . 2 銲黑占 power force search speed太大2. Wire clamp (open / close ) force不良Remark優點缺點Tran sducer fque ncy 64kHZ一銲點peeling 多二銲點浮動易解決Tran sducer fque ncy 138HZ一銲點peeling 少二銲點浮動不易解決錯誤訊息B8 1st bo nd non-stick狀況種類狀況一：Die表面污染，銲針不良狀況二：參數設定不良狀況三：t

4、ran sducer阻抗異常狀況四：一銲點不黏假偵測，偵測回路有問題問題分析Processing狀況一1 monitor看至U diepad有灰塵或污染造 成第一點打不黏1.使用 Corrb nd將此線重新補上2暫時更改增加1st bond base power / force的數值,將此線補上後再恢復原來之數值2 銲針污染或銲針壽命到期1 .更換銲針4 diffuser 位置，氣量不正確1重新調整狀況二1.檢查參數(power / force)是否超出設定 範圍1重新確認參數並銲線後歡察ball shear狀況2溫度參數設定不良狀況三1 con tact level2 transducer

5、out 輸出不良狀況四3 已銲線完成卻出現1重新調整ball設定 錯誤訊息2.將金線尾端確實接地.3. 檢查偵測回路是否為斷路.4. 檢查EFO box stick detect board是否偵測錯誤，如發生故障請更換 EFO box .硬體檢查方法：如圖 A-B點應為0 Q , A-C點應為 三1M QRemark錯誤訊息Small Ball狀況種類狀況一 ：Die Pad上出現小球問題分析Processing狀況一1檢查是否為金線污染 造成燒球不良金線 汙1可將FIN 15 : EFO delay time 加長至450 ms,此時燒球時間延遲 ,在AUTO bon di ng 時可看到

6、放電的顏色，一般正常顏色為藍色，異常顏色為藍色中有帶橙黃色，若有異常 請更換金線2 E-Torch 太髒1清潔E-Torch並dry run 4小時（萬不得已，請勿清潔）並請勿使用砂紙3線尾太短可將 EFO box output switch切至off, dummy bond點，此時可看到 Tail長度是否正常1 調整線尾設定值4 diffuser位置，氣量1重新調整不正確錯誤訊息Off Cen ter Ball / Golf Ball狀況種類狀況一：線尾燒球不良，形成咼爾夫球狀;在pad上可看到偏心球問題分析Processing狀況一1線尾太長可將 EFO box output switch

7、切至off , dummy bond點，此時可看到 Tail長度是否正常2金線或線徑污染1可將FIN 15 : EFO delay time 加長至 450 ms,此時燒球時間延遲 ,在AUTO bon di ng時可看到放電的顏色，一般正常顏色為藍色，異常顏色為藍色中有帶橙黃色，若有異常請更換金線2清潔線徑3Air tensioner 氣太低1調整air tensioner 氣流量4放電器或線路連接不良1檢查放電線路是否正常，否則重新接好2 更換 EFO BOX5檢查打火位置是否正常可將 EFO box output switch 切至 off , dummy bo nd 點，此時可看到 T

8、ail 與E-torch角度是否正確（建議45 °）4 diffuser 位置，氣量不正確1重新調整7 floati ng lead18 2 nd打到異物1清除異物，並重新銲線9 air不乾淨1檢查過濾器疋否變黃錯誤訊息Smash Ball狀況種類狀況一：所有的球皆為大扁球 狀況二：偶發性大扁球問題分析Processing狀況一1 impace force 太大1 減少 search speed ， speed profile Blk#0Acceleration 400010002 Shr ht過低3 con tact search threshold為 8 的倍數2 Force不良

9、1減少bo nd force 參數設定2 作 force verification觀看是否須作 force calibration3 確認 FORCE RADIO - 1.12 至U -1.15 之間3超音波不良1更換銅鏍絲，銲針2 Power offset是否任易變更4 Z Drive設定不良重新調整校正 Z Drive over short under short狀況二1晶片/熱壓板浮動1調整熱壓板壓合2 EFO打火棒設定不良1打火棒位置設定不良3 E-Torch 污染1用酒精清潔E-Torch，必要時更換之4 EFO放電不良1更換EFO5 Die厚/ Die 高度不一致'1反應D

10、ie Bond 工程6 Air diffuser 太大1調整air diffuser 設定7共振1 X Y table turni ng8 pivot spri ng1 pivot spri ng 不良9 n oise1 Table 和BH 及 W/H 至EFO 接地不良錯誤訊息Neck Crack狀況種類狀況一 ：Neck Crack 單一缺口 狀況二：Stress Neck 缺口成一環狀問題分析Processing1參數設定不良1 Revise dista nee 太大2 Revise distanee angle太大可將 RDA 降低3 Revise height 太低4 EFO Cur

11、re nt 太大5線尾參數設定太小，造成打火過程中，打火打到銲針裡2 Capillary 不良1錯誤使用銲針規格2觀察銲針印是否成圓形3將銲針拿至顯微鏡下觀看是否髒汙或受損，更換新的銲針3線夾不良1線夾間隙太小4金線問題1更換較軟的金線5放線不程不良1 降低 feed power狀況二1因二銲點的振動太大 造成1二銲點的power 太大，或force 太小2二銲點浮動2Remark錯誤訊息Ball sift (I)狀況種類狀況一 ：Pad上沒有球，且PR monitor 上畫面並無晃動（海筮甚樓效應）問題分析Processing狀況一1 PR設定不良燈光調校不良1重新設定PRNote:1尋找特

12、殊點2 選擇 glay level2 OPTIC不良1 OPTIC固定螺絲鬆脫2 OPTIC內之鏡片鬆脫3 OPTIC LEFT ARM 鬆脫3 CCD不良1 CCD ALIGNMENT 不良2 CCD螺絲鬆脫3 TOP PLATE 鬆脫1 TOP PLATE 鬆脫4破真空氣量太大1調整氣閥5 EPROXY 未乾1反應工程6 Bond Tip offset設定不良1 重新設定 Setup 內的 Bo nd Tip Offset錯誤訊息Ball sift (II)狀況種類PR monitor 上畫面晃動（海筮甚樓效應）問題分析Processing狀況一1 Air diffuser不足1提咼air

13、 diffuser 氣量2調整air diffuser 角度2破真空太大，有熱氣 造成第一銲點偏移1校正破真空之air量於0.3 0.5 LPM3高壓空氣偏低，所轉 換的真空不足，導致 影像辨認系統（PRS） 對晶體做Search Alig nmentPoi nt位置有偏差，造成整 體1stbondpositi on有偏移現象1更換孔徑較大的咼壓空氣管，提咼咼壓空氣進入機器的氣壓量，且真空值有提咼到標準值。4 BH COOLING 異常1檢查是否有阻塞5氣路異常1檢查氣路是否正常Remark1 BH停機過久，打第一顆會靠近M/C Side2 BH 打熱後，Truseducor 會向前，故球會向

14、oprater side2 nd Bond Issue錯誤訊息B9 2 nd bond non-stick狀況種類狀況.觀看打完二銲點完後是否有燒球狀況二：打完二銲點後，並無燒球問題分析Processing狀況一1. Leadframe 表面污染1.由monitor看到leadframe有灰塵或污染造成第二點打不黏.Note 1.使用Corrbnd將此線重新補上.2.暫時更改增加2nd bond base power / force的數值,將此線補上後再恢復原來之數值2壓板沒壓好造成lead浮動1.用攝子下壓lead觀察是否浮動Note 1.調整壓板之關閉位置,使其將leadframe 壓好.

15、2.將壓板底部貼上耐熱膠布,使其有效固定leadframe .狀況二3 已銲線完成卻出現 錯誤訊息1. 將金線尾端確實接地.2. 調整“stick adj “之設定值,其數值約在1215 .3. 檢查偵測回路是否為短路.4. 檢查EFO box stick detect board是否偵測錯誤，如發生故障請更換 EFO box .軟體檢查方法：使用single bond銲一條線，觀察此線的偵測數值,如偵測錯誤,則數值會顯示與設定相等之數值,此表示偵測回路發生問題.硬體檢查方法：如 CASE 17圖所示A-B點應為0 Q , A-C點應為 三1M Q錯誤訊息B13 Tail too short狀

16、況種類狀況一:2nd bo nd 完成後,金線在cap illary內,或飛出capillary。bond head 作tail length 卻沒有線尾可燒球狀況二：留有正常線尾確報Tail too short問題分析Processing狀況一1 LF浮動2參數設定不良1. Leadframe是否變形或浮動,造成2nd bond 不穩疋.2. 2nd銲點的Power force 太大狀況二1假偵測1.是否為偵測值(sample size ) 設定不良造成誤偵測( 一般設定為5 0 )錯誤訊息Abno rmal Tail狀況種類狀況一 ：2nd Bond後線尾不正常狀況二:2nd Bond後線

17、尾正常問題分析Processing狀況一1.參數不良I.Setting is not appropriate (too sensitive)2異物1確認前一條線之2nd bond 是否有異物Note : 1.清除異物並拔除此線，重新燒球補線狀況二1參數不良1重新設定Abnormal Tail的門檻和靈敏度錯誤訊息Wire and E-Torch con tam in ated狀況種類狀況一：觀看打火情況，打火顏色為黃色 狀況二：觀看打火情況，打火顏色為藍色問題分析Processing狀況一1金線污染1. 在AUTO bon di ng時可看到放電的顏色,一般正常顏色為藍色,異常顏色為藍色中有帶

18、橙黃色，若有異常請更換金線2. 清潔金線路徑狀況二2假偵測1重新設定 Wire and E-Torch contaminated的門檻和靈敏度錯誤訊息EFO Gap Wide狀況種類狀況一一:二銲點打完後沒有線尾問題分析Processing狀況一1.觀看上一條線2nd bond是否髒汙異物1.清除異物並拔除此線，重新燒球補線2.如 2ndbo nd 無異物1.調整 2nd bond parameter3熱壓板浮動，檢查2nd bo nd lead 壓合是否正常1.用攝子下壓lead觀察是否浮動Note 1.調整壓板之關閉位置,使其將leadframe壓好.2.將壓板底部貼上耐熱膠布,使其有效固

19、定leadframe4金線污染1在AUTO bon di ng時可看到放電的顏色,一般正常顏色為藍色,異常顏色為藍色中有帶橙黃色，若有異常請更換金線5金線路徑污染1清潔金線路徑及Wire clamp 和air tensioner6銲針不良1觀察銲針印是否正常成一圓形，否則更換之REMARK何謂 EFO Gap WideEFO Gap Wide =/= EFO Voltage1 EFO Gap Wide 是一種偵測電壓門檻2是一種對於燒球的偵測3需要多少電壓來突破空氣層錯誤訊息二銲點位置偏移狀況種類狀況一：二銲點銲線前虛擬線位置正常，但銲完線後所有二銲點向同一方向偏移狀況二：二銲點銲線前虛擬線位

20、置不正常，且銲完線後部分二銲點偏移問題分析Processing狀況一：1參數設定不良1. 檢查 Auto Menu 之Local lead 是否打開2. 檢查 Teach Menu ->Edit Program -> Auto Teach wire ->Edit VLL Map是否打開3. 檢查 Setup Menu ->Zoom Off Centre大小倍率是否同心2人為變更1.檢查是否人為疏忽在調整第二點位置程式錯誤造成的點斜邊狀況二1.VII燈光設定不佳1.檢查Vll Setting 是否使用Gray Level（T型Lead不適用）a. 至 Teach Auto

21、 Edit WireVllLoad Vll 檢查燈光設定。b. 至 Teach Auto Edit WireVllVll Setting 檢查是否使用 Gray Level 。2.VII Autod 功能被開啟1 Fu nctio n15PR Co ntrolVll Auto Threshold功能被開啟a此功能一般只使用在Lead較寬的Leadframe上，可克服Lead有變色或輕微變形時，Vll 仍可找到Lead中心而不停機。3.Zoom Off Center偏移。1 Setup Zoom Off Cen ter 位置a. 至Zoom Off Center 後使用B項目，在Lead上打一個

22、鋼印後用十子線中心對準圓心。b. 此功能在校正低倍率的焦距中心點與 Capillary中心點的偏移量4.Camera Alime nt 步 驟不確實。1 Camera Alime nt 水平度檢查a.在Die上選擇一個特殊點，利用十字線的X軸左右邊緣分別對準特殊點給予點後按Enter，Table會自動左右移動，目視檢查十字線的X軸左右邊緣是否對準特殊點。文档5 X Y Table 不良1.重做 Table Auto Tune。至 Setup CalibrationTune Tablea. 選擇 Tune Table X Table （密碼:3398），約需 20 分鐘。b. 選擇 Tune T

23、ableY Table （密碼:3398），約需 20 分鐘。6 OPTIC不良6.更換新 Optic重新設定 Bond Tip Offset 為 X:Y=60000,0。重新 Camera Aliment 調整。Looping Issue錯誤訊息Excessive Loop CORRECT狀況種類1狀況一：問題分析Processing狀況一參數不良Loop correct 太大錯誤訊息First Kink Straiqhte n狀況種類狀況一：線往後拉直£問題分析Processing狀況一1參數不良1 Trajectory profile設定不良2 loop correcti on

24、太小2線夾太緊1用隙片調整線夾開合大小至2mil - 1.5mil 間錯誤訊息Sagging wire 線弧下陷狀況種類狀況一：銲線過程中線弧下陷狀況二：銲完整個unit後，線弧下陷J問題分析Processing狀況一1參數不良1 synchronous offset負值太大狀況二1銲完線後導線架彎曲 變形1 in dex clamp force過大2 W/H 和 output magazine調校不良錯誤訊息Loop Base Incon siste ncy狀況種類狀況一 ：loop base 不一致問題分析Processing狀況一參數設定不良Search Delay 不協調錯誤訊息Inc

25、on siste nt Loop ing弧高不一致狀況種類狀況一：弧度咼咼低低問題分析Processing狀況一1參數設定不良1 Trajectory選擇不適當2 F16 Block3 loop top tol設疋不良，般設疋82摩擦力過大1放線路徑不正確，摩擦力過大2銲針不良，摩擦力過大3線夾間隙不良3熱壓板浮動，檢查2nd bond lead 壓合是否正常1.用攝子下壓lead觀察是否浮動Note 1.調整壓板之關閉位置,使其將leadframe 壓好.2.將壓板底部貼上耐熱膠布,使其有效固定leadframe錯誤訊息Wire Sway 甩線狀況種類狀況一： 線甩但是loop base 一

26、致 狀況一：線甩且loop base 跟者不一致問題分析Processing狀況一放線路徑摩擦問題引起1清潔放線路徑2清潔線夾3 清潔 air tensional4 調整 Feed Power Time power5更換銲針放線路徑動作不良1 Wirespool Ten sio nal設定 15 LPM2金線軸(wire spool )動作不良Wire clamp 動作不良1 調整 wire clamp gap至U 2mil2 設定 wire clamp block 參數參數不良1二銲點的power 過大，force 太小引起，調小 power ，並加大force2 加 Pull金線不良1更換

27、金線狀況二氣量過大邊緣的氣量太大(Air blow at marginally profile or too strong)參數設定不良Pull設定不良RemarkWire spool 12Pull RatioLoop parameterRH 4536Clear wire clampSlop straight nessX Y motor speedClear wire pathSearch speed384128Feed powerFire levelSPCCha ngeGoldwireTail breakWire motor speedEFO gap voltageWire clamp ga

28、p3mil 2milSpa n len gthWire clamp force有改善-無改善Error Code MassageSnake wire 蛇線狀況種類；狀況一：問題分析Processing狀況一1參數不良-41 設定search Ht 2 為10以上2 設定 scrub control Tail break control Tail Power3 調整 Z sensor block 9，search pos tol一般設 164 X Y motor speed profile block 4設定最大 speed =6002穿線動作不確實1觀看是否有過重新穿線截線之痕跡，確認小姐穿線

29、動作，確認是否為穿線不良，造成截線 後的金線在銲針中便已彎曲3線夾動作不良-1清潔線夾2調整線夾間隙為2 mil內RemarkItemTail break con trolScrub con trolTail powerImprove*錯誤訊息Sec ond Bond Landing Angle狀況種類狀況一：降落至二銲點的角度不良(“-""MM"'問題分析Processing狀況一參數設定不良1 調整 DEC Sample 和 Synchronous Offset2 建議使用 Vertical Pull or Horizontal PullVertica

30、l Pull Height 50Vertical Time 50Horiz ontal Pull 15%or 3MILError Code MassageLoop Base Ben ded狀況種類狀況一 ：unit上固定幾條線有loop base bended，且並無開J Wire狀況二:unit上隨機出現loop base bended問題分析Processing狀況一1 wire clamp 壓合不良1檢查window clamp 壓合是否正常2檢查window clamp 上的耐熱膠布是否須更換2銲線過程銲針接觸 到已銲好之線弧1改變銲點位置2確認銲針型式狀況二CapillaryTail

31、 len gth1減少線尾長度Air tensional 髒污1 清潔 air tensionalWire clamp gap 太大1 調整 wire clamp gap 使其於 2mil 至 1.5mil 間RemarkWire spoolPull RatioLoop parameterClear wire clampSlop straight nessX Ymotor speedClear wire pathSearch speedFeed powerFire levelMove2 ndbo ndpositi onChangeGoldwireTail breakWire motor spe

32、edEFO gap voltageWire clamp gapSpa n len gthWire clamp force有改善-無改善PR Issue錯誤訊息B3 Exceed die ali gn tol.狀況種類狀況一 ：當die對比沒有明顯變化,發生此現象問題分析Processing狀況一1.可能為 die patten位置找錯1.在您所作的圖案四週作 search pattern的功能，觀察是否會找錯位置，若找錯位置， 請判斷是否是因為您所作的圖案在四週圍有相似的圖案造成圖案找錯，請重新edit PRpattern （請找特殊圖案）2.若仍持續發生請重新Edit die PR patt

33、ern .錯誤訊息B3 Exceed lead ali gn tol.狀況種類狀況一：Lead正常沒有變形,monitor 顯示此畫面.問題分析Processing狀況一1. Lead PR圖案找 錯位置 machine 檢 查Lead PR兩個圖 案位置距離不正確 ， 超過 parameter 控 制的範圍（PR Tol ）1.檢查Lead PR圖案是否適當.Note :您可在Edit PR menu下使用Search patten 功能檢查是否圖案確實找錯位置 , 若Search時會找到不是您實際的位置，這表示您所作的圖案不夠特殊導致，此時請重新 Edit尋找適當的圖案.錯誤訊息B6 Di

34、e quality rejected狀況種類狀況一：若Die沒有rotate發生此現象問題分析Processing狀況一1.可能為Die表面顏色變化引起1.若Die本身顏色變化頻繁可考慮採用Backup PR，但在教讀Backup PR時應注意Man ual alig n poi nt是否確貫對正（可在對點後使用上下鍵檢查每一個打點位置是否正確），確認對點正確才可 Edit Backup PR .2.圖案教讀不良引起2.若面對圖案複雜的Die請注意燈光的調整及圖案框的大小及框圖案的位置錯誤訊息匕5 Lead quality rejected狀況種類狀況一：lndex正常，Lead沒有變形,發生此現象問題分析Processing狀況一1.圖案燈光不良1.請重新調整燈光（有些熱板由於長期使用後，表面染黑或噴沙部份因長時間使用造成發 亮，因此在作燈光時需注意熱板表面是否會反光）.錯誤訊息PR : Out of lead width tolera nee狀況種類狀況一:VLL width tolera nee reject problem1. 若Lead沒有變形2. Lead沒有任何鍍銀不良的問題問題分析Processing狀況一1 可能 width Tol.