油增压泵机组说明与日常维护保养

1、JZZJB600.2500.150X2型油增压泵机组使用说明书® ISO9001 认证企业 上海真空泵厂有限公司2010年11月欢迎您选择“上真品牌”真空机组产品安装及使用前请仔细阅读本系列机组说明书，违反有关安装和操作规定，有可能影响本机组的正常使用。目 录一 工作原理及结构特点二 机组组成及其主要技术性能指标三 操作说明四 机组安装与使用说明五 维护保养说明一、 工作原理及结构特点JZ600型扩散泵高真空机组，以Z600型油增压泵为主泵，两台X150型旋片泵和一台ZJB-2500A罗茨泵为前级泵，并配以GDQ600S气动高真空主阀门、GDQ300预抽阀(反顶大气)等阀门管道，真空

2、测量规管，真空仪表和电控操作控制箱等组成。可广泛应用于需要获得高真空的场合。真空泵工作原理和结构及其维护维修事宜，请参阅所属型号真空泵的使用说明书。必须关注的事项：1、当拆除机组抽气口盲扳，并在对接系统管道时，应严禁任何粉尘、焊渣等杂物进入泵腔，一旦进入必须清除后才能开机，否则会造成咬泵或使启动电流增大而不能正常运行之虑。因此必须彻底清除整根管道，确保没有附着物及灰尘后才可与之对接。2、本机组不允许在冷却水源断水及供电电源缺相状态下开机使用！3、真空泵的维护与检修，请参阅该型号泵的使用说明书进行！二、 机组的配套形式及主要技术性能指标1 机组抽速： 8000升/秒2 机组极限真空度 5

3、5;10-1Pa3 机组抽气口中心高度 2813毫米4 机组耗水量 26升/分机组总功率 72KW电源总功率：三相四线（或五线）制 380V/50HZ 72KW注：（1）机组极限真空是指用麦氏计测得的空气分压力值，用热偶真空计测得的全压力应比极限真空小半至一个数量级。 （2）机组的最大抽速是指只在机组入口压力为0.11pa的工况条件下的实际抽速。三、 操作说明：1、准备工作：1） 按电气原理接线图联接油增压泵、罗茨泵、旋片泵及各阀门的电源线，联接机组和电源箱之间的地线，接好气源和水源，并检查连接是否正确。水路是否畅通，气路连接后各阀门开、关是否和开关一致（不一致需调换各阀门上的气管）。供水水压

4、<0.3MPa气压：0.40.6MPa电压：380/220V2） 开旋片泵电源，检查此泵的旋转方向是否和泵上标志的旋向一致（不一致时马达换相位，直到一致为止）3） 开罗茨泵电源，检查此泵的旋转方向是否和泵上标志的旋向一致（不一致时马达换相位，直到一致为止） 2、使用操作（参照系统图）1） 预热油增压泵a） 先开冷却水，开空气压缩机。b） 合上总电源（空气开关）。c） 打开V1、V2阀门延时5S。d） 启动P1、P2泵电源。e） 关闭V1、V2阀门延时5S。f） 打开V3、V4阀。g） 待压力小于200Pa后, 开V8阀（下阀）。h） 待压力小于150Pa后,开ZJB-2500A罗茨泵电源

5、i） 开Z600油增压泵电源。j） 预热大约90分钟，检查其油增压泵排气口压力5Pa,关闭V8阀。k） 油增压泵预热完成，在满足使用压力的情况下，随时可参与工作。2） 低真空与高真空切换a） 关GDQJ150前级阀（下阀）。b） 关ZJB-2500A罗茨泵c） 开真空计电源、并开真空计低真空规管电源。d） 开GDQJ320预抽阀（上阀）。e） 开两个GDQ-J100阀门。f） 开两台X-150旋片泵。g） 待低真空规测得真空度达200Pa左右。h） 开ZJB-2500A罗茨泵。i） 待低真空规测得真空度达20Pa左右。j） 关GDQJ320预抽阀（上阀）。k） 开GDQJ150前级阀（下阀）。

6、l） 开GDQS600高真空主阀门。m） 开真空计高真空规管电源，并测量高真空的变化，达到真空工艺所需要的工作真空度为止。n） 关GDQS600高真空主阀门。o） 关GDQJ150前级阀（下阀）。p） 开GDQJ320预抽阀（上阀）。q） 关任一GDQ-J100阀门,然后打开其配对的GDC-J25C阀门,最后关掉其配对的一台X-150旋片泵,延时20S关闭对应的GDC-J25C阀门,用另一台维持工作。3） 切换维持泵a） 打开需要启动的X-150旋片泵对应的GDC-J25C阀门。b） 启动X-150旋片泵。c） 关闭其前端对应的GDC-J25C阀门。d） 当刚启动的X-150旋片泵发出明显响声

7、时说明其工作真空已达到极限真空(大概在关闭其前端对应的GDC-J25C阀门后10S左右),打开其前端GDQ-J100阀门。e） 然后关闭另一台X-150旋片泵对应的GDQ-J100阀门,再打开它对应的GDC-J25C阀门。f） 最后关掉其配对的一台X-150旋片泵,延时20S关闭对应的GDC-J25C阀门,用另一台维持工作。4） 关机a）关真空计高真空规管电源，（规管灭）。 b）关GDQ-J320和GDQ-S600高真空主阀门,然后开GDQ-J150阀门。c）关扩散泵电源。d）等待1.5小时左右再关阀门GDQ-J150前级阀（下阀）。e）关ZJB-2500A罗茨泵。f）关GDQ-J100阀门。

8、g）开GDC-J25C阀门。h）关X-150旋片泵电源。i） 关GDC-J25C阀门。f）关水、电、气路。5） 油浴式过滤器使用说明 在真空设备使用前必须通过油窗检查油浴式过滤器内是否有油,或油液的是否污染。a) 油浴式过滤器油液必须控制在油窗中间到油窗上部2/3处。b) 油浴式过滤器油液必须要控制在一定黏度之内,当油液受重度污染,不能在气流作用下飞溅时,就丧失了过滤效果,建议一到一个半月换一次,可使用真空泵内换下来的油。四、机组安装及使用要求1、 安装环境：（1） 机组要求安装在明亮少尘通风性好的建筑物内，环境室温应在5400C之间。（2） 应有干净可靠且水温较低水压在23×105

9、pa的水源。（3） 机组周围应留有足够的余地，以便维护及拆装检修工作的进行。（4） 机组安装及使用场地边严禁易燃易爆物的存在。2、 安装要求（1） 浇制水泥基础，根据机组基础螺栓孔位置埋入基础螺栓。（2） 待水泥基础硬化后再将机组放在基础上，不平处用金属片垫硬，旋紧基础螺栓，用水泥补满缝隙。（3） 接好冷却水的进水管，并查看每台泵的出水口的出水情况。并将各泵及阀门的控制线按要求接对号接入电控柜，并检查妥当。（4） 如果机组用于抽除对人体有害的气体，须在机组的排气口装上排气管和废气处理装置，以便操作人员有个良好的操作环境，排气口管道的周径应与机组排气口同径以利于气体畅通排出。（5） 进气管道安装

10、时管道内壁要清洁，无焊渣，钢屑等物，如果管道较重须适当加以固定，防止其使机组产生变形。（6） 电控箱的控制顺序系遵循真空机组的工作机理进行。其设计、安装及各引出线必须正确地接在各泵及各表和各阀上，并按各泵的转向要求调整好电动机转向，严禁电机反转。3使用要求启动前的准备工作（1） 观察各泵油窗油位是否正常，按各泵使用说明书要求加油。（2） 用手转动罗茨真空泵应灵活无卡住现象，否则不能启动。（3） 用手盘动旋片真空泵，使泵腔内的油返回到油箱内。（4） 检查水压是否正常，水路是否畅通。（5） 打开冷却水进水阀，调整好水压继电器的受控范围，机组开启。四、五、 维护保养说明1、定期检查水、电、气是否良好

11、： 1.1 水路水压要求<0.3MPa。 1.2 水路要求排水顺畅，在设备排水口禁止设置阀门等管道附件。 1.3 在设备长期未使用的情况下，要求排尽设备内的余液。 1.4 在室温低于2时，设备内不允许存在静态水。 1.5 在设备不工作时，务必断开总闸。 1.6 高压气路在供应气体时需要配置相对应的气动三联件，以保护启动设备，维持其长时间稳定、正常工作。 1.7 高压气路供给气压要求：0.40.6MPa2、定期保养管道内动密封面： 保养周期：36个月/次 方法：用酒精或丙酮擦拭动密封面，将表面的附着物等杂质清洗擦拭干净，然后用干净、清洁的无纺布在将表面擦干，表面不可涂抹真空密封脂类物质，其

12、容易黏附风尘等杂质，如发现对应的动密封圈已明显无弹性或有氧化、发硬、变形等现象，也必须一并更换。 气缸，建议两年更换。注：涉及到泵内部的动密封必须在有生产厂家指导或授权的情况下方可操作。3、换油周期： 3.1 新设备在刚投入的情况下，必须在连续工作72小时左右，更换一次新油。 3.2 罗茨泵与旋片泵的用油为100#真空泵油，油增压泵用油为HFV-Z22号真空泵油。 3.3 罗茨泵、旋片泵、油增压泵换油周期请参照对应的单泵说明书。4、故障排除与维护 4.1 真空度上不去： 4.1.1 真空系统外漏，检查相关密封部位，查看是否密封良好，并进行检漏。 4.1.2 真空系统内漏，如：内部可凝性液体泄露等。 4.1.3 真空系统操作不当，导致真空获得设备不正常工作。 如：油增压泵不正常关机（必须在关机时同时对其进行抽真空，直到油增压泵完全冷却，方可停机，否则会造成油