特殊气体供应系统技术要求

1、.特殊气体供应系统技术要求工程概况：工程名称：开元设备科技有限公司特殊气体供应和气体侦测监控管理系统建设地点 开元设备科技有限公司厂址工程范围： 特气供应系统及气体监控系统主要工作内容如下：l 特气气柜供应系统： CH4,0.5%PH3/H2,2%TMB/H2l BSGS 供应系统: SIH4, NF3,l 大宗气体分配系统: CDA ，AR ，O2 , N2，H2（管路至供气源接口）l 动力系统（外围独立气体房的排风系统）l UPS电源系统 l 气体侦测器系统l 气体监控系统l PLC 控制和网络系统l 电脑图形控制系统l 各个气体房和气体室的气柜排风系统和事故排风系统l 废气处理装置的安装

2、和调试，管路衔接。l 其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。注：此工程范围需包含以上但不仅限于以上内容，需投标方自行考虑所有细节。工程界面协调配合事项：l 环氧： 环氧施工完成并经监理及旭双相关人员验收后，所有地面，天花墙壁作彻底清洁后，本包可入内施工。l 地面保护：气体房内地面保护在本包范围内。l 电力：电力包提供电源（包括电缆，桥架及接线）到本包各电盘（380V Emergency 800A+ 380V Normal 800A）的进线端。照明由电力包统一规划提供。l 接地：各气体房由电力系统提供接点。l 消防：提供各气体房之喷淋系统，并预留DN50阀门、门禁系统、广播和气体报警系统联动。l

3、 MAU：各气体房空调。l 其他未尽事项详见图纸、技术规范及标单。第一章特气供应系统设计要求1.1 特气供应流程图1.1.1 特气供气简易流程：本项目使用气柜（以下简称GC）的气体分别为0.5%PH3/H2,2%TMB/H2,CH4，详情见设备清单表。1.12本项目使用大宗特气系统（以下简称BSGS）供气的气体 SIH4, NF3 第二章特气设备技术要求： 气瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求：1) 所有系统设计都必须遵从SEMI S2（半导体工业的全球标准）标准。2) 更换钢瓶或轻微故障时，不影响气瓶柜和气瓶架向VMB或机台供气。3) 无论任何一边钢瓶先上线，都能够自动切换。4) 更换钢瓶

4、时气瓶柜/气瓶架全自动进行吹扫、保压测试、供应服务。5) 具有紧急切断功能（EMO）和三色灯蜂鸣报警功能。6) 彩色触摸屏控制。 7) 气瓶柜和气瓶架设计要方便拆卸钢瓶和固定钢瓶。8) 气瓶柜和气瓶架的控制系统都采用西门子或者欧姆龙控制系统，且具有以下扩展功能² 具有以太网接口用于上位机通讯以便于实时监控气柜工作状态和实时数据。（如：各气瓶的重量、压力、管路压力、开断状态，各自控阀的状态，和上位机的通信状态，报警、运行、故障等）。² 远程关闭，气柜之间互相切换，用于当外部故障或气体泄漏等情况发生时，设备自动运行。 ² 详细具体功能必须经过甲方业主同意认可。2.1

5、气瓶柜： 2.11气瓶柜构造：1) 气瓶柜面板的厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。（颜色为白色）2) 气瓶柜全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。3) 气瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm，必须铺有防滑垫片，且固定的钢瓶的链条必须为防腐蚀的不锈钢链条。4) 气瓶柜的底面设计要便于放置或移走钢瓶而不必调整钢瓶高度。如钢瓶尺寸有变动，设备厂商无条件的更改钢瓶CGA接头高度。5) 气瓶柜要可以容纳两个供气钢瓶。6) 气瓶柜的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。7) 气瓶柜进气口要安装灰尘过滤器。8) 所有气瓶柜标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜

6、内部所有的管路及阀件应该标明其作用，例如供气，吹扫或排气。2.12气柜门构造：1) 气柜门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 气柜门能打开90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。4) 气柜门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。2.13操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。 2.14气瓶柜的排气装置：1) 气瓶柜排气管的直径必须大于等于6” SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料。2) 排气状态的持续监

7、控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或报警选项。3) 排气管上加装气体侦测器。2.15 气瓶柜系统设计1) 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。2) 更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。3) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。（并提供给甲方阀件的相关证明）4) 管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度250。5) 管路构造要符合ASTM 标准。6) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。7) 必须使用标准结构的部件，以减少死角。

8、且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全部选用SUS316LEP材质。8) 气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器。9) 气瓶柜要装有作动点为68 的喷水头，还要装有温度传感器并与盘面控制器联动。2.16 气瓶柜功能要求：（包含气瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求） 系统报警1) 排风风压负压报警功能。2) Z-purge 报警功能。3) 过流量报警联动功能。4) 气柜各种压力报警联动阀门自动开关、供气路线自动切换。5) 气瓶柜要装有气体、温度及烟雾侦测器报警功能。6) 所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。7) 信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，

9、绿色是正常运行。亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。2.17系统控制器1) 控制屏幕，必须是镶嵌在现有的面板上的、有显示特气系统的吹扫状态及 P&ID、彩色的触摸屏。2) 系统可以设定自动或手动操作模式。3) 所有的报警装置应该安装在显而易见的地方并伴有警报声，报警声经确认后静音，屏幕的报警信息要求报警完全消除后才能消除，所有的操作记录必须要保存半年以上。4) 控制器要装有一个EMO按钮用来关闭供气气动阀使系统完全停止供气。5) 控制器有密码保护并且可以在安全连锁条件下自动控制气动。6) 控制器PLC应该与GMS系统PLC直接通讯，不可以通过触摸屏的CPU和外界通讯。7) 控

10、制器可以与GMS通讯，并且可以远程关闭。8) 设备厂商要就设备的自动操作及手动操作提供详细说明，共同讨论通过，当有不合理的操作的时候，软件能够自锁并等待确认。9) 控制器必须能够检测到组件故障，并时常完成自动检查和校正。10) 控制器必须能够设定和监控选定的警报项目。11) 控制器必须有旁路或自动的互锁程序。12) 控制器必须有自动及手动操作功能。13) 控制器必须能够接受外部互锁信号。互锁类型必须要通过和甲方业主协商而且控制器必须有4个干接点供外部操作使用。14) 控制器程序控制器必须具有上传和下载的功能，以便对程序作故障分析和更新的动作。15) 至少要有两级密码设置，如操作界面密码和参数修

11、改密码。注： 设备的供气盘面，和控制系统必须提交甲方业主审核通过。上述的功能必须全部满足，甲方保留增加部分功能的权利。2.2 大宗特气供应系统（以下简称BSGS） 2.21BSGS构造：1) BSGS面板厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。（颜色为白色）2) BSGS全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。3) BSGS的设备厂商根据现场钢瓶实际情况无条件的更改钢瓶CGA接头高度。且RFO必须安装在SiH4钢瓶的CGA接头上，尺寸应满应该根据实际用量来计算.4) BSGS的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈。5) BSGS进气口要安装灰尘过滤

12、器。6) 所有BSGS标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜内部所有的管路及阀件标明其作用，例如供气，吹扫或排气。2.22BSGS门构造：1) BSGS门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) BSGS门能打开90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的气体设备门及窗子使用同样的钥匙。4) BSGS门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。2.23操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。 2.24 BSGS的排气装置：1) BSGS柜排气管的直径必须

13、大于等于6” SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料2) 排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或报警选项。两个钢瓶接口处的阀箱必须装有抽风系统，换气次数和风压和设备本身一样。3) 排气管上加装气体侦测器。2.25BSGS系统设计1) 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。2) 更换钢瓶时，Pigtail必须保持小流量的PN2吹出。3) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。（并提供给甲方阀件的相关证明）4) 管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度250。5) 管路构造

14、要符合ASTM 标准。6) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。7) 必须使用标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全部选用SUS316LEP材质。8) BSGS要装有气体、温度及烟雾侦测器。环境中必须加装火焰和烟雾探测器。9) BSGS要装有作动点为68 的喷水头，还要装有温度传感器并与盘面控制器联动。10) BSGS的必须使用双调压阀（两级调压）的方式对气体进行降压，阀门的CV值由厂商按照实际情况选定。2.26 BSGS功能要求：（包含气瓶柜（GC）/BSGS，基本功能要求） 系统报警1) 排风风压负压报警功能。2)

15、 Z-purge 报警功能。3) 过流量报警联动功能。4) 气柜各种压力报警联动阀门自动开关、供气路线自动切换。5) BSGS要装有气体、温度及烟雾侦测器报警功能。6) 所有安全装置及与控制器的触摸屏必须有失效互锁保护型。7) 信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。系统控制器8) 控制屏幕，必须是镶嵌在现有的面板上的、有显示特气系统的吹扫状态及 P&ID、彩色的触摸屏。9) 系统可以设定自动或手动操作模式。10) 所有的报警装置应该安装在显而易见的地方并伴有警报声，报警声经确认后静音，屏幕的报警信息

16、要求报警完全消除后才能消除，所有的操作记录必须要保存半年以上。11) 控制器要装有一个EMO按钮用来关闭供气气动阀使系统完全停止供气。12) 控制器有密码保护并且可以在安全连锁条件下自动控制气动。13) 控制器PLC应该与GMS系统PLC直接通讯，不可以通过触摸屏的CPU和外界通讯。14) 控制器可以与GMS通讯，并且可以远程关闭。15) 设备厂商要就设备的自动操作及手动操作提供详细说明，共同讨论通过，当有不合理的操作的时候，软件能够自锁并等待确认。16) 控制器必须能够检测到组件故障，并时常完成自动检查和校正。17) 控制器必须能够设定和监控选定的警报项目。18) 控制器必须有旁路或自动的互

17、锁程序。19) 控制器必须有自动及手动操作功能。20) 控制器必须能够接受外部互锁信号。互锁类型必须要通过和甲方业主协商而且控制器必须有4个干接点供外部操作使用。21) 控制器程序控制器必须具有上传和下载的功能，以便对程序作故障分析和更新的动作。22) 至少要有两级密码设置，如操作界面密码和参数修改密码。注： 设备的供气盘面，和控制系统必须提交甲方业主审核通过。上述的功能必须全部满足，甲方保留增加部分功能的权利。2.3 氮气架（高压保压、吹扫N2）1) 盘面的排气管必须装有单向阀。2) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。（并提供给甲方阀件的相关证明）

18、3) 管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度250。4) 管路构造要符合ASTM 标准。5) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。方便读数和抄表。6) 必须使用标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全部选用SUS316LEP材质。2.4 气体储藏柜 2.41储藏柜构造1) 气瓶柜面板厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。（颜色为白色）2) 气瓶柜全表面不可有锋利的边缘。3) 气瓶柜的底板厚度大于等于3.4mm，必须铺有防滑垫片，且固定的钢瓶的链条必须为防腐蚀的不锈钢链条。4) 气瓶柜要容纳两个或者四个钢瓶。5

19、) 气瓶柜进气口要安装灰尘过滤器。6) 所有气瓶柜标明其供应气体的种类及其浓度。2.42储藏柜门构造：1) 气柜门能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 气柜门能打开90度角以上，以方便正常操作。3) 所有的气柜门及窗子使用同样的钥匙。4) 气柜门能平稳地打开及关闭，并具有防关闭功能，闭门器的联接杆方便拆卸。2.43操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。 2.44储藏柜的排气装置：1) 气瓶柜排气管的直径必须大于等于6” SS的管路，并覆盖由FM论证的ECTFE材料

20、2) 排气管上加装气体侦测器。2.5 分阀箱（VMB）2.51VMB构造1) VMB面板应该是厚度大于等于2.7mm的钢板并涂有抗腐蚀环氧涂层，并且所有材料都必须是非易燃的。（颜色为白色）2) VMB全表面都不能有震动，不可有锋利的边缘。3) VMB设置一个进口（备用一个）和四个出口。4) VMB的门，管路线路通道，窗及其他孔洞必须安装密封圈以防止泄漏。5) VMB进气口要安装灰尘过滤器。6) 所有VMB应该标明其供应气体的种类及其浓度，气瓶柜内部所有的管路及阀件应该标明其作用，例如供气，吹扫或排气。2.52VMB门构造：1) VMB能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) VMB能打开90度角

21、以上，以方便正常操作。3) 所有的VMB门及窗子使用同样的钥匙。4) VMB能平稳地打开及关闭，闭门器的联接杆方便拆卸。5) VMB的EMO 和所有的阀门键上应该安装保护盖2.53操作窗口：1) 操作窗口能自动关闭，自动卡锁及用钥匙锁定。2) 操作窗口的玻璃必须是厚度大于等于6.5mm，并有金属丝加固的安全玻璃。3) 窗口背面要安装隔离玻璃嵌板。 2.54 VMB的排气装置：1) VMB排气管的直径必须大于等于4英寸且材质防腐蚀涂层的不锈钢风管。2) 排气状态的持续监控信号要显示在控制屏上并与控制器联动，以提供抽风量不足时的停机或报警选项。3) 排气管上加装气体侦测器。2.55 VMB系统设计

22、1) 盘面的排气管必须保持微量N2微漏通过，监控其背压来侦测排气管是否堵塞。2) 盘面所用的部件必须与所供气体相适应，所有的阀件必须可以开关100000次以上。（并提供给甲方阀件的相关证明）3) 管路设计的最大承受压力3000Psi，最高温度250。4) 管路构造要符合ASTM 标准。5) 调压阀要安装在便于调节压力及维护的位置。且各种电子传感器禁止安装在调压阀下端。6) 必须使用标准结构的部件，以减少死角。且所有的弯头、接头都必须使用标准配件。材料全部选用SUS316LEP材质。7) VMB的气动阀采用半自动，VMB气体主管采用电子压力表显示气体压力，并将数据传回中控室，调压阀上加装压力表。

23、2.56 VMB功能要求： 系统报警1) 排风风压负压报警功能。2) 信号灯的警报信号根据不同的颜色分为三种：红色是警报，黄色是故障，绿色是正常运行。亮度要求为在5米距离范围内能够看清楚信号灯光。系统控制器3) 系统为半自动操作模式。4) 所有的报警装置应该安装在显而易见的地方并伴有警报声，报警声经确认后静音，控制器要装有一个EMO按钮用来关闭供气气动阀使系统完全停止供气。5) 控制器PLC应该与GMS系统PLC直接通讯，不可以通过触摸屏的CPU和外界通讯。6) 控制器可以与GMS通讯，并且可以远程关闭。7) 控制器必须有4个干接点供外部操作使用。注： 设备的供气盘面，和控制系统必须提交甲方业

24、主审核通过。上述的功能必须全部满足，甲方保留增加部分功能的权利。 设备品牌表设备名称品牌气柜、BSGS、VMBATTO（韩国原装） 注：如有能满足以上所有功能和售后保障的品牌设备，并且通过旭双技术人员认证通过方能参与。气瓶储藏柜和氮气架均使用国内品牌。2.6 废气处理设备1) 废气设备出口气体必须但到国家环境排放标准。2) 废气设备处理GC、BSGS ，VMBP排放的废气 。3) 废气处理设备保证不间断运行，干式废气处理设备必须要做到吸附桶一用一备。4) 具有紧急切断功能（EMO）和三色灯蜂鸣报警功能。5) 彩色触摸屏控制。 6) 废气柜的控制系统都采用西门子或者欧姆龙控制系统，且具有以下扩展

25、功能a) 具有以太网接口用于上位机通讯以便于实时监控废气柜工作状态和实时数据。（如：压力、开断状态，各自控阀的状态，和上位机的通信状态，报警、运行、故障等）。b) 紧急情况的排放装置。c) 详细具体功能必须经过甲方业主同意认可。 设备品牌表设备名称品牌废气处理柜（干式）NBPT(兆盈)废气处理柜（燃烧水洗）NBPT(兆盈) 注：如有能满足以上所有功能和售后保障的品牌设备，并且通过旭双技术人员认证通过方能参与。气瓶储藏柜和氮气架均使用国内品牌。第三章 系统附属设施、材料要求3.1. 附属设施要求1) 所有特气供应的动力应符合以下要求：电源采用不间断电源，重要动力气体阀门处做维护管路。2) 电源连

26、接终端控制器，电缆连接器上安装密封管/密封圈。3) GN2用于真空发生器及气动阀的气源，在GN2的供气管路安装调压阀，调节到下游阀件正常工作的压力。 4) GN2 Z-purge必须持续用于控制器的吹扫，并且要在设备上设置报警节点。5) SIH4的排放管处必须加装气体流量计。6) 大宗气体 氮气、氩气的阀门必须有测试口。7) 气体房和气体室设置气柜排风和事故排风，并且气柜排风确保不间断运行。*;本文随同其任何有关附件均属保密，仅供开元设备新项目使用，未经开元设备科技有限公司书面同意，任何方不得以任何形式泄露于第三方。 特气监控系统技术要求1.1系统功能要求系统要具有查看特气系统运行的实时数据，

27、能够根据各种报警自行判断并远程控制各种设备，如 门禁，排风，广播，气柜，VMB 和各种声光报警设施。设置手动紧急切断装置。1.2 气体侦测器系统2.1气体侦测器 1) 采样方式：泵吸式（检测器的内置泵会抽取气体进行气体测量），为了防止内部管道老化造成检测器工作不稳定，检测器内部气体管路需为无管道方式；并且采用每台侦测器为单独的泵。2) 信号输出：4-20mA模拟信号；3) 工作温湿度：040，3070%RH；4) 报警点设置：根据气体的TLV值来进行设定，1级报警点为TLV值，2级报警点为2倍TLV值，量程一般在TLV值的3-4倍；5) 报警显示：被测气体的浓度显示在数字LCD上（显示内容有气

28、体浓度，流量，通讯状态，故障代码，热分解器状态等），仪器本体上具有1，2段报警及故障报警显示，检测器有气体警报接点和故障警报接点；6) 自检功能：仪器可以自行判断系统错误，传感器故障，流量故障，通讯故障等并显示故障代码；7) 数据存储：仪器本身可以存储相关的历史记录，如事件，报警记录，校正记录，报警趋势（报警前后3分钟内的浓度趋势）：8) 产品规范：产品符合CE和RoHS规范；9) 传感器寿命：电化学传感器的使用寿命可以达到3年；10) 标定测试：仪器运行后每年都采用实际气体进行标定测试，以保证仪器正常工作。11) 要求首次上线必须使用标准气体测试后才能进行工作。在设备的质保期内定期免费用标准气体进行传感器标定。12) 气体泄露探测设备，必须包括以下功能：13) 气体侦测器的原理采用电化学式、采用Riken气体侦测器。14) 气体侦测器的读值能在现场可以显示。15) 气体侦测器的读值能转化为4-20mA电流类比信号输出。16) 气体侦测器有Fault信号以干接点的数字方式输出，包括断电、流量低、设备故障等。 17) 气体侦测器的取样方式为泵吸式。18) 气体侦测器必须具有防电磁干扰的功能。 侦测器故障必须两小时以内有专业人员赶到现场，并在质保期内按照甲方要求免费进行侦测器标定。 设备品牌表设备名称品牌气体侦测器Riken（ 理研） 注：如有能满足以上所有功能