ESO设备安全查核训练

1、1会计学ESO设备安全查核训练设备安全查核训练n 引言引言 n Sign-Off制度简介制度简介 Level 1 查核查核 Level 2 查核查核 Level 3 查核查核n 常见查核缺失与重点常见查核缺失与重点焊道过深，管路强度减焊道过深，管路强度减弱。弱。焊道砂孔为泄漏点焊道砂孔为泄漏点。标准管路焊道表面光标准管路焊道表面光滑平整，无滑平整，无任何砂孔任何砂孔。tool safety review meetingvendor简介机台并说明安全设计相关证明文件完整性讨论tool release前验机前验机- 确认是否符合安全规范- safety interlock功能测试洽谈规格洽谈规格A

2、UO机台设备安全规范Guarantee Letter相关证明文件list设备工程师厂验厂验确认是否符合AUO机台设备安全规范装机装机sign-off查核查核EQ 3 stage sign-off checklistPR Guarantee Letter设备工程师设备工程师corp. & site ESHPO设备工程师site ESH设备工程师设备工程师corp. & site ESH设备工程师site ESH项目式查核项目式查核(ex. small tool safety review)MOC确保装机完确保装机完成，符合法成，符合法规要求；规要求；避免装机时避免装机时或后续发生

3、或后续发生事故事故/ /隐患隐患。ESOEquipment Installation Sign-off执行执行ESO目的目的一、一、 使用使用110V110V以上电源之机台设备以上电源之机台设备; ; （除工作桌、个人电脑、临时电器设备、检测设备、施工设备等）（除工作桌、个人电脑、临时电器设备、检测设备、施工设备等）适用范围适用范围二、使用制程危害物质（二、使用制程危害物质（Hazardous Process MaterialHazardous Process MaterialHPMHPM） ( (国内称之为危险化学品之设备。国内称之为危险化学品之设备。) )【除除CDA&CDA&am

4、p;水之外的所有液水之外的所有液/ /气体气体】三、移机之设备，厂务三、移机之设备，厂务Hook-upHook-up；四、四、 自动化自动化/ /仓储系统。仓储系统。五五、 具有其它特殊危害之设备。具有其它特殊危害之设备。设备装机负责工程师完成设备安全查核表单查核。追踪厂务查核缺失改善。完成设备查核缺失改善。完成各项签核流程。厂务部门完成厂务安全查核表单查核。提供各项签核所需资料。完成厂务查核缺失改善。ESH稽核各阶段之检查执行状况。确认、核可各阶段之查核已完成。协助供应特殊气体、化学品前安全确认。送电送电/ /测试测试/ /供应供应非制程危非制程危害物质前需完成一阶段害物质前需完成一阶段。L

5、evel-1Level-1Level-2Level-2Level-3Level-3设备设备移交制程或制造移交制程或制造前需前需完成第三阶段。完成第三阶段。CDACDASOPSOPTrainingTraining供应供应制程危害物质制程危害物质前完成前完成第二阶段第二阶段。查核时机查核时机水电缺失分类说明缺失分类说明一、一、 A A类类：风险特别高，若不符合及易造成严重危风险特别高，若不符合及易造成严重危 害，未改善前不可送电害，未改善前不可送电/ /送气送气/ /使用学品；使用学品；二、二、B B类类：风险较高，若不符合佷可能造成危害，未风险较高，若不符合佷可能造成危害，未 提出改善对策前不可

6、送电提出改善对策前不可送电/ /送气送气/ /使用化学品；使用化学品；三、三、C C类类：风险一般，若不符合不会影响第一、二阶段的装机安全查风险一般，若不符合不会影响第一、二阶段的装机安全查 核之进行；核之进行；（B B类及类及C C类项目缺失及不符合项目，须于机台交机前修改完成；）类项目缺失及不符合项目，须于机台交机前修改完成；）N NO O查查核核项项目目改改善善N NO O查查核核项项目目改改善善N NO O查核项目改善查核项目改善EQEQ提供机台操作提供机台操作手册手册1. 1.设备工程师向厂务提出装机之电、气设备工程师向厂务提出装机之电、气等需求，从环安领取表单；等需求，从环安领取表

7、单；2. 2.于机台张贴查核证明；于机台张贴查核证明；EQ Level-2EQ Level-2CheckCheckEQEQ机台测试机台测试SOPSOP建立建立1 1、装机安全查核证明；、装机安全查核证明；2 2、施工状态表、施工状态表 ( (表单贴至现场）表单贴至现场）装机前装机前Level-2Level-2EQ Level-3EQ Level-3CheckCheck流程流程Level-3Level-31 1、ESO Level-3 CheckESO Level-3 Check1. 1.资料包含各保养规范及测试资料；资料包含各保养规范及测试资料；2. 2.Level-3Level-3查核完毕后

8、，各项查核完毕后，各项数据、窗体数据、窗体送交环安部存查；送交环安部存查；步骤查核项目步骤查核项目备注备注FEFE进行进行HookupHookup工程工程EQEQ装机测试装机测试EQ Level-1EQ Level-1CheckCheck1 1、ESO Level-1 CheckESO Level-1 CheckFEFE；2 2、ESO Level-1 CheckESO Level-1 CheckEQEQ；1. 1.FEFE完成厂务端供电、气、水；完成厂务端供电、气、水；2. 2.各系统管理二次配检查表；各系统管理二次配检查表；3. 3.Turn Turn onon 有害能量、辐射、有害能量、

9、辐射、镭射镭射前前需完成所有需完成所有Level-1Level-1查核查核；Level-1Level-11 1、ESO Level-2 CheckESO Level-2 CheckFEFE；1 1、ESO Level-2 CheckESO Level-2 CheckEQEQ；1. 1.EQEQ提出申请并完成签核；提出申请并完成签核；Move-inMove-in前由前由EQEQ提出提出至至ESH & FEESH & FE移交制造移交制造/ /制程制程步步骤骤设备设备Move In/Move In/装机前：装机前：EQEQ须提出装机需求至须提出装机需求至FE & ESHFE

10、 & ESH，并于机台定位后张贴，并于机台定位后张贴【查核证明】&【施工状态表】；一一.第一阶段查核第一阶段查核/Level-1：A 各厂务系统供应非HPM前完成二次配管路查核；B 完成电盘至设备端的接电，并符合Level-1之要求；C 完成消防设施的各项安全要求；D 厂务在领取表单后，于Hook-Up时开始自行填此表单。步步骤骤A A、厂房及建筑物的消防设备厂房及建筑物的消防设备1、建筑消防设施是否上线？2、自动撒水系统经过测试功能是否正常？3、是否在机台前后的走道上的天花板均装置撒水头以 涵盖整个机台?4、厂务火警警报探测器(侦烟/侦温探测器)是否经过测 试且功能正常?B.

11、B.电气系统电气系统1.厂务相关电源线路由分电盘至机台端之联机及连接点正确?2.供应电盘端己标示使用机台、附属设备编号与机台主开关位置.3.机台端电源标示包含位置、供应盘位置、供应回路编号,以及电盘开关编号和电压.插座都标示有breaker编号及电盘编号。4.接地？紧急电力? 设备标示正确否?5.各管路的空间、标识（走向）是否完善？6.管路保压是否完成？A A 设备连接端各标示须和电盘保持一致；设备连接端各标示须和电盘保持一致；B EMO&InterlockB EMO&Interlock的设置是否涵盖整个操作区域；的设置是否涵盖整个操作区域；C Turn onC Turn on

12、有害能量有害能量/ /辐射辐射/ /激光等之前，须完成所有激光等之前，须完成所有Level-1Level-1检查；检查；D D 设备应在自行安表单要求装机的同时，关心厂务部分进展及安全要求。设备应在自行安表单要求装机的同时，关心厂务部分进展及安全要求。 步步骤骤A.A.一般事项一般事项B.B.净空净空1.1. 所有相关管路源头与衔接点，且于转所有相关管路源头与衔接点，且于转弯点及穿墙前加管路标示清楚。弯点及穿墙前加管路标示清楚。2.2. 非非HPMHPM之管路于使用前是否经过饱压或之管路于使用前是否经过饱压或测漏测试确认管路无泄漏之疑虑测漏测试确认管路无泄漏之疑虑? ?1.1. 主机台正面操作

13、区及主信道宽度主机台正面操作区及主信道宽度须有一公尺。须有一公尺。2.2. 机台及相关附属设备之维修信道机台及相关附属设备之维修信道宽度至少须有宽度至少须有8080公分。公分。3.3. 机台维修空间须足够电盘或控制机台维修空间须足够电盘或控制盘门完全开启。盘门完全开启。C.C.电气系统（电气系统（EQEQ）漏电断路保护1.1. 若有接若有接UPSUPS之设备，之设备，UPSUPS是否正确标示出其所是否正确标示出其所支持的机台支持的机台? ?2.2. 机台及厂务电盘上方若有可能的机台及厂务电盘上方若有可能的泄漏源泄漏源，电，电盘是否做好必要的保护措施盘是否做好必要的保护措施? ?3.3. 电线管

14、理是否适当电线管理是否适当? ? 如避免如避免绊倒、拉扯绊倒、拉扯电线电线, ,及维持良好的整洁。及维持良好的整洁。4.4. 有湿式制程或电气组件相当有可能接触到液有湿式制程或电气组件相当有可能接触到液体之机台，是否有体之机台，是否有漏电断路器装置漏电断路器装置，且此装，且此装置是否有置是否有合格认证合格认证? ?5.5. 易燃物品及设施易燃物品及设施: :相关设备装于危险区或电气相相关设备装于危险区或电气相关组件暴露于易燃物之雾气中，其电气用品应为关组件暴露于易燃物之雾气中，其电气用品应为防爆型。防爆型。D.D.紧急停机装置紧急停机装置1 1、EMOEMO是否有适当中英文标示是否有适当中英文

15、标示? ?2 2、EMOEMO的设置是否覆盖整个操作区域的设置是否覆盖整个操作区域? ?3 3、EMOEMO切断此系统电力供应时是否含设备附属切断此系统电力供应时是否含设备附属UPS?UPS?4 4、若己安装若己安装EMO EMO 防护盖，此设置于紧急情况时仍可以掌握防护盖，此设置于紧急情况时仍可以掌握跟压按跟压按? ?5 5、确认确认EMO EMO 复归后不会重新激活此设备复归后不会重新激活此设备? ?E.E.有害能量与防护有害能量与防护1.1.所有机械危害之所有机械危害之防护及标示防护及标示适当否适当否( (中、英文标示中、英文标示)? ()? (挤压收缩、挤压收缩、切断、移动、往复运动切

16、断、移动、往复运动) )2.2.所有机械臂所有机械臂移动范围适当围篱且有防护移动范围适当围篱且有防护? ?3.3.高低温危害防护及标示适当否高低温危害防护及标示适当否( (温度大于温度大于6060之热表面、冷冻剂之热表面、冷冻剂) )。4.4.电气危害之防护及标示适当否电气危害之防护及标示适当否? (? (直流电直流电5050伏特、交流电伏特、交流电3030伏特伏特) )己确认之危害位置己确认之危害位置Identify hazard locations:Identify hazard locations:( (之前相同机台己查核此项者可免填，资料见机台名称之前相同机台己查核此项者可免填，资料见

17、机台名称) )机械危害机械危害Mechanical hazards:Mechanical hazards:热危害热危害Thermal hazards:Thermal hazards:其它危害其它危害Other hazards:Other hazards:F.F.雷射雷射1 1、雷射分类等级雷射分类等级: : All laser classes: Class _All laser classes: Class _注注1 1:Class 1 指正常操作下有雷射发生但不造成伤害性。注注2 2:3b 之雷射若眼睛直视会造成伤害。包括反射光之光束，正常状况下，3b雷射之扩散光不会造成伤害。注注3 3:分

18、类4之电射不但直视及反射光会造成伤害。而且扩散光亦会造成伤害.此类电射可能会造成皮肤如冋火灼伤之危害。2 2、电射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准，且在此机台电射系统己由机台制造商确认符合相关国际标准，且在此机台外侧有明颢的合格标示外侧有明颢的合格标示3 3、雷射光源附近己加防护外罩雷射光源附近己加防护外罩，张贴危险警示标帜。张贴危险警示标帜。5 5、所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常所有与雷射相关之安全联锁皆功能正常? ?6 6、己降低窗口孔之雷射危害等级至己降低窗口孔之雷射危害等级至Class 1 Class 1 以下以下? ?F.F.雷射雷射7、有使用分类3b或4之雷射否? 若有完

19、成下列问题:a.a.密闭性密闭性b.b.安全联锁安全联锁. .包括电力供应包括电力供应. .c.c.防护区己告示防护区己告示d.d.提供锁匙控制之开关提供锁匙控制之开关e.e.可拆缷之维修控制仪表板亦有安全联锁。可拆缷之维修控制仪表板亦有安全联锁。f.f.人员接触分类人员接触分类3b3b或或4 4 之电射作业时，机台本身是否之电射作业时，机台本身是否有防护屏障或人员有配戴防护器具或有雷射剂量监控有防护屏障或人员有配戴防护器具或有雷射剂量监控。g.g.警示系统己运作否警示系统己运作否? ?h.h.有开放性光束暴露之可能性时，雷射区己公告成管有开放性光束暴露之可能性时，雷射区己公告成管制区域制区域

20、? ?i.i.己指定且使用适当光学密度之眼部防护具己指定且使用适当光学密度之眼部防护具? ?j.j.员工操作开放性光束己接受安全使用训练员工操作开放性光束己接受安全使用训练? ?G.G.辐射辐射1.1.是否有放射源是否有放射源? (? (如果有的话，请与如果有的话，请与ESHESH单位联络单位联络) )2.2.所有与辐射相关之安全联锁皆功能正常所有与辐射相关之安全联锁皆功能正常? ?3.3.辐射相关警告标示己张贴完成辐射相关警告标示己张贴完成? ?4.4.辐射必要之阻绝挡板皆设置正常辐射必要之阻绝挡板皆设置正常? ?紫外光源紫外光源5.5.如果有害的存在的话，此光源是否被隔绝或以安全连如果有害

21、的存在的话，此光源是否被隔绝或以安全连销防护销防护? ?6.RF/6.RF/微波源是否己被鉴定并标示微波源是否己被鉴定并标示? ?7.7.RFRF是否是否接地接地? ?5 R1.5R60R60Level-2Level-2： 厂务厂务：A 提供气体/化学品需求确认单所需资料；B 完成气体/化学品供应所需要求。 （未使用化學危險物品，不需進行（未使用化學危險物品，不需進行Level-2Level-2的查核）的查核） 步步骤骤设备设备：A 提出气体/化学品需求单；B 完成气体/化学品需求确认单签核流程； Level-2Level-2： A A、开孔等均已做好防火填塞；、开孔等均已做好防火填塞；B B

22、、洗眼器的设置，并加以标示；、洗眼器的设置，并加以标示；C C、有无侦测及有无侦测及ERCERC监控；监控；D D、机台之消防设备是否完善；机台之消防设备是否完善；E E、通风、排气系统是否完善；、通风、排气系统是否完善；F F、化学废液、废弃物质处置是否得当；化学废液、废弃物质处置是否得当；G G、气体化学品传送系统是否完善；气体化学品传送系统是否完善；管路侦测防火填塞消防设施废弃处理传送系统A A、机台操作或维修、机台操作或维修? ? 若是，这些局限空间之入口是否有标示若是，这些局限空间之入口是否有标示? ?B B、机台之消防设备，并联至、机台之消防设备，并联至ERCERC；C C、安全相

23、关之连锁装置是否完善；、安全相关之连锁装置是否完善；D D、个人防护装备有无配备齐全；、个人防护装备有无配备齐全；E E、通风、排气有无完善；、通风、排气有无完善；F F、MSDSMSDS及应急设施；及应急设施；消防设备连锁装置个人防护应急措施Level-3Level-3： 设备：设备： 完成设备各项SOP的建立，其SOP及附带表单中须包含Level-3中所规范的内容要求。步步骤骤Level-3 Level-3 查核重点查核重点设备安全保养（设备安全保养（PM）程序）程序设备安全操作（设备安全操作（Operation）程序）程序相关人员已受教育训练相关人员已受教育训练各阶段查核缺失及不符合项目

24、各阶段查核缺失及不符合项目已改善完成已改善完成已建立操作保养规范？已建立操作保养规范？与机台操作保养相关的特殊危害讯息已纳入操作保养规范之中？与机台操作保养相关的特殊危害讯息已纳入操作保养规范之中？PMPM规范文件已明确定义所有必要之上锁或标示事项？规范文件已明确定义所有必要之上锁或标示事项？操作保养规范有明确定义穿戴之个人防护具（操作保养规范有明确定义穿戴之个人防护具（PPEPPE）？）？操作保养规范有适当说明紧急停机开关（操作保养规范有适当说明紧急停机开关（EMOEMO）和安全联锁之功能）和安全联锁之功能? ?Level-3 查核查核项项1.1. 所有所有LEVEL 1LEVEL 1、2

25、2待改善项目均经工安工程师签名确认完成？待改善项目均经工安工程师签名确认完成？2.2. 员工已接受个人防护用具的训练，包含使用方式与挑选合适的员工已接受个人防护用具的训练，包含使用方式与挑选合适的个人防护用具个人防护用具? ?3.3. 员工已接受危害通识训练？包含各化学品之危害及标示方式？员工已接受危害通识训练？包含各化学品之危害及标示方式？4.4. 物质安全资料表备置于现场？物质安全资料表备置于现场？5 5、保养规范有保养规范有明订以下要求明订以下要求： 紧急停机开关（紧急停机开关（EMOEMO）和安全联锁至少一年测试一次，或当）和安全联锁至少一年测试一次，或当 维修过程使紧急停机开关（维修

26、过程使紧急停机开关（EMOEMO）和安全连锁失效时需重新）和安全连锁失效时需重新 测试？测试？6 6、操作保养规范有明操作保养规范有明订机台紧急关机程序订机台紧急关机程序、第一时问点应变程、第一时问点应变程 序及其它紧急应变措施（如泄漏处理，停电处理等）？序及其它紧急应变措施（如泄漏处理，停电处理等）？7 7、辐射机台之辐射机台之PMPM规范包括规范包括辐射泄漏检测辐射泄漏检测，至少一年一次，或护，至少一年一次，或护 盖被移走或连锁装置失效时作测漏？盖被移走或连锁装置失效时作测漏？8 8、员工已接受个人员工已接受个人防护用具的训练防护用具的训练，包含使用方式与挑选合适，包含使用方式与挑选合适

27、的个人防护用具的个人防护用具? ?9 9、是否有抽风系统是否有抽风系统失效警报之紧急应变程序失效警报之紧急应变程序？1010、维修保养操作规范是否已维修保养操作规范是否已建立有电之作业程序建立有电之作业程序？ 如有程序书是否包括下列项目：如有程序书是否包括下列项目： a.a.最高潜在危害类型最高潜在危害类型； b.b.降低潜在危害类别的步骤？降低潜在危害类别的步骤？ c.c.哪些危害类型已被降低哪些危害类型已被降低( (指有电作业时的危害指有电作业时的危害) )最终之查核最终之查核Exhaust上缺少标示上缺少标示 不必要之标示需移除不必要之标示需移除开口过大需加护盖防护开口过大需加护盖防护管

28、路开孔应密封管路开孔应密封!管路材质错误管路材质错误 管路施工不确实管路施工不确实(如双如双套管、套管、exhaust管等管等) 机台外观无任何危害警告标示机台外观无任何危害警告标示 但事实上里头有但事实上里头有robot机械夹伤和电气危害机械夹伤和电气危害虽维修门有interlock，但人员可能由下方钻入Breaker 端子及碍子无绝缘防护Area sensor防护区不足高架作业需有防坠措施高架作业需有防坠措施EMOEMO无法断电无法断电EMOEMO盖过高盖过高( (中文化）中文化） Sensor &InterlockSensor &Interlock不完善不完善阻挡安全指示

29、标识阻挡安全指示标识使用化学品机台防爆使用化学品机台防爆电器不全电器不全维修空间狭窄维修空间狭窄n 引言引言 n Sign-Off制度简介制度简介 Level 1 查核查核 Level 2 查核查核 Level 3 查核查核n 常见查核缺失与重点常见查核缺失与重点确保装机完确保装机完成，符合法成，符合法规要求；规要求；避免装机时避免装机时或后续发生或后续发生事故事故/ /隐患隐患。ESOEquipment Installation Sign-off执行执行ESO目的目的缺失分类说明缺失分类说明一、一、 A A类类：风险特别高，若不符合及易造成严重危风险特别高，若不符合及易造成严重危 害，未改善前不可送电害，未改善前不可送电/ /送气送气/ /使用学品；使用学品；二、二、B B类类：风险较高，若不符合佷可能造成危害，未风险较高，若不符合佷可能造成危害，未 提出改善对策前不