单晶硅拉制工安全操作规程_第1页
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文档简介

1、单晶硅拉制工安全操作规程 1检查好晶轴、坩祸轴的旋转、升降是否敏捷匀称。假如过紧时调整炉膛上的密封圈，紧固到不漏气为准。若拧时不漏气但旋转升降不敏捷匀称，则要更换密封圈。 2真空泵运转的方向应按规定的方向旋转，否则可能引起机械泵油倒灌到扩散泵中去。若真空泵电动机电源线有松掉或断落现象时，应将真空泵和扩散泵连接的塑料管拉掉，调整电动机旋转方向。 3使用扩散泵必需避免油的氧化。 4封炉时须检查炉门橡皮是否有油污物，是否能起密封作用，同时检查炉膛内有没有多余物件。 5增温前要开冷却水，并检查水是否畅流，以防烧坏设备。 6运动部件如导轨、丝杠等经常要擦洗、润滑。籽晶轴和坩锅要经常用纱布酒精或甲苯擦洁净

2、。采用水冷却要防止漏水生锈。 7炉膛内要保持光亮清洁。，工作之后应准时清除氧化物，炉膛应常关闭。炉子不工作时，必需保持真空度，以使石墨件不受潮湿且能延长扩散泵使用寿命。 8密封圈和橡皮垫，切忌用油和酒精之类擦拭，也不得压得过紧。 9先开主机箱风扇电动机使风扇转动，风向向上，说明相序正确。再打开“增热”按钮。若发觉相序不对，风扇不转，应马上停止增热排解故障。 10首先将细调调至中间位置进行主回路送电。打开操纵台上的总电源开关，操纵台上各个开关与相应的部分应正常工作。总励磁有指示才能开直流电动机(籽晶、坩埚、轴)。 11主机箱中因有鼓风机振动，每隔一段时间应打开箱子检查各螺钉是否有松动现象，如有松

3、动应马上拧紧。 12操纵台的边线有其相位关系，操纵台与回路之间也有同位关系，一经调好之后，就不要再动。检查修理时若要拆线必需做好标志，以免搞错。 13用化学方法腐蚀已清洗完毕的多晶硅(回炉多晶)后，要每块认真地检查有无氧化物，若有蚀渣氧化物须重新腐蚀。 14装料时必需检查石英坩埚有无裂纹，有无白点和气泡，装料要装稳。 15籽晶必需装牢，也不得装歪(偏离轴心线不大于3)。 16装炉时必需检查炉内石墨件有无裂纹、氧化层和短路现象，增热器和电极是否接触良好。同时热部件要装得正，炉子漏气时不准熔硅。 17掺杂时一定要把籽晶提高，置于掺杂勺上方。 18拉晶中途出了事故被迫停炉时，应把石墨托升到最高位置。

4、 19不同厂、不同炉次多晶柱制高阻单晶时，每炉多晶柱应分开使用，以利拉制凹凸阻单晶。 20真空复合计的指示必需大于0133帕(0.001毫米汞柱)以上才能开硅管增热器进行测量，真空度要大于00133帕(0.0001毫米汞柱)才能进行除气，除气不能超过5分钟。 21用自来水冷却时先打开7号水龙头(注：水龙头编号系依据设备详细状况确定)，再打开4号水龙头，最终开房内的总龙头(在开自来水之前要把调压开关关紧。6号水龙头也要关好)，即可使用。 22用水泵时需看7号水龙头的流量，流量过大将调压开关开大，过小将调压开关关小，否则压力过大会损坏设备。 23若水槽水温升高而自来水压力不够则按以下程序操作： (1)将5号水龙头打开， (2)将7号水龙头打开，炉内热水从地流出。 24若发觉外压升高，应将房内总水龙头关掉

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