光电测试技术第章基本光学量的测试技术ppt课件

1、yFR0 = R = 1/察看系统物方的对准和调焦不确定度的表示 x对准方式示意图人眼的对准标准不确定度()附注压线对准（单线与单线重合）60120两条实线重合时，设线宽分别为b1，b2()，则（b1+b2）/2（）实线与虚线重合时，设虚线宽为b1，b2b1b2+1时，1游标对准（一直线在另一直线延长线上）15线宽不宜大于1分界线aa应细而整齐夹线对准（一条稍粗直线位于两条平行细线中间）10三线严格平行。两平行线中心间距最好等于粗直线宽度的1.6倍叉线对准（一条直线位于叉线中心）10直线应与叉线的一条角等分线重合狭缝叉线对准或狭缝夹线对准10直线与狭缝严格平行aaeeDall121111122

2、288lDlDkee2122811eKDll2/122222218eeeKDDabll12112eeDa2211222228eDK2228KDDaeb2btbD/2De眼瞳在出瞳面上摆动时的有效挪动间隔42eDDb)1(21Dby250y250a10161min )10161(minyDa02. 1NA51. 0 eqefNAnax)(21222)(62sin62NAnUnx222)(622NAnNAfnaxeqe22eqeqfbnnfx2/ ) 1( DbNAfDeq21DDNAfnxeq光电自准直望远镜任务原理测微器振动狭缝鉴别器放大器指零仪表光敏电阻目镜分划板分束棱镜II分束棱镜I十字线

3、分划板毛玻璃物镜平面镜2tan fl M 扇形光栅法定焦系统0ffddcocffdRd2sin22/sin2ccff dRabc用扇形光栅确定像面用扇形光栅确定像面0amaxa0 -0.2 0 0.2af50a% 100dRdd1平行光管 2透镜夹持器 3丈量显微镜 4测微目镜 5导轨光具座的构造表示图12345tan200fyf0f y0y OLABBA放大率法丈量原理图 tan2 fy2200fyfy00yyff DCDykff000 1111222202222000kyDffkyDff /00ff0yDkkB/%15. 0001. 06003. 024005. 0001. 02222ff

4、%24. 0ff fNfP附加透镜法原理图平行光管正透镜负透镜前置镜pNfyyf12精细测角法丈量原理图 2f 刻线尺 度盘被测物镜 察看望远镜BA2y0tan0yf 22f 刻线尺 度盘被测物镜 察看望远镜BA2y0精细测角法丈量安装图自准直高斯目镜平面反射镜2102)(2aJIIafU夫朗和斐圆孔衍射图艾里斑a2n实践光学系统的光瞳外形并不总是圆孔形的，有实践光学系统的光瞳外形并不总是圆孔形的，有时能够是矩形或者圆环形的。时能够是矩形或者圆环形的。星点检验安装表示图光源星点孔平行光管物镜被检物镜察看显微镜星点像聚光镜导轨UUmaxDa61. 0261. 021max61. 000maxfD

5、fd/5 . 0tanfDU UUmaxmaxsinUnNA fDfDfx042. 1)636. 1678. 2()(12180603250 xfD21. 0I m inImaxa ) b ) c )两衍射斑中心距不同时的光强分布曲线和光强对比度三种判据的部分合光强分布曲线0.735 瑞利1.118 斯派罗1.013 道斯1.0001.045FDf22. 122. 10F02. 10F947. 00fa001N0瑞利判瑞利判据据道斯判道斯判据据斯派罗斯派罗判据判据望远望远（rad）照相照相（mm-1）显微显微（mm）D22. 1D02. 1D947. 0F22. 11F02. 11F947.

6、01NA61. 0NA51. 0NA47. 033coscos11NNttcoscos11NNss100806004020204060Nt / N, N s/ N (%)Ns / NNt / N94387. 02/112q光源 聚光镜 毛玻璃 分辨率板 准直物镜 被测系统 前置镜丈量望远系统分辨率安装简图cf ) ( 2062652cfPa)(mm / -10ffNNc在光具座上丈量照相物镜分辨率的光路图FfFx光源光源 毛玻璃毛玻璃 分辨率板分辨率板 准直物镜准直物镜 被测物镜被测物镜 显微镜显微镜在光具座上丈量照相物镜分辨率的光路图FfFx光源光源 毛玻璃毛玻璃 分辨率板分辨率板 准直物镜

7、准直物镜 被测物镜被测物镜 显微镜显微镜1cos1fx220coscos21NffNPNcttcoscos210NffNPNcss2P=f2PtA0B0-fcf/ cos2Ptf2cos12cos1cos2cttffPafP dd) , ,(),() , (vuvuvuhvuovui vuvuvuhvuovuidd) , ,(),() , (),() , ,(vvuuhvuvuh vuvvuuhvuovuidd),(),() , ( vuvuhvuhvuPSFdd),(),(),(vuvvuuPSFvuovuidd),(),() ,(vuvvuuPSFvuovuidd),(),() ,(),(

8、),(),(srOTFsrOsrIvusvruvuPSFsrOTFdd)(j2exp),(),( ),(exp),(),(srjPTFsrMTFsrOTF坐标变换u=1/ruv=1/svvu=1/r1uvuruvuPSFrOTFdd)j2exp(),()0 ,(1 vvuPSFuLSFd ),()(uuruLSFrOTFd)j2exp()()()(jexp)()(rPTFrMTFrOTFuuuouLSFuuuLSFuouid)()(d)()() ()2cos()(0urIIuoa)(2cos)(2sin)(2cos)(2sind2sin)(2cosd2cos)()(000rPTFrurMTFI

9、IrurHIrurHIIruuruuLSFIururuuLSFIIuiasacaaauruuLSFrHuruuLSFrHrHrHrPTFrHrHrMTFsccscd)2sin()()(d)2cos()()()(/ )(arctan)()()()(s22)()()(0rCrCrMTFiminmaxminmaxIIIIC)(jexp)()(rPTFrMTFrOTF以得到两维的光学传送函数。这种方法可称为全息干以得到两维的光学传送函数。这种方法可称为全息干涉法。涉法。)(2cos)()(0rPTFrurMTFIIuia)()(2cos)()(d) () () (1110111rPTFrPTFrurM

10、TFrMTFIIuuuiusuia)( ),(1rPTFrMTF)()()()(1rOPTrSrOrI)(1rI ururruIuo)(52cos51)(32cos312cos41)(0 )5( )(52cos)5( 451)3()(32cos)3( 431)(2cos)( 41) (0rPTFurrMTFrPTFurrMTFrPTFrurMTFIui )5( )(52cos)5( 451)3()(32cos)3( 431)(2cos)( 41)(0rPTFtrrMTFrPTFtrrMTFrPTFt rrMTFItitttVtu rVrt)(2cos)( 4)(0rPTFt rrMTFItit111423567891012131-光源光源 2-聚光镜聚光镜 3-可变滤光片可变滤光片 4-可变狭缝可变狭缝 5-平行光管物镜平行光管物镜 6-被测物镜被测物镜 7-空间频率狭空间频率狭缝缝8-透镜透镜 9-旋转光栅扫描器旋转光栅扫描器 10-半反