PTH线操作手册

1、PTH 线操作手册目录一、目的范围二、工艺流程三、PTH设备规格表四、PTH程序图及各缸时间范围五、操作程序开缸程序工艺控制生产操作和维护PTH 线停产处理方法PTH 线生产异常处理方法 沉铜效果检测六、PTH线常见问题及处理方法七、背光级数图八、附录1 、 PTH线操作控制表2 、 PTH线设备检测一览表目的规范规范 PTH线流程，提供 PTH线工艺控制参数和操作方法，指导生产人员正常生产，以确保生产产品品质，适用于 PTH手动或自动线操作二、工艺流程三、PTH线设备规格表缸号工序材料搅拌水过滤发热器备注1整孔除油P.PSS316M&TDISS316P.PSSV&T2、3水洗

2、P.PM&ACW-4微蚀P.PM&ACWDIP.PQTZC5、6水洗P.PM&ACW-7酸洗P.PMCWDI-8、9水洗P.PM&ACW-10预浸P.PMDIP.P-11活化P.PMDIP.PQTZV&T12、13水洗P.PMCWDI-14加速P.PMDIP.P-V&T15、16水洗P.PM&ACWDI-17化铜P.PM&ADIP.PTFSSC&V&T17化铜P.PM&ADIP.PTFSSC&V&T18、19水洗P.PM&ACW-备注：SS ：不锈钢QTZ ：石英 ：聚丙烯 T ：气

3、缸振荡M ：机械摇摆 A ：打气 V ：电振荡器 TF ：铁氟龙 C ：冷却四、PTH自动线程序图及各缸时间范围序号缸名称序号浸泡时间范围滴水时间范围1上/ 下架1-2水洗21-2min3水洗31-2min4沉铜412-18min10-20Sec5沉铜512-18min10-20Sec6沉铜612-18min10-20Sec7沉铜712-18min10-20Sec8水洗81-1.5min9水洗91-1.5min10加速102-4min10-20Sec11水洗111-1.5min12水洗121-1.5min13活化135-8min15-20Sec14预浸140.5-2min15-20Sec15水

4、洗151-1.5min16水洗161-1.5min17酸洗171-3min5-10Sec18水洗181-1.5min19水洗191-1.5min20微蚀201-2min10-15Sec21水洗211-3min22水洗221-3min23除油235-8min10-20Sec注：滴水时间栏空白无要求 各厂根据实际情况可作适当调整五、操作程序开缸程序5.1.1 前期准备A 、清洗缸体：新线开缸前须用 3-5% NaOH溶液泡缸 12 小时，用清水清洗干净后，再 用 3-5% H2SO4泡缸 12小时，再用清水冲洗，至少 2 次，药水槽再用纯水清洗一次 备用。旧线视缸体清洁度，可考虑不用酸碱泡，但缸体

5、须用清水洗净，药水缸须 用纯水清洗；B 、测量：测量缸内壁长、宽、高，计算出缸体积，计算方法：V体 = 长×宽×高（药水液位高度） ；C 、检查生产辅料（比如， H2SO4 是否浑浊等）。5.1.2 开缸5.1.2.1 整孔除油缸：A 、加入 DI 水至 2/3 体积；B 、加入整孔剂 DS-122（10%）；C 、补充 DI 水至液位；D 、打开加热，开启过滤机5.1.2.2 微蚀缸：A 、加入水至 2/3 体积，开启打气；B、加入硫酸 4%（或硫酸 8%，适合硫酸双氧水系列产品） ；C、冷却后加入过硫酸钠 80g/L ；D 、加水至液位，搅拌。5.1.2.3 酸浸缸 :

6、A 、加入 DI 水至 2/3 体积；B、加入 2%（V/V） H2SO4；C 、加入 DI 水至液位，搅拌均匀。5.1.2.4 预浸缸：A 、加入 DI 水至 2/3 体积；B 、加入预浸剂 DS-133 220g/L（ 或 DS-133 220g/L,AR 盐酸 5%，适合 DS-133 体 系 ） ；C 、加入 DI 水至液位，搅溶后开启过滤泵。5.1.2.5 活化缸：A 、加入 DI 水至 2/3 体积；B 、加入预浸盐 DS-133 220g/L ， AR盐酸 5%。C 、加入 DI 水至液位，搅溶后开启过滤泵；D 、加入活化剂 DS-140 2%；E 、打开加热器循环。5.1.2.

7、6 加速缸：A 、加入 DI水至 2/3 体积；B、加 DS-155 10%；C 、加入 DI 水至液位；D 、打开过滤泵。5.1.2.7 沉铜缸：A 、加入 DI水至 2/3 体积；B 、开启打气，加入沉铜液 DS-166M 5%；C、缓慢加入 DS-166A 7%；D、缓慢加入 DS-166B 7%；E 、补充 DI水至液位，开启过滤。工艺控制5.2.1 整孔除油A 、工艺参数a、温度60-70 b、时间5-8minc、过滤连续过滤d、摇摆连续B 、控制a、碱度控制在；b、每生产100m2板补加 1-1.5L DS-122 ；c、每班分析一次，依化验结果调整维护。C 、更换a、每升工作液处

8、理 30-35m2板或铜含量大于 1g/L 时换缸；b、每次全部排净旧液，洗净缸体后，重新开缸。5.2.2Aa微蚀 、工艺参数、温度25-35 b、时间1-2minc、浓度Na 2S2O8 60-100g/L H 2SO4 3-5%d、过滤连续过滤f、打气过硫酸钠体系开打气，双氧水体系无须打气。B、控制a、每生产100m2添加 Na2S2O8 5KG，硫酸 2L；bCab5.2.3AabcBabC5.2.4AabcdBabCab5.2.5Aabcd、每班分析一次，微蚀速率控制在；、更换、铜含量大于 25g/L 时更换；、更换时保管 1/6 左右旧槽液，再加入 1/2 体积纯水，然后加入 4%硫

9、酸及 80g/L Na 2S2O8, 用纯水补充至液位。酸浸缸、工艺参数、温度室温（ 20-30）、时间 1-3min、摇摆 连续、控制、H2SO4 浓度控制在 1-3%；、每班分析一次，按分析结果补加。、更换与微蚀缸同时更换。预浸、工艺参数、温度室温（ 18-30）、时间、过滤 连续过滤、摇摆 连续。、控制、比重控制在每添加 165g/L DS-133 可升高比重 （或补加 165g/L DS-133 可升高比重， L 盐酸可提高酸度 , 此适合 DS-133体系 ）；、每生产 100m2板补加 2.5KG DS-133、 0.5L 盐酸。、更换、每升槽液生产 30m2 时更换；、或溶液转变

10、成蓝色或绿色时更换。活化、工艺参数、温度 35-44 、时间 5-8min、搅拌 摇摆或过滤循环、加热器 石英或铁氟龙B 、控制a、每生产 100m2 补加 DS-140 0.6L ；b 、比重控制在，比色控制在 60-90%。C 、更换2a、每升槽液生产 600m 时换缸；b、铁含量高于 150ppm时更换；c、换时排除全部旧液，再用稀盐酸泡洗槽壁，以清水洗净后用纯水清洗，重新开缸。加速A 、工艺参数a、温度b、时间c、搅拌d、过滤酸性室温（ 20-30 ）2-4min摇摆或过滤循环连续过滤B 、控制a、酸性控制到；b、每生产 1000ft 相对补加 DS-155 1.5L 。C 、更换a、

11、每升槽液生产 20-30m 时更换；b、当溶液变混浊时；c、更换时全部排除旧液，洗净槽液重新更换5.2.7化学铜A、工艺参数a、温度25-30b、时间12-18minc、沉积速率微英寸/ 分钟d、过滤连续过滤e、搅拌空气及机械搅拌f、操作容量（负载）-0.25ft 2LB、控制a、浓度控制2+Cu2+-2.5gLNaOH 11-13g/LHCHO 6-8g/L、浓度控制在正常范围之内补加量计算方法：（ CU2+标准值 - 分析值）× V 槽体30DS-166B(L) =甲醛 (L)=液碱 (L)=（NaOH标准值-分析值）× V 槽体180甲醛标准值 -分析值-补加166A

12、升高值）× V 槽体370甲醛标准值 -分析值-补加166B升高值）× V 槽体2001. 每生产 6-8m2板添加 DS-166A、B 各 1L；2. 每星期更换一次过滤棉芯，更换时用稀硫酸浸洗新滤芯，用 DI 水洗净，放入滤槽中使用；3. 每周倒一次槽，并将槽内壁沉积铜消除，方法：抽入废微蚀液或加入一定量 H2SO4、 Na2S2O8并加水至液位并开启打气；4. 每班分析 3 次，即 4 小时分析一次。C 、更换a、每升槽液生产 30-40m2或药水添加量达 50MTO时换缸；b、更换时将槽液全部排放，消除缸内壁沉积铜，洗净后重新配。生产控制与维护5.3.1 新开缸药水

13、须化验分析， 确保浓度正常范围， 检查各药水缸温度应达到正常范 围；5.3.2 取三架裸基材板依沉铜线正常程序拖缸。每架双面累积应达沉铜缸最佳负载， 即 0.2ft2/L ；5.3.3 紧接拖缸板后做一架生产板， 抽取生产板背光， 要求：双面板级以上， 多层板 级以上（详见背光等级表） 。正常后批量生产，并连续生产，并连续跟进至少 3 缸板。5.3.4 生产过程中须做好生产记录， 药水补加尽可能少量多次， 以保持各药水缸浓度 平衡，前处理各缸药水每生产 100 m2补加一次，化铜缸视生产板而定，每架 板至少 6 m2时，累积 6m2补加 166A、B液各 1L,每架大于 6m2时，生产一架添

14、加一次。添加量计算：添加量（ L）=累积生产面积 m2/6m2；5.3.5 每次开拉前须检查设备运行状况， 待温度升到正常管控要求， 化验分析调整各 药水缸浓度后，拖缸做板，步骤同、 ；5.3.6 无化验室的厂家， 每次开拉前，沉铜缸须补加 DS-166A、B各 15ml/L ，停产 12 小时以上，还须补加至少 5ml/L 甲醛（ 37%）。PTH线停产处理方法：5.4.1 停产前沉铜少添加一次药水；5.4.2 关掉所有药水缸中的加热器；5.4.3 关掉水洗缸的入水阀及打气阀；5.4.4 保持沉铜缸有打气及过滤；5.4.5 保持活化缸有循环；5.4.6 长时间停产或放假，须将药水缸盖好，尤其

15、是活化槽。PTH线停电及机械故障处理方法：5.5.1 当遇停电或机械故障时把正浸在药水槽中的板取出水洗待重做；5.5.2 当遇停电机械故障不超过 10 分钟，浸在水洗缸中的板可正常往后生产如若不 然须取出重做；5.5.3 在沉铜缸内板可继续沉铜至足够时间，然后取出至板电；5.5.4 停电时间超过 4 小时，须用纯水酸制，用 AR级硫酸中和沉铜缸中的 NaOH，用 量约为 7ml/L （AR级硫酸）；5.5.5 返工板程序 :微蚀水洗磨板 PTH工序沉铜效果检测：背光检测：每生产四小时检测一次，具体见背光对照表；孔铜附着力检测：沉铜板做到成品后，进行热冲击实验，孔铜不脱离为OK。六、PTH线常见问题及处理常见 问题因 原 能 可背不不良（ 孔内无铜）板） 层 多 强