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1、实验报告(四)一、实验目的:掌握静力学分析;验证理论分析结果;对 不同形状膜的分析结果进行对比。二、实验器材:能够安装 ANSYS软件,内存在512MHz以 上,硕盘有5G空间的计算机。三、实验说明1、基本思路:建模与网格化;静力学分析;对结果进行分 析和比较。2、问题描述:许多压力传感器的工作原理是将受压力作用 而变形的薄膜硅片中的应变转换成所需形式的电输出信号, 比较的膜形状有圆形.正方形.长方形。四、实验内容及步骤(一)、圆形薄膜(自由式网格划分)1、先建立一个圆形薄膜:Main Menu >Preprocessor>Modeling >Create >Volum
2、es >Solid Cylinder.弹出 一个对话框,输入 WPX=0 , WPY=0 , Radius=300e-6,Depth=13.887e-6 ,单击OK。设置单元类 型:Main Menu >Preprocessor >Element Type >Add/Edit/Delete,弹出一个对话框,点击Add,在 Library Of Element Type 下拉列表框中选择 Structural Solide 项, 在其右侧下选择 Brick 8node 45选项,单击OK。再点击 Close.2、设置材料属性: Main Menu >Preproce
3、ssor >Material Props > Material Models,弹出一个对话框,在 Material Models Available 下双击打开 Structural >Linear >Elastic >Isotropic,乂弹出一对话框,在 EX后面输入 1.9E11,在PRXY后面输入栏中输入 0.3,在双击 Density, 在DENS后面输入2.33e3,单击OK。关闭对话框。设置单 元尺寸: Main Menu >Preprocessor >Meshing >Mesh Tool,弹出一个对话框,单击 Global中的Se
4、t按钮,弹出 Global Element Sizes对话框,输入 size=5e-006,然后单击OK1VOLUMESTYPE NUMANMAR 20 201214:30:2709060242-44-sunguoliang3、采用自由式网格化生成单元:MainMenu>Preprocessor>meshing>meshtool弹出一个对话框,选择Shape后面的Tet,Free,.然后单击 Mesh ,在单击OK施加约束:Main Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Displace
5、ment >On Areas.拾取 圆的周围面,然后单击 OK,选择ALL DOF,单击OK。4、施加载荷: Main Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Pressure >On Areas 拾取薄膜 上表面,然后单击OK,出现一个对话框,在Value Load PresValues后面输入100000,单击OK1ELEMENTSANMAR 20 201214:37:1309060242-44-sunguoliang5、求解:Main Menu >Solution >Solve
6、 >Curentls LS 弹出一信 息框和一对话框,单击 File >Close,单击OK,出现一个SolutionIs Done的信息提示框时,单击 Close按钮。Utilitymenu >File >Save As.输入 Plate-Resu,.单击OK。1ELEMENTSUNFORRFORPRES 100000ANMAR 20 2012 15:21:3409060242-44-sunguoliang6、显示节点位移云图: Main Menu >General Postproc >Plot Results >Contour Plot >N
7、odal Solu,出现对话框:在 Contour Nodal Solution Data 对话框中选择 Item To Be Contoured >Nodal Solution >Dof Solution >Displacement Vector Sum.然后单击 OK7、显示节点应力云图: Main Menu >General Postproc >PlotResults >Contour Plot >Nodal Solu ,出现对话框:在 ContourNodal Solution Data 对话框中选择 Item To Be Contoured > NodalSolution >Stress >Von Mises Stress,然后单击OK。NODAL SOLUTIONANSTEP=
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