新沉镍金线作业指导书

1、编号：C-EG-080版本：1.2新化学沉镍金线作业指引第11页，共11页生效日期新增/修订单号撰写人/修订人审 核部门确认副总核准相关部门确认：品保部市场部行政部人力资源部财务部设备部制造部计划部工程部研发部管理者代表批准：文件发放记录部门/代号总经理01制造部02品保部03市场部04工程部05设备部06发放份数/1/部门/代号行政部07财务部08人力资源部09计划部10研发部11业务课12发放份数/1/课别/代号CAM课13测试课14MI课15压合课16电镀课17外层课18发放份数/课别/代号阻焊课19钻孔课20表面处理课21内层课22成型课23品检课24发放份数/1/课别/代号总务课25

2、报关课26资讯课27人事课28物控课29计划课30发放份数/课别/代号采购课 31研发课32工艺课33制前控制课34过程控制课35客诉课36发放份数/1/文件撰写及修订履历版本撰写/修订内容描述撰写/修订人日期备注1.0新增加廖昌新2008-6-161.1增加镍缸控制参数欧植夫2009-7-311.24.4.3.1.1增加前处理后沉镍金前停留不超过4小时，需记录停留时间前标识。4.5.2.7 增加P含量要求：8-11%欧植夫2009-8-311.0 目的 规范、指导化学沉镍、金操作；保证化学沉镍、金之生产品质。 2.0 适用范围 适用于公司化学沉镍、金工序的工艺控制、生产操作和质量控制。3.0

3、 职责工艺课：全面的工艺技术管理和工艺过程的控制,工艺及生产问题的解决,员工的培训,保证生产过程的顺利进行。制造部: 生产组织与管理,员工的培训与培养,工艺过程和设备的日常维护和保养,产品产量和质量的保障。品保部:负责对工艺过程、设备的维护和保养以及工序产品质量进行监控。 维护部:生产设备的管理、维护和维修。4.0 作业内容4.1 工艺流程上板交换槽除油热水洗一级水洗二级水洗微蚀一级水洗二级水洗浸酸一级水洗二级水洗预浸活化水洗后浸水洗化学沉镍一级水洗二级水洗化学沉金回收水洗一级水洗二级水洗下板4.2 工艺说明4.2.1 除油 清除板面氧化层及油污,保证板面清洁。4.2.2 微蚀 微观粗化铜表面

4、,保证铜层与镍层之间良好结合力。4.2.3 酸洗 去除微蚀后铜面氧化物，进一步清洁活化板面。4.2.4 预浸 为板铜面活化提供酸性的条件，保持活化缸的酸度，使板面在无氧化物状态下进入活化槽。4.2.5 活化 活化铜面，在铜面上置换出钯，形成沉镍反应的催化层。4.2.6 后浸 清洗板面和挂蓝上携带的活化药水，防止非金属部分沉上镍。4.2.7 化学沉镍通过自催化反应，在板面均匀的沉积上一定厚度的镍层。4.2.8 化学沉金 以化学置换反应的方式，在镍层均匀的沉积上一定厚度的金层，保护镍层防止镍层被氧化。4.3 工艺设备缸号缸名溶液体积材料水质加热/材质冷却逆流水洗流量/过滤量搅拌过滤压力药水添加方式

5、1上/下板/2二级水洗360LPPDI/6-10L/minA/M/3一级水洗360LPPDI/A/M/4回收水洗360LPPDI/M/5化学沉金420LNPPDI12KW/特富龙/20-40L/minM/V3-7.5psi手动补加6二级水洗360LPPDI/6-10L/minA/M/7一级水洗360LPPDI/A/M/8-11化学沉镍700LSSTDI48KW/特富龙水浴/30-50L/minA/M/V3-7.5psi自动补加12交换槽360LPP/13水洗360LPPDI/6-10L/minA/M/14后浸400LPPDI/M/V/手动补加15水洗360LPPDI/6-10L/minM/16

6、活化400LPPDI6KW/特富龙冷却20-30L/min M/V3-7.5psi手动补加17预浸400LPPDI/20-30L/minM/V/手动补加18二级水洗360LPPDI/6-10L/minA/M/19一级水洗360LPPDI/A/M/20酸洗400LPPDI/20-30L/minM/V/手动补加21二级水洗360LPPDI/6-10L/min A/M/22一级水洗360LPPDI/A/M/23微蚀400LPPDI6KW/特富龙冷却20-30L/minA/M/V3-7.5psi手动补加24二级水洗360LPPCW/6-10L/minA/M/25一级水洗360LPPCW/A/M/26热

7、水洗360LPPCW6KW/特富龙/20-30L/minA/M3-7.5psi/27除油400LPPCW6KW/特富龙/10-30L/minA/M3-7.5psi手动补加备注:A 空气搅拌、M 机械搅拌、V振动、SST316不锈钢、DI去离子水、PP聚丙烯、NPP-透明聚丙烯（特殊表面处理材料）4.4 工艺参数4.4.1 行车控制程序缸号缸名行车步骤浸液时间滴水时间2#程序3#程序2#程序3#程序1上/下板 510” 520”/2二级水洗230”130”/3一级水洗120”130”/4回收水洗13”13”10”5化学沉金438”825”20”6二级水洗59”119”5”7一级水洗30”32”/

8、8化学沉镍2002”3005”10”9化学沉镍/10-11交换槽22/12-13水洗32”32”/14后浸酸45”50”/15水洗135”60”/16活化230”225”5”17预浸237”237”10”18二级水洗130”130”/19一级水洗44”60”/20酸洗101”50”/21二级水洗36”36”5”22一级水洗40”130”15”23微蚀210”220”5”24二级水洗120”101”5”25一级水洗231”50”5”26热水洗307”248”5”27除油455”446”5”备注：4.4.1.1 程序飞巴起始位，根据程序号不同有不同的飞巴起始位，按触摸屏进入相应程序界面可以查询，注

9、意选择程序时调整合适的飞巴位；4.4.1.2 共有4种程序可以选择，1号程序为镍厚2-5um金厚为0.075-0.1um之间；2号程序为镍厚2-5um金厚为0.05-0.075um之间；3号程序为镍厚5-9um金厚为0.075-0.1um之间；6号为开放式程序，根据板子不同要求设定参数，需要工艺跟进；4及5为备用程序号。4.4.1.3 生产前选择程序后还要选择镍缸（飞巴）号，使用1号镍缸选择1、2号飞巴，2号镍缸使用3、4号飞巴。4.4.2 工艺参数缸名控制项目控制范围控制点分析频率药水1000FT2消耗添加量温控范围调控方法及换槽频率除油除油剂EXLAC-7028-12%10% 1次/班分析

10、补加38-452MTO或Cu2+250PPM微蚀Na2S2O880-120g/l100g/l1次/班3KG26-30Cu2+15g/LH2SO42-3%2.5%1次/班0.4LCu2+2-15g/l/1次/班/微蚀量0.5-1.0m/2次/周/酸洗H2SO44-6%5%1次/班/RT更换微蚀时更换预浸H2SO41-2%1.5%1次/班/RT更换活化时更换活化QPA-1008-12ppm10ppm1次/班1.5L22-26Cu2+100PPMCu2+100PPM/1次/班/后浸酸H2SO42-4%3%1次/班/RT更换活化时更换化学沉镍Ni2+4.3-5.2g/l/1次/4H自动补加及分析补加8

11、2-86添加(化镍)补充剂SX-A超过144L(4mto)后更换NaH2PO222-32g/l/1次/班PH4.5-4.9/1次/4HPb2+1PPM/1次/月/镍缸保护电流2.0A/镍缸寿命4MTO/化学沉金Au0.8-1.5g/l1.0g/l1次/班AA机分析补加及每补加50g金盐需补加0.8L补充剂AU-51280-90Cu2+>5ppm、Ni2+>1000ppmPH4.8-6.05.31次/班Ni2+1000ppm/1次/天Cu2+5ppm/1次/天AU-5128-12%10%1次/天Pb2+0.5PPM/1次/月/4.4.3 工艺操作4.4.3.1 生产前处理4.4.3.

12、1.1 化学沉镍金板在生产前,必须在沉金前处理机上进行微蚀磨板处理（其微蚀磨板速度控制见沉金前处理作业指导书）；处理完后的板必须在4个小时之内进拉生产, 同时将前处理后最多停放时间（4个小时）的截止时间填写在沉镍金前处理后停放时间跟踪牌上，防止铜面再次氧化,同时在上板过程中如发现铜面有氧化及污染的板,须重新返处理后方可生产(返处理板速度控制在2.5m/min,其它参数不变,返处理的板不得超过三次)，其主要作用是清除板铜面的氧化物及脏物,保证化学沉镍金生产品质.4.4.3.2 装板4.4.3.2.1 拧松挂蓝护板架杆上的螺丝，松开挂蓝护板架杆；4.4.3.2.2 按沉镍金板的尺寸大小(最大尺寸为

13、:640mm*580mm;工程已做好拼板设计)调整好护板架杆（上护板架杆及侧护板架杆）的高度及宽度,然后小心取板放入挂蓝卡槽, 上紧板边对应的护板架杆,直到上满25PNL(每挂蓝仅挂25PNL，不同尺寸板子需要同时放入同一挂蓝时必须用铁氟龙线或铜线固定四角，注意固定丝线不可过长，以刚好固定板子为宜，防止撞缸壁), 拧紧护板架杆的螺丝，挂在飞巴上（注意上在飞巴中间）,同时拧紧挂钩上的螺丝,防止掉架；4.4.3.2.3 当尾数板不足一架时，应均匀排列挂板，防止挂架重心倾向而掉架擦花报废板；4.4.3.2.4 上板时要戴干净白布手套，并注意操作手势,避免擦花板.不允许裸手拿板.4.4.3.3 卸板4

14、.4.3.3.1 待行车将已化学沉镍金好的板从水洗缸中吊至上/下位停稳时，拧松挂蓝上的螺丝把整个挂蓝从飞巴取下来进行拆板；4.4.3.3.2 首先拧松护板架杆的螺丝，慢慢的取出板放入装有DI水的水车里面；4.4.3.3.3 拆板时要戴黄色的胶手套，并注意操作手势,避免擦花板.不允许裸手拿板.4.4.3.4 后处理4.4.3.4.1 化学沉镍金板需用专用的水车装板、运板,并不作其它用;每六小时清洗更换一次水车里面的DI水；4.4.3.4.2 将水车里已化学沉镍金好的板进行酸洗、烘板,烘好的板需进行插架，当插完一架后将板运至检板处由PQC检查其品质状况。4.5 工艺维护4.5.1 各药水缸开缸步骤

15、4.5.1.1 除油缸4.5.1.1.1 加2/3缸体积DI水；4.5.1.1.2 再加入40L 酸性除油剂EXLAC-702,补充DI水至正确位置；4.5.1.1.3 开启循环过滤泵30min(生产时间隔1小时开启30min)，使药液混合均匀；4.5.1.2 微蚀缸4.5.1.2.1 加入2/3缸体积之DI水,并开启空气搅拌；4.5.1.2.2 缓慢加入10L AR级浓硫酸,搅拌均匀；4.5.1.2.3 加入40kg Na2S2O8搅拌至全部溶解；4.5.1.2.4 补加DI水至标准液位后,开启循环过滤泵，使药液混合均匀；4.5.1.2.5 配新微蚀液时注意保留40L母液提供铜离子，如果需要

16、排空洗缸则开缸后补加1KG硫酸铜。4.5.1.3 酸洗缸4.5.1.3.1 加入2/3缸体积之DI水；4.5.1.3.2 缓缓加入20L AR级浓硫酸，搅拌均匀；4.5.1.3.3 补加DI水至标准液位.4.5.1.4 预浸缸4.5.1.4.1 加入2/3缸体积之DI水，并开启空气搅拌；4.5.1.4.2 缓缓加入6L AR级浓硫酸,搅拌均匀；4.5.1.4.3 补加DI水至标准液位.4.5.1.5 活化缸4.5.1.5.1 加入2/3缸体积的DI水；4.5.1.5.2 再加入23.5L 活化剂KAT-450,搅拌均匀.4.5.1.6 后浸酸缸4.5.1.6.1 加入2/3缸体积之DI水，并开

17、启空气搅拌；4.5.1.6.2 缓缓加入20L AR级浓硫酸,搅拌均匀；4.5.1.6.3 补加DI水至标准液位.4.5.1.7 化学沉镍4.5.1.7.1 加入2/3缸体积的DI水；4.5.1.7.2 加入SX-M 74L,搅拌均匀；4.5.1.7.3 加入SX-A 36L ,并补充液位至正常，开启循环搅拌均匀；4.5.1.7.4 拖缸前加入NPR-4-D 2L.4.5.1.8 化学沉金4.5.1.8.1 加入2/3缸体积的DI水；4.5.1.8.2 加入(浸金)建浴剂AU-512 42L,搅拌均匀；4.5.1.8.3 加入溶解于热水中的金盐(68.3%)600g,搅拌均匀；4.5.1.8.

18、4 加入DI水至正确水位(420L)。4.5.2 工艺控制4.5.2.1 化学沉镍缸的拖缸程式4.5.2.1.1 镍缸负载量一般控制在0.3-0.8平方分米/升；4.5.2.1.2 当负载量小于0.3平方分米/ 升时,沉积速度减慢,磷含量分布不均匀；4.5.2.1.3 当负载量大于0.8平方分米/升时,须要额外添加稳定剂；4.5.2.1.4 拖缸动作须待化镍缸温度达到80后才可以开始；4.5.2.1.5 负载量之计算:² 对化学沉镍缸体积700L(有效体积),计算为:² 0.4平方分米/升×700L有效缸体积=280平方分米有效铜面积即140平方分米切板面积,就相

19、当于5块14” ×18”经过磨板机处理的光铜板.² 0.2平方分米/升×700L有效缸体积=140平方分米有效铜面积即70平方分米切板面积,就相当于1.6块14” ×18”经过磨板机处理的光铜板；4.5.2.1.6 当负载量小于0.3平方分米/升时，需要增加拖缸板陪镀，防止漏镀；4.5.2.1.7 当新配的镍缸或是停产时间多于12小时,对双飞巴的镍缸,则按以下顺序拖缸:² 第一支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L² 第二支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L；4.5.2.1.8 当停产时间小于12小时,对双飞巴的镍缸,则按以下拖

20、缸:² 第一支飞巴的拖缸板负载量为0.4平方分米/L。4.5.2.2 化学沉金缸拖缸程式勿须拖缸（生产过程中镍缸每次拖缸时,板在出镍缸到水洗后手动取出拖缸板!）。4.5.2.3 沉镍缸炸缸保养程式：当沉镍缸之整流器电流到达2.0A,或镍缸补加(化镍)补充剂SX-A超过144L后,须按以下程式来钝化镍缸:² 待镍缸药水温度降至50以下,将镍缸药水泵至桶存放(排放).² 从过滤筒中取走棉蕊,开启阀门让里面的镍药水排走.² 将镍缸整流器电源关闭.(紧记:若在整流器开启进加入硝酸炸缸,会对缸体面有很大的损害)² 将已沉上镍的电极棒留在镍缸内与整个镍缸体

21、进行硝酸炸缸处理.² 开启排水管阀,用水清洗镍缸,关闭排水阀.² 加水至缸体积的1/2,再加入硝酸至最高水位刻度(23桶20kg含量68%的工业硝酸).² 升温至50-55,开启过滤泵(此时不须装棉蕊)保温循环12小时.² 排走或泵走缸内硝酸并打开阀门排走过滤泵中的硝酸.² 用自来水把镍缸及过滤筒冲洗干净,然后放满水,循环1小时后排掉;再放满DI水重复 清洗两次后排掉.² 根据新药水开缸步骤开新药水或将旧的镍药水泵回炸好的镍缸内.² 换上新的过滤棉蕊.4.5.2.4 活化缸硝缸保养程式：² 活化缸使用1-2个缸后，

22、如果缸壁有严重黑色沉淀物（钯析出），需要进行硝缸.² 加入缸体2/3的清水后加入SPS 32kg及盐酸12L；² 启动PUMP循环4小时或直到活化缸壁灰黑色沉淀物完全去除后，排掉废液；² 加水循环冲洗3-5次，每次10-20min，直到电导率10us/cm，PH=5.0-8.0，水质OK后备用。4.5.2.5 每两小时水银温度计测量各药水缸及热水洗缸（控制范围：4050）温度一次并记录，当实测温度与显示温度有差异时，通知维护部以实测温度调校温控器（包括对探测器的维护）。4.5.2.6 在生产每种不同型号或不同工艺要求(镍、金厚度)的板时,须先生产首板,待首板测量镍

23、、金厚度及检查其它品质(外观)要求都符合MI要求后方可批量生产，否则须通知工序工艺工程师调整工艺参数并跟进处理,待调整OK后方可批量生产；在批量生产的过程中必须每1小时取板到测量室测量镍、金厚度，并如实记录数据；在测量的过程中如发现测量的数据偏差较大时,应及时知会物理实验室负责人员对仪器进行调校；在仪器测量无异常时,如数据测量与MI要求相差较大,应及时通知流程工程师调校生产参数及处理.4.5.2.7 为防止黑镍，化验室应严格管控镍槽次磷酸钠含量(P含量要求：8-11%)，以及金厚控制不能大于0.15um，同时，工艺工程师每周寄一次沉镍金样板外发做SEM及EDS测试，分析结果打印存档.4.6 设

24、备维护4.6.1 镍缸阳极保护系统调整事项将整流器电压输出设定为1.0V,再用万用表测量镍缸壁同阴极棒之间的电压，观察其是否与整流器电压输出吻合，如果不吻合，应调整整流器输出，使缸壁同阴极棒之间的实测电压为1.0V左右。（注意：镍缸整流器仅在炸缸时关闭其电源，其它时间必须开启电源）。4.6.2 各药水缸过滤蕊更换保养事项 镍缸过滤棉蕊每班更换一次，更换前使用5%的硫酸浸泡1-2小时后再用清水浸泡1-2小时；微蚀缸棉蕊随换药水时更换;金缸过滤棉蕊每月更换一次；金缸自动添加装置每月保养1次，保养时用干净桶装出余下金水，用抹布抹干净添加桶壁，再用DI水清洗2边，加入金水待用；其它药水缸棉蕊每周更换一

25、次；抽风口每周清洁一次(防止结晶物掉入药水缸中,污染药水)。4.6.3 各水洗缸保养事项活化后水洗、镍、金缸前后的水洗槽必须每周进行保养一次；具体保养方法：用3%-5%的硫酸和2%-3%双氧水浸泡1-2小时并伴随打气（关闭逆流水开关），进行消毒杀菌，以防止生成絮状物污染板面;清洗完排掉后，再边放DI水边用毛刷刷洗缸壁、缸角和逆流口内的内壁;另所有水洗缸每班清洗更换一次,保证缸壁、缸底清洁无杂物。4.6.4 挂篮或夹头维护保养事项不定期对挂篮或护板架杆进行检查包胶是否破损，如果破损则应作包胶处理；不定期检查护板架杆/挂篮/螺丝是否有明显的上镍上金现象，如有须用硝酸溶液炸掉。4.7 生产操作4.7

26、.1 开机前4.7.1.1 检查各个水阀及气阀之开关情况,并作出适当的调整.4.7.1.2 检查各药水缸水位,并补充至标准工作液位.4.7.1.3 开启总电源开关,检查生产线手动控制板上的急停、前进、后退、上升、下降、气动、震动等按钮运行是否正常4.7.1.4 开启各药水缸之循环泵,约循环半小时后取样至化验室分析.4.7.1.5 检查镍缸整流器,并确保是在稳定电压状态下,而输出电压为0.8-1.0V.4.7.1.6 开启各药水缸的加热器或冷却开关,使温度自动调整至工艺控制温度.4.7.1.7 开启镍缸控制器电源(确保循环泵的开关并未接上),等候30分钟,校正镍缸控制器之PH电极,详细步骤参考4

27、.6.1；开启取样泵,确保冷却管的冷却水阀是长开的.4.7.1.8 开启其它水洗缸之阀门级打气.4.7.1.9 根据化验室分析结果添加各缸所需药水至缸中,并加满自动添加桶所需的药水.4.7.1.10 当各药水缸的温度升至工艺控制的温度后,则可开始拖缸及生产，正常生产后开启金缸自动添加装置（金缸自动添加装置由工艺根据化验分析设定），停拉或试首件时金缸自动添加装置关闭.4.7.2 开机4.7.2.1 打开主控制电源开关,接着按工艺要求值设定各缸温度，开启加热、过滤、冷却、打气（鼓风机）开关，开启有溢流水洗缸溢流水洗，调整至工艺要求范围；4.7.2.2 温度到设定要求后，开启震动、气动（上、下）、摇摆，接着根据板子要求选择适合程序，并选择自动及按程序启动；4.7.2.3 “自动”与“手动”状态切换：自动状态下，点击“手动”按钮，行车进入手动状态,即可手动操作。4.7.2.4 “手动”与“自动”状态切换：手动状态下，点击“自动”按钮，行车进入自动运行状态，便可正常生产。4.7.2.5 如果重新开始，则把飞巴放入程序起始位置，按4.7.2.1的步骤操作，开始自动即可.4.