基于单片机真空镀膜机检漏仪设计论文

1、 毕业设计设计题目 基于单片机真空镀膜机检漏仪设计 学生姓名 学 号 专业班级 指导教师 院系名称 机械与汽车工程学院 2013 年 6 月 7 日目 录中文摘要1英文摘要21 引 言31.1 课题研究的背景与现状31.2 真空检漏技术与设备的发展现状31.3 课题研究的目的和意义41.4 论文的主要工作和内容41.4.1 主要工作41.4.2 论文的安排结构52 系统总体设计52.1 电离真空计概述52.2 热阴极电离真空计的工作原理62.3 电离真空计检漏方法72.4 系统总体框图93 硬件电路和模块选择103.1 数据采集模块电路103.1.1 离子流放大电路103.1.2 ADC080

2、8硬件113.1.3 转换器部分电路113.2单片机89C51模块113.3数据显示模块133.3.1 显示模块的芯片选择133.3.2 LCD1602介绍143.4 检漏报警电路153.5 系统总体电路原理图154 软件系统设计174.1 Keil软件介绍174.2 单片机C语言介绍174.3 程序流程图184.4 计算真空室内的压力值185 仿真与调试205.1 protues软件介绍205.2 proteus和Keil调试仿真205.2.1 调试的步骤及方法205.2.2 程序仿真215.2.3 总电路仿真21结论23致谢24参考文献25附录26附录A 电路原理图26附录B 程序代码27

3、基于单片机真空镀膜机检漏仪设计摘 要:随着现在生产技术的高速发展，对于真空镀膜检漏方法及检漏的准确度提出了越来越高的要求。基于单片机的真空计检漏法作为真空检漏的一种方法，因其性价高、操作方便等较多的优点得到越来越多的重视和应用。本文出于方便、经济、实用等方面考虑，对基于单片机真空镀膜机检漏仪进行设计研究。本论文采用电离真空规来测量真空镀膜室内压力，选用热阴极电离真空计为真空室内真空测量元件。转换部分主要由ADC0808控制，它主要的工作就是把电离规离子流信号进行转换，是从模拟量转换为相应的单片机需要的数字量再传送到数据处理模块。数据处理主要是通过AT89C51进行处理，它主要的工作是把ADC0

4、808传过来的数字量进行处理，产生相应的真空度送到显示模块进行显示。处理器判断真空室内的压力是否符合真空镀膜机的要求真空度，通过蜂鸣器和LED显示灯，进行报警，提示给使用者。关键字:电离真空计；AT89C51单片机；A/D转换；ADC0808；LM016LAbstract:With the modern production techniques developing,methods for leakage detecting and the accuracy of it has higher requierment.The vacuum leakage detecting based on

5、single chip is one of the vacuum leakage detecting methods,because of the advantage of its high cost-performance ratio ,stable performance,no pollution, convenient operation and so on ,it gets more attention and application.For the condidetation of convenience, economy, practical these aspects, this

6、 paper is about the design and research of vacuum coating machine leak detector that based on single chip .In this paper it use vacuum ionization gauge to test the pressure in the vacuum chamber,choose the hot-filament ionization gauge to be the testing element.A/D transfer mainly rely on ADC0808 co

7、mpleted,it response to translate the collected analog quantity to the corresponding digital quantity and transform to the data handling model. data handling made by AT89C51 chip,it response to handling the digital quantity from ADC0808 and the produce the corresponding vacuum degree to show on the s

8、how model. The processor judge the pressure in the vacuum chamber if match the require vacuum degree of the vacuum coating machine,if not,through the buzzer and the LED lamp to alarm the user.Keywords:AT89C51 microcontroller; ionization vacuum gauge; A/D conversion; ADC0808; LM016L1 引 言1.1 课题研究的背景与现

9、状真空镀膜是主要在高真空的环境下利用物理方法在镀件上镀上一层膜的技术。真空镀膜会根据镀膜的方式不同可以分为：离子镀膜、真空溅射镀膜、真空蒸发镀膜。所以真空镀膜对真空度的要求非常严格，一个良好的检漏系统，能够迅速判断系统是否漏气，判断出漏口位置，及时修复是非常重要的。如今的工业发展有很多的机器和设备都需要要求有真空环境，由于真空的设备或者是机器长期使用后，其真空度肯定会出现减小的情况，也就是真空系统出出现漏气的现象，这就会影响到机器和设备的正常工作，需要有一个系统能够及时的检测出系统有漏气的情况进行反馈给用户，这样就会避免不安全事故的发生，因此，对真空系统的检漏成为安全生产的一个重要指标。1.2

10、 真空检漏技术与设备的发展现状检漏的方法有很多，各种检漏方法有自己的特点和使用的范围，方法的选择要根据具体的情况而定，所选择的既要满足检测的要求，又能尽可能简单方便和经济的前提下，检测方法应符合的要求：（1） 检测灵敏度高。（2） 反应时间短。（3） 能对漏孔进行地位和定量。（4） 能无损检漏，即检漏时不能破坏被测件的结构，也不能受到污染1。（5） 稳定性好。（6） 检测范围广。现在比较好的检测真空室是否漏气的方法是利用真空室的气体流量进行检查，会检测到真空室的一些参数，比如说真空室的压力值等，然后会根据这些值按照一定的关系式进行计算出真空室内是否漏气。其中一种真空镀膜室压力检测法，加压检测法

11、就是给被测的真空镀膜室内充加压力表示漏气的气体，如果被测的真空镀膜室上有漏孔时，示漏气体通过真空镀膜室的漏孔漏出，在被测器件的外部就能够检测到示漏气体。下面介绍几种常见的几种真空镀膜室的检漏仪和较多的检漏的方法4：（1） 氮质谱检漏仪：氦气泄漏专门用于检漏设备所示，它具有性能稳定，灵敏度高。真空泄漏检测技术中最高的灵敏度，最常见的泄漏检测器的移动设备。（2） 卤素检漏仪：含有卤素气体泄漏的真空检漏装置称为卤素检漏仪器。（3） 真空检漏法，将被测件内部抽成真空，将示漏物质施放真空室的外部，如果泄露，刚气体会进入被测物中，利用相应的方法进行示漏气体的检测，从而判断漏孔的大小和位置。除上述几种方法以

12、外，还有超声波检漏等。1.3 课题研究的目的和意义真空镀膜检漏就是检测真空镀膜室内的压力值，检测真空镀膜机漏气的方法有很多种，常见的真空检漏由于价格昂贵或者是操作方法不易掌握，所以需要一种简单实用的检漏方法，本课题研究的就是基于单片机的真空检漏仪设计是设计出一种操作简单，价格低廉的设备。系统采用的是用电离真空计去测量真空室内的压力值，然后进行信号的放大，输进单片机内进行处理。判断真空镀膜机是否是有漏气的情况。1.4 论文的主要工作和内容1.4.1 主要工作本论文以热阴极电离真空计与单片机技术相结合,对真空镀膜室进行压力的采集然后计算出真空度进行判断，通过显示模块和报警模块反馈给用户。系统主要分

13、为三个部分。根据热阴极电离真空计出来的信号，结合单片机的真空度采集模块设计在硬件设计中，系统采用AT89C51为主控。根据真空计采集模块出来的信号经过A/D转换器。送到单片机中处理，并且进行判断系统是否有漏气。给出显示真空度和漏气报警。在系统的软件设计中，用的是基于单片机的C语言，程序主要分为下面几个部分。第一部分数据的采集，第二部分数据处理判读程序，第三部分报警程序，第四部分显示程序。1.4.2 论文的安排结构第1章 ：主要介绍了课题研究的背景和现状，介绍真空检漏技术的发展现状，介绍课题的研究的目的和意义。第2章 ：主要对热阴极电离真空计检漏方法的说明，影响因素和解决办法第3章 ：主要对课题

14、设计中的采用的模块进行选择，单片机模块，真空计采集模块和模数转换模块。第4章 ：硬件电路的设计，主要是对选择的各个模块进行电路的连接，包括系统的放大电路，单片机最小系统，单片机和模数转换部分电路。第5章 ：软件的设计，对系统的各个模块的软件设计，模块化设计便于后期的升级和修改。结论：通过对系统的总体设计，对硬件系统和软件系统进行仿真实验和调试。2 系统总体设计2.1 电离真空计概述普通型电离真空计用于低于10-1Pa的高真空测量，在结构上它包括作为传感元件的规管和由控制及指示电路所组成的测量仪表两部分。电离真空计的工作原理是：使用一些手段进入电离真空规的气体分子的一部分电离，收集这些离子形成离

15、子流，气体分子的测量离子产生的电流在一定范围内的压力和气体之间的关系示意图成比例，然后通过测量离子电流能反映电离真空计的测得的气体压力的大小，因此成为电离真空计。电离真空计可分为三种不同的方式：第一种是热阴极电离真空计，第二类是冷阴极电离真空计，第三类是放射性电离电离真空计4。2.2 热阴极电离真空计的工作原理电离真空计的工作原理：利用包含在真空条件气体电离之后离子化，气体电离产生的离子电流能够被收集起来。离子流可以测量得到测量真空。电离真空计在电离气体时是一个非常迅速的过程，微小的离子流测量也是比较难测量的，所以在高真空的范围下，电离真空计是唯一能切实可用的真空计由电离电子源灯丝加热称为热阴

16、极电离真空计，其种类很多，各有不同的特点和使用不同的压力范围。热阴极电离真空规的测量装置和电离规出来的小电流测量电路组成，控制单元功能是调节气体的压力从而转化控制离子电流。热阴极电离真空计的结构主要分为三个电极：会提供较多数量的电子电流Ie灯丝F（阴极）。产生电子的加速场和收集的电子流向阳极（也被称为电子加速电极）。收集离子流离子集电极电流Ic（相对于阴极为负电位）如果电子从阴极到阳极的飞行路径是L时，离子电流Ii，具有以下的关系之间的压力p （2-1）式中W是当压力p=1Pa时，每个电子飞行1m所产生的电子一离子对数目，称电离效率，它是电子能量的函数，电离效率W还与气体的种类有关，于气体的电

17、离的概率会有一个因数的关系，电子在电场中飞行途中能量是变化的，式（2-1） 应改写为积分形式，即3 （2-2）如果在工作中并非所有电子和离子都被收集（例如部分电子或离子到达规管管壁），则 式（2-2）应修改为 （2-3）式中，是分别对离子流I 进行修正的系数，显然<1，>1。令（2-4）称K 为电离规管系数（以往称为电离规的灵敏度），其单位为Pa-1。对一定气体当温度恒定时，K 为一个恒量，将式（2-4）代入式（2-3）得（2-5）K在一定的真空度范围是一个定常数，假如保持电离真空计的发射电流Ie为一个不变量，所以离子流Ii与压力p之间成线性的关系。在远大于电子的平均自由程大小的电

18、极结构在高真空环境下，电子和分子碰撞的概率是非常小的，大多数的电子碰撞气体分子最多一次。因此，在任何碰撞电离电子的等势面具有相同的能量（忽略的电子发射的初始能量差），当压力上升到E电子的平均自由程时，可与电极结构体的大小，即使电子与气体分子的小时数两次或更多次的碰撞（碰撞弹性或无弹性碰撞），到达点的电场E一概含有不同的碰撞序列，它们的能量损失，由于不同已经有所不同，因此，在一个给定的W值的点是改变。在这种情况下，随着压力p的增加越来越严重，因此，式（2-4）中的K值改变随着压力p。达到最大线性测量压力P，它的几何形状的电极，在电极之间的电势分布，以及确定的发射电流的大小3。按线性真空度测量的范

19、围的不同，普通的热阴极电离规主要分为三类3：（1） 普通型电离规（1×10-1 10-5pa）（2） 超高真空电离规（1×10-1 10-8pa，有的下限为10-10pa）（3） 高压力电离规（102 10-3pa）2.3 电离真空计检漏方法电离真空计产生的电离气体的等离子流的压力变化的大小反映，但由于气体在不同的压力的电离电势是不同的，电离计的示数和气体的种类有关。因此，当施加到示漏气体载可疑的漏孔处，如果漏孔，示漏的气体分子会通过漏孔泄漏到被检体的部件，导致气体组成成分的变化，气体所产生的离子流也会相应地改变，电离真空规的示数也将发生相应的变化，从而指示出泄漏位置，泄漏

20、率的大小是可以根据漏气量的大小来估算的，电离真空计的检漏的范围和真空计工作压力范围是相同的4。2.4 系统总体框图基于单片机的真空检漏总共分为五个模块部分，他们分别是：数据采集模块，数据转换模块，数据处理模块，数据显示模块和报警模块如图2.1所示。 数据采集模块（电离真空计）A/D转换模块电源模块数据处理模块（单片机）数据显示模块和报警模块图2.1 单片机真空检漏系统结构框图数据采集模块主要做的是电离真空计采集真空镀膜室的压力，通过A/D转换器输进单片机内，通过程序设定的压力值进行比较，如果小于设定的压力，不符合真空镀膜的要求，通过显示器和报警模块提示给使用者5。3 硬件电路和模块选择3.1

21、数据采集模块电路3.1.1 离子流放大电路图3.1 离子流信号放大电路在图3.1为电离规的信号采集放大电路，其中与ICL7650连接的两个记忆电容C1，C2要求是高平直的低漏电容。在选用内部时钟时，采用ICL7650的内部时钟200Hz，因此C1，C2电容量可以0.1uF，输入端输入的是电离规的离子信号离子流通过R2转换成电压量，该电压作为ICL7650的输入，进行放大处理。由于离子流与真空度跨越皆跨多个数量级，离子流在R2两端产生电压，使放大系数变大，输出电压变大。该电压输入到ICL7650的同相端，ICL7650对其进行放大，放大倍数约10倍。6750输出的信号还需要经过一级放大才能转换成

22、要求的05v信号6。该输出信号输入到CA3140的同相端。根据CA3140的接法可以计算出其放大倍数约为4到5倍之间，可通过手动调节100K的可变电阻R13，达到手动调节放大倍数的目的7。3.1.2 ADC0808硬件ADC0808进行采样8位分辨率，逐次逼近式模拟/数字转换装置的原理。ADC0808的主要工作是放大后的信号输出电路的模拟到数字的转换，则微控制器用于处理输入，以获得所需的数据8。3.1.3 转换器部分电路图3.2 AD转换器电路3.2单片机89C51模块AT89C51是一种可以用基于单片机的C语言进行编程的控制元件，总共有P0，P1，P2，P3管脚信号的输入。3.2.1最小应用

23、系统设计如图3.3 89C51单片机最小系统所示。单片机的最小系统是由晶振和复位电路组成，应用系统是一个小型的控制单元。其特点：(1) 提供较多的I/O口线。(2) 存储器内大小是有限的。(3) 开发具有特殊性。图3.3 89C51单片机最小系统1、单片机时钟电路89C51内部已经有振荡电路，但可以形成一个时钟，则必须附加一个外部电路。 89C51的时钟电路产生有两种方式，分别为：内部和外部时钟模式。2、复位电路选用的单片机的复位电路是采用的外部复位电路。外部复位电路利用复位引脚通过触发器在每个机器周期采集一次。才能够得到内部复位的所需要的信号。复位电路可以分为上电复位电路自动复位电路和复位按

24、钮电路。自动复位电路的最简单的供电，自动复位电路如图所示3.5 89c51。上电复位电路自动复位由外部电容器充电来实现功率。只要VCC上升时间小于1ms，可以实现自动复位。此外，上电复位，你也可能需要手动复位按钮。本设计是用于手动复位按钮。与手动复位按钮横向模式和脉冲模式两种。水平复位经电阻和电源连接到VCC RST终端的实现。利用手动的复位电路如下图3.4。图3.4 89C51复位电路3.3数据显示模块3.3.1 显示模块的芯片选择液晶显示器，它可以改变信息传递的特性的方向实现显示，小尺寸液晶显示模块，功耗低，超薄轻巧的显示内容丰富等，在单片机应用系统中得到了越来越广泛的应用。按其功能分为三

25、类：液晶显示器LCD显示器，字符点阵液晶显示器，点阵液晶显示。前两个可以显示数字，字符等，而图形点阵液晶显示器可以显示任何字符和图形。选择这种设计可负担得起的字符液晶显示LCD1602。LCD1602显示两行16个字符的液晶显示，使用5V电源11。电路如图3.5所示的显示部分：图3.5 显示模块原理图3.3.2 LCD1602介绍LCD1602是可以达到设计要求要显示真空度的LCD，实物如图3.6所示。图3.6 LCD1602实物图3.4 检漏报警电路图3.7检漏报警电路报警电路采用一个红色的LED和一个蜂鸣器组成，当系统检测到真空室的存在在设定范围内的漏气就会通过这个电路通知给用户。如图3.

26、7所示。3.5 系统总体电路原理图图3.8系统总体电路图电离真空规出来的离子流报警和显示模块单片机89C51A/D转换器模块离子流放大器图3.9 系统框图4 软件系统设计4.1 Keil软件介绍Keil软件是用来写基于单片机的C语言的。写出的程序可以兼容89C51单片机，可以在单片机上正常工作，因为软件提供了丰富的库和强大的开发和集成的环境，支持编辑、对C文件的编译、对C语言的调试、对单片机的仿真等整个的开发流程。所以得到的广泛的使用。4.2 单片机C语言介绍在单片机端主要的工作时得到ADC0808的输出结果后，经过计算得到现在电离真空规测量的真空室内的压力。所以要使用C语言来完成。C语言是结

27、构化编程语言，使用简单的语法结构，能够快速入门。用C语言编写真空检漏系统软件，可以缩短编写程序的时间，显着提高了软件的可读性，改善和扩大，可以开发出一个大规模，高性能的应用程序。其优点如下：（1）可以大大加快开发进度，更强大功能的程序，采用C语言，更多的优势。（2）无主微控制器的指令集和特定的硬件，硬件也可以被编程，以满足实际的专业水平的过程10。（3）可以实现结构化清晰软件程序，使软件的逻辑结构变得清晰，有组织，便于一个开发团队的计划任务，分工。C语言的源代码的逻辑的可理解性和后期的可维护性都不错。（4）消除手动微控制器工作在汇编语言子程序将要分配给每个芯片的资源分配的需要。当使用C语言，只

28、需点击一个变量声明的代码类型，编译器会自动分配相对关资源，不需要人工干预，从而有效地避免错误手动分配单片机的资源。（5）汇编语言可移植性差，而C语言的，只要一些与硬件相关的代码做出相应的变化，它可以很容易地移植到其他类型的微控制器11。（6）对于一些结构比较复杂程序逻辑比较复杂的程序开发，可以移植（或C编译器）为C语言版本。正因为C语言在系统开发方面的优势，这样的设计将发挥C语言优势性。4.3 程序流程图单片机实现的真空镀膜的检漏仪设计程序流程图如图4.1所示。图4.1 软件流程框图4.4 计算真空室内的压力值因为ADC0808是八路选通的转换器所以从端口读出来的数据是0255直接的。这些数字

29、就代表着05v电压的输入，通过单片机89C51内部的程序完成计算的工作，并且把计算出来的真空室内的压力值显示到LCD液晶上，如果系统检测到现在的真空度不符合真空镀膜的要求，系统就会通过蜂鸣器和LED灯提示报警给用户12。主函数while循环部门代码如图4.2所示。图4.2 主函数while循环程序代码5 仿真与调试5.1 protues软件介绍Proteus与所选用的单片机进行仿真，它能反映单片机系统资源的使用情况，比如说系统的CPU使用量，也能够测量到外围电路的实际仿真的结果。所以仿真调试时，不是关心单片机中的程序语句执行的情况，是从直接就可以看到你写的程序的运行结果和电路工作的结果。仿真实

30、验中，就是可以填补实验和正常的应用上脱节的矛盾的现象。5.2 proteus和Keil调试仿真5.2.1 调试的步骤及方法1.在硬件电路，先在仿真软件对整个系统做模拟建设。这种设计是的仿真Proteus软件7.0的使用，这个仿真软件系统包含LCD模块，微控制器和A/D转换芯片等主要部件，大大降低了系统的设计和调试时间。如果错误是一个硬件部分的电路，将需要修改，反复测试，直到硬件连接错误是完全没有错误，而且设计合理。完成整个软件PROTEUS仿真和需要编译软件KEIL4联合调试13。2.在生产系统的硬件部分是完整的，第一，各种线路的电路仔细检查，看是否正确连接，请检查芯片的正常工作，测试的硬件部

31、分是能够完成其相应的功能。3.在设计系统软件，配合PROTEUS仿真软件和编译软件KEIL4 LCD数据显示程序反过来，反复中断程序的调试和修改，以实现显示正常和稳定运行的各部分系统的有效性。4.在仿真软件中调试，它是必要的编译生成的HEX文件由软件编程到单片机实物，然后焊接微控制器上，同时准备的按键操作，观察系统是否运行了预期的效果;未能达到预期的效果，如果出问题要找出原因，然后作出适当的修改程序。5.2.2 程序仿真图5.1 程序仿真结果系统程序仿真如图5.1，结果正确，没有错误，没有警告。5.2.3 总电路仿真图5.2 正常电路仿真显示图5.2模拟仿真的是在正常的工作压力下，电路显示正常

32、，液晶屏显示现在的真空度是10-3pa，正常工作绿色LED灯亮。蜂鸣器没有响，没有报警。图5.3 漏气报警电路仿真显示图5.3 模拟的是在不符合真空镀膜压力情况下，液晶显示屏显示现在的真空度是10-2Pa级别的。LED黄色灯亮，蜂鸣器报警，提示系统有漏气。电路仿真结果：电路电机开始按钮，系统开始上电，开关1处于打开状态，系统处于等待状态，当按下开关1 系统开始采集真空室内的离子流经过计算得到系统的压力值，实时的显示到LCD液晶显示屏上，每次采集都会去判断一下真空度是否符合真空镀膜的要求，若不符合要求就会通过蜂鸣器和LED灯提示给使用者。电路仿真正确，软件程序正确。结论本文介绍了基于单片机真空镀

33、膜机检漏仪设计，对整个硬件电路和软件程序设计做了分析，介绍了基于单片机的真空检漏的设计方案及原理，以此加深51单片机的结构、特点等知识的了解，并给出主程序设计流程图，更直观的把软件设计呈现出来，最后基于仿真软件Proteus及Keil进行仿真，验证了设计的正确性。本设计利用单片机和电离真空计制作出的镀膜机的检漏系统，避免了传统真空检漏，价格昂贵、操作复杂，并能使本系统设计的检漏仪在单片机控制下，具有使用方便、精度高、显示简单和灵活性、稳定性好、功能易于扩展等优点，而且可以大幅提高真空镀膜的技术指标，并为相关仪器及电子产品设计提供了一种新的思路。 随着时间的流逝，毕业设计在这12周的时间里也渐渐

34、的走近了尾声，通过这次毕业设计，发现毕设不仅仅让我学到了很多知识，也给我留下了一个深刻的印象，将近3个月的毕业设计，付出了也得到了很多，学到了很多。知识得到了巩固。对以后工作和学习打下了坚实的基础。这次毕业设计，不但让我懂得了在以后的学习生活中要具备严谨，大胆，勇于创新的精神，才能做的更好，而且还让我从中获益匪浅，学到了小心谨慎，实事求是的态度。致谢在毕业设计过程中遇到了不少困难和麻烦，但也得到了指导老师褚向前老师和同学们的大力帮助和支持，尤其是褚老师的积极督促和正确指导，让我更有信心和毅力完成本次设计，在此对大家表示由衷的感谢。同时，我要感谢我们机械与汽车工程学院的领导和老师们，是他们为我们

35、教会了我们这么多可以学以致用的东西，然后才完成了本次毕业设计。最后我要感谢我的母校对我这四年的培养！参考文献1 朱武，干蜀毅. 真空测量与控制M. 合肥工业大学出版社. 2008（04）：114-129.2 郭小莉 .基于DSP技术的真空镀膜机检漏仪的研制D. 西安工业大学：精密仪器及机械，20093 刘伟波. NT50型中子管离子源放电电流研究D.东北师范大学,2006.4 孟扬，李旺奎. 真空计的发展新趋势J. 真空科学与技术，1999，3:116-1195 林忠波,马朝永,姚振,庄国军,王震. 基于PIC单片机的便携式气体测漏仪J. 电子测量技术,2010,02:79-82,108.6

36、梁平. 安徽省真空计量站建设与宽量程真空计研制D.合肥工业大学,2011.7 孟扬，李旺奎. 真空计的发展新趋势J. 真空科学与技术，1999，3:116-1198李朝青.单片机原理及接口技术M.北京:北京航空航天大学出版社,2010,(03):131-133.9 陈忠平 .基于Proteus的51系列单片机设计与仿真（第二版）M.电子工业出版社,201210 胡汗才. 单片机原理及其接口技术M. 北京:清华大学出版社，1996,37-4011 ANNA GORECKA-DRZAZGA. Miniature and MEMS-type vacuum sensors and pumpsJ. Va

37、cuum, 83 (2009):1419-142612 ZHANG F T, TAN G Z ,YU J,et al. A Micropirani vacuum gauge based on microhotplate technologyJ. Sensors and A Ctuators A, 2006, 126: 300230513 VAN HERWAARDEN AW, SARRO PM. Integrated thermal vacuum sensor with exten dedrange J. Vacuum,1998,38:449-453.附录附录A 电路原理图附录B 程序代码DAT

38、ransform.c/<<<<<<<<<<<<>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>/<<<<<<<<<<<<

39、<<<AD转换函数>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>/<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<>>>&

40、gt;>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>>#include <at89x51.h>#define START P3_4 /ATART，ALE接口。0->1->0:启动AD转换。#define EOC P3_3 /转换完毕由0变1.#define OUTPORT P2 /AD转换函数，返回转换结果。/转换结果是3位数，小数点在百位与十位之间。unsigned int uiADTransform()unsigned in

41、t uiResult;unsigned int Pa;START=1; /启动AD转换。START=0;while(EOC=0); /等待转换结束。uiResult=OUTPORT; /出入转换结果。uiResult=(100*uiResult)/51; /处理运算结果。Pa=uiResult/(5*0.15);return Pa;Main.c/*/*/*/*头文件及宏定义*/*/*#include "includes.h"#define TIME0H 0x3C#define TIME0L 0xB0#define uchar unsigned char#define uin

42、t unsigned int/*/*/*全局变量*/*/*unsigned char uc_Clock=0;/定时器0中断计数bit b_DATransform=0;sbit KG = P10;/开关 sbit KG2 = P11;/开关2 sbit H_LED = P30; /报警指示灯sbit L_LED = P31;sbit BEEP = P17; /蜂鸣器uchar t = 0; /<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<

43、;<<<<<<<<<<<<<<<<<<</<<<<<<<<<<<<<<把电压显示在LCD上>>>>>>>>>>>>>>>/<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<

44、;<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<<void vShowVoltage(unsigned int uiNumber)unsigned char ucaNumber3,ucCount;if(uiNumber>999)uiNumber=999;ucaNumber0=uiNumber/100;/把计算数字的每个位存入数组。ucaNumber1=(uiNumber-100*(int)ucaNumber0)/10;ucaNumber2=uiNumber-100*(int)ucaNumber0-10*ucaNumber1;for(ucCount=0;ucCount<3;ucCount+)vShowOneChar(ucaNumberucCount+48);/从首位到末位逐一输出。if(ucCount=0)vShowOneChar('.');/延时void DelayMSx(uint x)uchar