W-FAC-COM-025Rev001HV运行操作指导

1、hitachi global storage products (shenzhen) limiteddocument controldocument number:w-fac-com-025subject： hv operation instruction标题：hv运行操作指导fujisawa referenee no:n/arevision 版本：002prepared by 起草人：tiancheng zhaodepartment 部门:facilityfor dccthis document is invalid when printed or copiedprinted out dat

2、e: 7/12/2014/10:17 amhitachi global storage tech no logies confide ntialcontentpagesubject1.0目的32.0范围33.0职责34.()定义35.0程序36.0相关资料77.0记录710目的-规范运行、操作程序，确保口立设丿施管理的流畅;2.0范围- 日立龙岗工厂 1 台 spencer house vacuum (hv) o3. 0职责-运行技术员：负责hv运行的监控，设备的开、停、切换；-运行班长：带领本班组技术员对口立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题， 并按照汇报程序及时向上级汇报；-工

3、程师：负责运行操作程序的编写、更新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问题、分 析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报；4.0定义- fmcs： eaci lity manage control system 设施管理控制系统; -hv：房间淸扫真空；5.0程序5. 1系统简介：- 在a栋mau机房有一台hv （house vacuum）,是用在洁净室内吸取在生产过程中产生 的大颗粒的尘埃。其工作原理是利用离心力的作用使空气在随着叶轮高速旋转时， 进入叶轮的空气变在离心力的作用下被推向叶轮的外缘，这些高速流动的空气受到 压缩，并集屮到蜗壳形机壳中，然后在经过断面逐渐扩人的蜗壳形机壳，速

4、度逐渐 降低，一部分动能乂转变成压力能，进一步提高空气的压力，最后由机壳出口压 出。叶轮叶片z间的气体排出后，就在叶轮小心部分形成真空，这样就会不断有气 体从吸气口中补充近来。为了获得更好的真空度，这种离心泵一般会是多级的（本 机就是9级叶轮），而且叶轮的转速越髙，叶轮直径越大，获得的极限真空就越高。系统要求：-系统要求压力低于-0. 01 mpa;5.2启动前的检査：- 确认进口端球阀处于打开位置；- 确认分离器端阀门处丁打开位置；- 确认旁通阀的进气口滤网清洁；- 确认压缩空气压力正常；- 合上电源开关，并确认电源电压正常5. 3启动（远程）：- 将转换开关置于“远程”；- 通知fmcs运

5、行值班人员，设备准备就绪；-fmcs运行值班人员在t作站上弹岀iiv主ilili面；- 在主画而上选择hv开启；- 观察控制血板上的马达运行频率,并观察真空压力表上的读数，正常运行时读数是0. oimpa左右；5.4启动（木地）：- 将转换开关置于“现场”；- 按控制箱面板绿色按钮；- 主机开始启动，观察控制面板上的马达运行频率，并观察真空压力表上的读数，- 正常运行时读数是o. o2m105. 5运行：- 机器运行中，运行技术员按照hv点检表要求，定期巡检、记录；5. 6停机（远程）：- 系统如果处于定时停机状态，将自动停机；- 在fmcs工作诂选择iiv关闭；- 运行技术员现场确认hv关闭

6、，变频器的频率将降低至0hz;5.7停机（本地）：- 系统如果处于定时停机状态，将自动停机；- 手动停机可按面板上红色停机按钮；- 按钮按下后变频器的频率将降低至0hz,系统停止；5.8停机（紧急停机）- 现场拍下iiv控制屏上的红色紧急停止按钮；- 进行hv的检查维修；5.9紧急停机后的恢复：- 顺时针方向转动紧急停止按钮，使按钮复位:- 操作hv控制器，复位；5. 10切换：- 正常情况下，i【v每周切换一次；先按开机程序开启另外的hv；再按停机程序关停需 要切换的hv;5.11故障紧急处理：- 故障现彖：1. 系统停机；2. 真空泵停机；3 真空压力底于-o.oimpa;- 故障原因：1

7、. 停电；系统电源跳闸；2. 真空泵故障；3. 检查阀门是杏关闭；检杳设备是否异常停机；加开一台cv；- 处理措施：1. 确认停电范围及原因；若是单机停电，按照操作程序起动备用的hv,保障宀产正常进行；打开进口端 球阀，打开分离器端阀门，确认旁通阀的进气口滤网清洁，确认压缩空气压力止常，确认电源电圧正常，将转换开关置于“现场”，按控制箱面板绿色按钮，主 机开始启动，观察控制面板上的马达运行频率并观察真空压力表上的读数，正估 运行时读数是o. 02mpa；若是整个hv动力停电，确认恢复供电时间，做好来电 重新开机准备来电后再按单机停电方法处理；2. 系统电源跳闸，真空泵故障都属于单机故障，先按照单-机停电方法处理，再 确认故障类型，自行维修处理或通知供应商；3. 开启阀门；确认电压/电流在止常状态，电器元件止常，开机试运行；加开一台cv；发生故障通知主管工程师;5. 12预防性维护：- 月度维护：1. 清扫集尘箱；2. 检查旁通阀是否正常工作；3. 检查电流指示器是否-正常工作;4. 检杳电磁脉冲阀是否正常工作;- 季度维护：1.清扫配电箱；- 年度维护：1.更换空气滤芯；5.13操作程序流程图:是否到切换时间是5. 14 eiis 要求：-从事带电设备操作时必须穿着绝缘鞋；-设备启动和停止时都必须确保设备现场人员处于安全状态;-现场人员注意佩戴好耳塞以保护听力；-