SJT30002-1994电子工业职业安全卫生设计规定

1、sj/t30002-1994电子工业职业安全卫生设计规定1总则2.3厂区布置2.3.1电子工业工厂的总平面布置，应根据各类工厂的生产性质、工 艺特点、建筑类别、人流物流、防火、卫生等技术要求，结合地形、 地质、气象等自然条件合理进行布置。2.3.1.1改善原有不合理的布局和不良的生产条件；2.3.1.2减少对现有生产影响；2.3.1.3合理利用旧有建筑物及有关设施。2.3.2 厂区应根据生产、工艺特点，按功能分区布置。一般可分为: 厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。2.3.3 工厂主要建筑宜呈南北布置。应有良好的通风和口然采光。2.3.4 工厂入口宜人物分流。厂区主干道。应将主要

2、人流与较大物 流。2.3.5 由厂部办公室、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜 置于厂区最小频率风向的下风侧。2.3.6 显象管涂敷、总装、电子枪装配，集成电路制版光刻等对洁 净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风 侧，并应在四周留有绿化场所。2.3.7 电镀、酸洗、喷漆、制版、配料、铸锻、热处理等会向大气 中排出有害气体、蒸汽、烟雾、粉尘、臭气的生产厂房，应布置在厂 区最小频率风向的上风侧，并应与厂前区、洁净度高的厂房以及人流 密集处留有一定的防护距离。2.3.8 放散大量余热的车间和厂房，宜采用单层建筑。厂房四周不 宜建披屋；确有必要时，应避免建于夏季主导风向的迎风

3、面。2.3.9 厂区内主要噪声源，宜相对集中，远离厂内外要求安静的区 域。2.3.10仓库区的布置应避开人流通道，靠近生产区及货运入口，并 应留有足够的货物装卸和汽车回转场地。2.3.11汽车库宜布置在厂区的边缘，避开人流密集处。有条件时， 可社专用入口或利用货运口出入口。2.3.12化学危险品库、油料库应布置在厂区最小频率风向的上风侧 及边远地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定。2.3.13对于氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站、锅炉房等发生 火灾、爆炸危险性大的动力站房，应布置在厂房最小频率风向的上风 侧。氢氧站、氮氧站、油库、液化石油气站等，应设置围墙和专用出 入口。各类气

4、罐、气柜、气瓶库，应布置于厂区最小频率风向的上风 侧和烟囱最小频率风向的下风侧，并应按国家现行有关规范要求留有 必要的消防间距。2.3.14 玻璃溶解生产有含铅烟气排出吋，厂房外应有足够设置净 化装置的场地。2.3.15 工厂电源配（变）电所应布置在厂区用电负荷中心、高低 压线进出方便及远离人流密集的地方，应与散发烟尘、酸气的厂房有 足够的防护距离。对于大容量的总降压站、开关所，尚应在其周围加围墙。2.3.16 对于含氟、含辂、含镉、含氢氟酸以及含各类酸碱等废水 处理建（构）筑物的布置，应靠近污染源，远离水源构筑物及空调气 入口，四周应留有必要的卫生防护距离。2.3.17 厂区道路布置应符合国

5、家现行防火规范、工业企业厂内运 输安全规程和厂区道路设计规范的规定。主耍生产厂、仓库、 区动力区的道路，应呈环形布置。厂区尽端式道路，应有足够的消防 车辆回转场地。2.3.18 厂区道路两侧植树不应妨碍行车安全。道路上部管架和栈 桥等障碍物，在干道上的净高不小于4.5m,对于通过集装箱车辆的道 路不应小于5.0mo2.3.19 工厂铁路专用线设计，应符合国家现行工业企业标准轨 距铁路设计规范的规定，不宜与人行主干道交叉；与道路交叉处， 应设平交道和标记；人流密集处应设防护栏。2.3.20 厂区应进行绿化。应在道路及围墙沿线植树，空地上种植 灌木、乔木和草皮。厂前区可布置花坛、水池以及厂标、雕塑

6、等建筑 小品。2.4生产工艺与设备的选择2.4.1工程设计应采用合理的生产组织、先进的工艺流程及生产技 术，将危险和有害因素减至最低程度。2.4.2在保证产品质量的前提下，应简化生产工艺，宜采用无毒无害 或低毒低害的原材料，采用不产生或少产生危险和有害因素的新技 术、新工艺、新设备。2.4.3电镀、喷漆、印制电路版、热处理、氢氧、氮氧、氧气、煤气、 乙烘、液化石油气生产等，危险和有害因素严重又难以治理的工程项 口，宜组织专业化协作或适当集中。2.4.4电了工业生产中，不宜使用氟氯氢作为溶剂、制冷剂、和灭火 剂。2.4.5对于危害严重的生产过程和设备，应根据具体情况捉高机械 化、自动化程度或采取

7、隔离措施、密闭式生产。2.4.6对于劳动强度较重的装卸运输以及生产过程中的半成品、成品 宜机械化、半机械化。2.4.7设备的选择应符合先进适用、安全可靠和经济节能的原则。凡危险度比较大或事故率高的生产设备，均应选用带有安全设 施并具有生产许可证的产家的产品。2.4.8非标准设备设计，必须符合国家有关生产设备、电气设备、压 力容器设备安全设计标准的规定。2.4.9常有各种机械传动装置的非标准设备及联动生产线的设计，其 机械传动装置必须同时设有防护罩。凡人员必须跨越或从下通过的联动生产线、有危及人员安全的 部位，应设置防护罩或固定安全桥。安全桥应设防护栏。2.4.10机械设备防护罩，应符合国家现行

8、机械防护罩安全要求的规定。 2.4.11输送有毒、有害、易燃、易爆、高温、高压及有腐蚀性气体或 液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法等，必须分别有密封、 耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。2.5厂房布置2.5.1厂房布置应按工艺要求做到：安全卫生，工序衔接紧密，物料 传输距离短，操作检修方便。2.5.2电镀、酸洗、热处理、配料及外延、扩散等腐蚀性、毒气、粉 尘危害比较严重的工序，应与其他的生产工序隔开布置。不同有害生 产z间应互和隔离。2.5.3危害相同的生产，宜集中或相邻布置。2.5.4对于热加工、散热设备的布置，当厂房设置天窗的吋候，应布 置在天窗的下面。2.5.5厂房内应设有原料、废料

9、及成品的存放场地。2.5.6厂房内高噪音生产与低噪音生产分开布置，并宜布置在单独的 隔间内。2.5.7对于多厂房，放散热和有害气体的生产应布置在建筑物的上 层。必须布置在下层时应采取措施防止污染上层的空气。2.5.8厂房内各种管线及风道、管沟等的布置，宜集中平行排列。地 下管沟应避免平面交叉。难以避免吋，必须做好防水处理。2.6建筑设计2.6.1工程建（构）筑物设计应符合国家现行有关建筑物结构及防火 设计规范的规定。2.6.2 一般厂房建筑应具有良好的通风和自然采光。2.6.3位于炎热地区的工业辅助建筑，宜采用通风屋顶；如条件限制, 可采取其他隔热措施。2.6.4建（构）筑物设计，应在高温和低

10、温部位设置隔热措施；易腐 蚀的部位应采取防腐蚀措施；易受油浸蚀处应采取相应的防油措施。2.6.5对于生产有毒和有害物质的产房，厂房内部应采取便于清扫、 刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。2.6.6对拟利用的旧有建筑物、构筑物，应加以安全复核。必要时应 采取相应的措施方能利用。2.6.7厂房内架空平台、走道、钢梯的设计，应方便生产操作和检修, 应符合国家现行固定式工业平台、固定式t业防护栏杆、固定 式钢直梯、固定式钢斜梯等标准的规定。2.6.8凡使用直梯的场所应采取相应的防护措施。相邻两层的直梯宜 错开设置。2.6.9厂房（建筑）管道夹层的设计，应考虑安装、检修方便和安全, 并采取必要的通风、采

11、光和防火措施。2.6.10厂房内的各种明沟道，应加设盖板。2.6.11动力机器基础宜设计为整体结构，应符合国家现行动力机器 基础设计规范的有关规定。2.6.12地震及湿陷性黄土地区的建（构）筑物安全设计，应符合国家 现行t业与民用建筑抗震设计规范与湿陷性黄土地区建筑设计 规范的有关规定。2.7辅助卫生设施2.7.1 电子工业企业应按其生产性质、人员编制以及实际需耍和使 用方便的原则，根据国家现行工业企业设计卫生标准设置浴室、 更衣室、洗衣房、开水间、休息室、丿则所以及妇女卫生间等。2.7.2 生产过程中工作服污染严重、沾染易经皮肤吸收的剧毒物质、 洁净度要求严格的厂房或车间，应设置洗衣房。2.

12、7.3 最大班女工在100人以上的工厂，厂房，车间，应设置妇女卫生 间，且不得与其他用室合并设置.2.7.4 全厂女职工人数在100人以上的工厂，应设置乳儿托儿所.乳儿托儿所的位置,应在女工比较多的厂房附近，但不得设在 有危险和放散有害物质厂房最大频率风向的下风侧建筑应保证有充 足的日照和良好的通风，并应有户外活动场所.2.7.5 辅助卫生用室的位置，应避免有害物质、高温等有害因素 的影响。3.3化学工艺安全3.3.1凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部 排风系统。使用三氯乙烯等有毒溶剂进行清洗的设备，尚应采取密闭 措施。凡使用电气的化学清洗设备，必须有良好的接地。3.3.2

13、彩色显象管用荧光粉生产中的硫化氢储罐室，应设置硫化氢气 体报警装置，并与事故排风机联锁。硫化氢控制室应保持正压。硫化氢植被反应釜的加料与放料操作，应与反应釜搅拌机联 锁。加料后启动，放料前关闭。3.3.3荫罩生产中的液氯罐储存间，应设置氯气报警装置，并与事故 排风机、废气处理装置联锁。排风吸口应靠近地面。储存间内应设起重设备及稀碱液池，池的深度应能浸没液氯 罐。3.3.4使用酸液量大的生产，宜采用管道输送酸液。管道应采取防腐 蚀防泄露措施。3.3.5凡使用氤化物的生产工艺，其排风排水系统必须与酸性排风排 水系统严格分开。3.3.6因生产事故可能发生化学性灼伤的工作间，应设置紧急冲淋装置及洗眼器

14、，并保证不间断供水。3.4机械加工安全 3.4.1机械加工宜采用自动化、或自动或半自动机床、数控机床、加工中心、重件机械化翻转吊运装置和切屑清理机械化装置。3.4.2机床布置应利于采光，操作人员不应受日光直射。为防止零件或切屑等世出伤人、冷却液飞溅影响其他设备工作，必要时应设置扌当 板。3.4.3木工机械必须设置安全防护装置，应有送料夹具或推板。3.4.4各种碾压机械的施压部分，应安装可靠的安全装置。3.4.5压力机宜采用进出料机构代替手工操作。当只能手工操作时,应采取安全措施。3.5热加工安全3.5.1玻璃池炉、隧道窑、退火炉、烧结炉等使用的液体或气体管路, 应根据不同情况设置减压阀、安全阀

15、、自动调节系统、锤峰口、取样 口、报警显示和自动切断装置。窑炉工作区应设置防火、防毒、防爆 等设施。3.5.2窑炉等加热设备应进行隔热。人可能触及的设备表面温度不得 超过50度。否则应加隔热保护装置。3.5.3电焊作业点宜隔离。小件焊接宜设置固定作业点。无条件时也 宜设置屏障，其高度不得小于2m,并距离地面有50100mm的间隙。3.5.4气焊、气割宜采用瓶装溶解乙快；无条件时可采用乙烘发生器, 但必须带阿火防止器和防爆装置。乙烘发丰器宜安装在室外或通风良 好的场所，禁止安装在明火的车间内。3.5.5铸造车间设备的安全，可按照机械工业职业安全卫生设计规 定的有关条文执行。3.5.6玻璃池炉应设

16、置放料溜槽，在槽边设置冷却水供应点，并应在 附近设置消火栓。3.5.7注塑机按钮台上应设置紧急停止开关；加热装置应绝缘可靠， 裸露的电阻丝必须设置防护措施。3.8化学危险品的储存与输送3.8.1化学危险品的储存与输送，应符合国家现行化学危险品安全 管理条例的规定。3.8.2化学危险品必须存放在专用仓库、专用场地或专用储存室（柜） 内，并由专人管理。3.8.3化学危险品应按其类别、性质、分类、分堆、分间储存。性质 相抵触的化学危险品严禁混放在一起。3.8.4化学危险晶库建筑设计，应符合安全、防火规定。应采取隔热、 通风、防止阳光直射措施，保证库内空气流通、干燥凉爽。应避免可 燃气体积聚，并根据物

17、品的种类、性质，采取相应的防爆、泄压、防 火、灭火、防雷、报警、调温、防潮、消除静电、防护围堤等安全措 施。3.8.5化学危险品库建筑耐火等级不应低于二级，防火间距不应少于 30m。消防通道必须保证畅通。3.8.6易燃易爆品库房不宜安装电器设备，必须装设吋，应采用相应 等级的防爆电器及照明设备。3.8.7储存或输送化学危险品的设备、管理及附属仪表、器材等，应 根据危险介质的特性，釆取必要的防泄漏、防腐蚀的措施。输送腐蚀 性较强液体的管道，不应敷设在其他管道的上方，并不宜直接埋地敷 设。3.8.8储存具有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏 紧急处理设施。其基础及周围地面，应设置防腐蚀

18、处理。3.8.9对于输送具有较强腐蚀性的液体的化学药剂泵，在其填料函或 机械密封圈、法兰、阀等易喷射泄露处，应设置适当的安全防护罩。3.8.10储存腐蚀性或有毒介质的设备、管道放空吋，应加以收集或处 理，不得任意排放。3.8.11储存氧化剂、易燃易爆物质的库房，应采用易于清洗、撞击或 摩擦时不会产生火花的地面。4.2水处理站421纯水站、软化水战和废水处理站的酸碱储存设备，应有防腐蚀、 事故排放等安全措施，并应有检修和清洗措施。装卸和储存设备附近 应设防围堤，并应设置紧急喷淋和洗眼设施。4.2.2酸碱贮存槽，计量筒等顶部应设置酸雾吸收器或通气管。4.2.3装卸或输送浓酸碱液体时，宜采用负压抽吸

19、、泵输送或自流方 式。当采用压缩空气输送时，应有减压和稳压装置，酸碱罐的耐压强 度应经过测试。4.2.4需加氯消毒处理吋，加氯间应与其它工作间隔开，应设有下列 安全措施：424.1应设直接通向外部的门，门应向外开；4.2.4.2应备有带氧气瓶的防毒面具；4.2.4.3加氯机、动力盘等不宜与氯瓶布置在同一房间内；4.2.4.4加氯间内应采用防腐灯具。4.2.5加氯间和氯库应设置机械通风，换气次数每小时不应小于8次,通风和照明的开关应设在加氯间外。加氯间应与经常有人工作的车间和居住房间保持一定的距离。加氯间和氯库内宜设置测定空气中氯气浓度的仪表和报警措施，并与 排风机联锁。4.2.6经常有人通行的

20、地方，酸碱液管道不应架空敷设。如架空敷设 吋，必须采取防护措施了。4.2.7在地面上不便操作检修的水处理设备和阀门处，应设置扶梯、 平台。设备、阀门较重时，应设置起吊装置。4.2.8水泵、压缩空气机、鼓风机等高噪声设备，宜布置在单独隔间 内，并采取消声、隔振措施。5防暑降温5.1 一般规定5.1.1电子工业生产中，电子元器件、电子材料、电子玻璃、电子陶 瓷、磁性材料，以及铸造、锻造、热处理、动力站等生产高温区，应 采取防暑降温措施。该类车间或生产工段必须从工艺、总图、建筑和通风等方面采取综合 性预防和治理措施。5.1.2热源布置应符合下列原则：5.121热工件宜放在车间外面；5.1.2.2热源

21、宜布置在天窗的下方；5.1.2.3厂房通风以穿堂风为主吋，热源宜布置在夏季主导风向的下风 侧；5.1.2.4便于对热源采取隔热措施；5.1.2.5便于对热作业点降温；5.1.2.6发热设备，在不影响工艺及流水线生产时宜集中布置。5.1.3采用自然通风为主的车间，宜按夏季有利方位布置，主要进风 侧不得加建进风的辅助建筑物。5.1.4高温车间宜采用避风天窗，端部应予封闭。天窗与侧窗宜设开 闭机构。5.1.5夏季口然通风的进风窗，其下沿距室内地面的高度应在0.3 1.2m。自然通风窗应有足够的开启面积。5.1.6高温车间的屛架下弦高度：有桥式起重机情况下，应不低于8m； 无桥式起重机情况下，应不低于

22、6m。5.1.7车间内工作点和工作区的夏季空气温度，应符合国家现行工 业企业设计卫生标准的规定。5.2防暑降温措施5.2.1长时间内直接受辐射影响的工作区，当辐射照度在350w/m2以上 吋，应采取隔热措施；受辐射热影响较大的工作室，也应采取隔热措 施。5.2.2封口机、排气机、老练机、熔接机、烤管机、烧氢装置、高压 釜、热处理炉、退火炉、烧结炉等设备和钩钳生产热加工区，应采用 通风排热措施。5.2.3玻璃池炉、熔铅装置、敷铜箔板厂层压机、大型烘箱、耐火材 料预热炉等工作区，宜采用天窗或高侧窗排热。工作区应有良好的自 然通风。热源区与非热源区，宜采用隔热墙隔开。5.2.4屮心实验室的热工间，宜

23、采用全面通风，工作点宜采用风扇， 散发热量的设备可采用排风罩。5.2.5热处理高频间除局部排风外，诡应有全面通风。5.2.6玻璃压机、大型炉窑等高温工作区，宜设置工人休息室，并采 取降温措施。527电子工业生产的封口、排风、老练、熔接、烤管、退火、烧结、 扩散、被炭、黑化以及电子玻璃生产中的热加工区等固定工作点，应 采取送冷风降温。5.2.8炎热地区，冷加工车间人员固定或密集的工作点宜设置风扇。5.2.9局部送风应符合下列规定：5.2.9.1工作点的空气温度和平均风速，应按国家现行工业企业设计 卫生标准执行；5.2.9.2不得将车间的有害物质吹向人体；5.2.9.3室内送风的气流方向，宜从人体

24、的前侧一方倾斜吹到头、颈和 胸部。送到人体的气流宽度宜采用lm；车间散热量小于23w/m2的轻 作业,可采用0.6m。6防尘防毒6.1 一般规定6.1.1电子工业生产中，半导体材料制备、晶片腐蚀、晶片掺杂、外 延、化学气相淀积、离了刻蚀，真空器件零件清洗、阴极热丝制备、 涂屏、充贡,塑料、陶瓷料、玻璃料、磁性材料等的破碎、配制、加 工、铸造、热处理、电火花加工、磨削加工、化学处理、电镀、喷砂、 油漆，以及铅蓄电池生产屮的铅尘作业等工作区，应采取综合措施防 止尘、毒危害。6.1.2应采用不产生或少产生尘、毒的工艺和设备。凡生产过程中， 散发有毒有害气体、液体、粉尘、酸雾、恶臭、气溶胶等物质的工序

25、, 宜采用密闭生产工艺和设备。6.1.3有下列情况之一时，排风不得合为一个系统：6.1.3.1混合后能形成毒害更大的混合物或化合物吋；6.1.3.2混合后易使粉尘积聚时；6.1.3.3散发粉尘及有害物质工作间与一般工作间。6.1.4产生严重尘、毒工作区的布置，应使其他工作区少受污染，并 应与其他工作区隔开。6.1.5玻璃、陶瓷、磁性材料配料间的设计，可按玻璃纶产配料车 间防尘技术规程执行。6.2尘毒控制6.2.1散发粉尘的作业，在不影响产品质量前提下宜采用湿法配料或 以颗粒料代替粉料。6.2.2产生尘、毒的设备，应采取整体密闭、局部密闭或小室密闭措 施。不能密闭时，应设置排风罩。6.2.3粉粒

26、料输送应采用气力输送、斗式提升机、螺旋输送机、溜槽 等密闭性较好的设备。当采用带式输送机时，宜密闭合排风，并应设 粘料清除装置。6.2.4应减少散装粉粒料转运点的落差高度。落料点除应密闭外，还 应采取消除或降低正压的措施。6.2.5在符合工艺耍求前提下，应减少粉粒的中转环节，缩短运输距 离。6.2.6车间内装卸散装的干砂、干石英砂、焦炭、煤粉、粘土等粉粒 料，不宜使用抓斗、翻斗车及卡车。6.2.7干式除尘器应配备密封良好的卸灰阀和卸灰容器。6.2.8磷烷、碑烷、硅烷、硼烷、三氯氢硅等有毒、易燃、易爆气体 的钢瓶，必须放置在设有排风防护装置的金属柜内。不工作时，应有 口动定时排风系统。6.2.9

27、使用碑烷、硼烷、硅烷、-:氯氢硅、氨、磷烷等有毒工作间， 宜设报警装置及事故排风。报警装置宜与生产设备、操作阀联锁。不 工作吋，亦应定吋进行排风。6.2.10存放粉粒状及有毒材料的容器，应具有良好的密封性和耐腐蚀 性。6211储存和使用氧化物、碑化物等剧毒物品的工作间，其墙壁、顶 棚和地面，应采用不吸附毒物的材料，并应便丁清洗或收集。室内管 线宜暗敷。分发毒物处应设置洗涤池和通风柜。6.3尘毒排除631凡有烟、尘、挥发性溶剂逸出的烘箱、窑炉炉口宜设排风罩。6.3.2破碎设备应按其类型和进、卸料情况设排风罩。6.3.2.1频式破碎机上部进料口应设密闭排风罩；当物料落差小于lm 时，可只设密闭罩，

28、不排风。下部卸料口，当落差小于lm且上部有 排风时，可只设密闭罩，不排风；否则应排风。6.322双辘破碎机的进、卸料口均应密闭并排风。进料落差小于lm、 密闭较好的小型设备，可只在下部排风。6323大型球磨机的旋转滚洞应设在全密闭罩内并排风。用带式输送机向球磨机给料时，进料口及球磨机本体密闭罩均应排风。6.324轮辗机应设密闭围罩并排风。6.3.3筛选设备的卸料点和筛上物落料处，应根据具体情况设排风罩。其本体部分应按设备类型设置并排风。6.3.3.1振动筛宜在筛子上设密闭排风罩。633.2滚筒筛应设整体密闭罩并排风。6.3.3.3多段筛宜在筛箱侧面设窄缝侧吸罩。罩口风速控制在5m/s以 内。筛

29、箱顶部应设可开启盖板。6.3.4混料机应采用密闭围罩并排风，或在进、出料口分别设置排风 罩。6.3.5石英砂干燥设备卸料口应设全密闭罩并排风。6.3.6落砂机、混砂机、喷丸、喷丸室（机），喷砂室（机）、清理滚 筒等设备均应采取排风措施。6.3.7斗式提升机输送物料吋，当提升高度小于10m,可只在下部排 风。提升高度大于10m时，则上下部均需排风。6.3.8压送系统储存粉料的密闭料仓，应在顶部设泄压除尘滤袋，或 将袋式除尘机组直接座落在料仓顶盖上。6.3.9袋装粉料的拆包、倒包应在有负压专门装置中进行。6.3.10热处理盐浴炉和淬火油槽应设围罩或侧吸罩。6311印制板生产中，锯床、数控钻（铳）床

30、、开槽机、倒角机、贴 膜机、蚀刻机、去膜机、显影机、凹蚀设备、电镀设备、曝光机、紫 外光固化机等散发粉尘、酸碱蒸汽或臭氧等的设备，均应采取排风措 施。6.3.12电镀槽、酸洗槽、除油槽、腐蚀槽及其他化学槽等应设槽边侧 吸罩或吹吸式罩。蓄电池极板化成槽应设上部排风罩或侧吸罩。6.3.14批量生产的喷漆作业应在排风的喷漆室或喷漆柜内进行。大件 生产的地喷漆工作区应有良好通风。烘干箱（室）应单独设置排风系 统。6315产生人量油雾的螺纹磨床、齿轮磨床、硅片及陶瓷切片机、油 真空泵排出口等应设排油雾装置。6.3.16毒气瓶柜、化学气相淀积设备、外延设备、离子刻蚀设备、有 害元素掺杂扩散炉和离子注入机等

31、使用有害气体的作业点，应设排风 装置。6317半导体圆片粘片机、硅片处理系统、熔蜡锅，荧光粉的配制和 涂复，在流焊、波峰焊、浸锡焊锅、气相清洗、红外热熔机、热风整 平机等产生有机溶剂蒸气的工作点，应设排风装置。6.3.18电焊、气焊、等离子切割、熔铅锅等产生金属蒸气的工作点， 应设排风装置。6319彩色显象管管颈玻璃热加工、芯柱压制、高铅玻璃电真空器件 的热加工、熔制铅玻璃池炉观察孔等处，应设置强排风。6320使用滴汞电极的极谱仪时，应釆用专用的极谱工作台，工作间 地坪须作成深色，工作台附近地面应设一个收集汞的凹坑，地坪耍有 坡向凹坑的坡度。6321荧光灯、闸流管等的充汞设备必须设置排风。其工

32、作间应设全 室通风；工作间内应设汞清洗收集槽；地坪、顶棚、墙面材料应便于 冲洗；地坪应有3%坡度，坡向汞清洗收集槽。6322微波功率器件的氧化披的工作间，室内管线应暗敷，室内装修 材料应便于水冲洗，工作间附近应设淋浴间。6.3.23可能突然产生大量有毒气体的工作区，应设事故排风装置。6324蓄电池生产的铅、镉、镰等有毒粉尘工作区，应有给排水设施, 使地面经常保持湿润并能用水冲洗。其它粉尘工作区，在生产许可条件下，地面亦宜保持湿润和能用水冲 洗。6325散发有毒气体的生产废水，不得采用明沟排水。7洁净室安全卫生7.0.1洁净厂房的防火和疏散应符合国家现行，建筑设计防火规范 及洁净厂房设计规范的规

33、定。建筑耐火等级不应低于二级。隔墙、 吊顶、构配件及装饰材料，均应采用不燃或经过防火处理的材料。7.0.2洁净厂房每一生产层、每一防火分区或洁净区的安全出口数量, 均不应少于两个。但符合下列情况者，可只设一个出口：7.0.2.1甲、乙类生产厂房，每层总建筑面积不超过50n?,且同一时 间内生产人员总数不超过5人；7.0.2.2丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行建筑设计防火规范 规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不得经过曲折的人 员净化路线。7.0.3生产屮产生或使用易燃易爆物质的工作区，宜集屮布置，且宜 布置在靠外墙侧。墙外不应是交通干道及人员集中的场所。7.0.4有甲、乙类

34、火灾危险与非甲、乙类相邻的工作区之间，或有防 火分隔要求的，应设防火隔断。7.0.5生产中产生高噪声、大发热量、较多粉尘、有害气体的工作区, 应采取局部措施加以控制或其他工段隔断，防止有害物质进入洁净 区。7.0.6洁净室正常工作吋，其噪声级不应超过70db (a)；当设备噪声 较高消除有困难时，可适当放宽，但不宜大于75db (a)o当工艺设 备不工作时，乱流洁净室噪声级不宜超过60db (a),层流洁净室噪 声级不宜超过65db (a)o7.0.7洁净室的新鲜空气量，按最大班工作人数，每人不应少于40m3/ho7.0.8洁净室中产生的有害气体，应优先采用局部排风排除。局部排 风宜釆用密闭排

35、风罩或通风柜。当不能采用局部排风排除，或在局部 排风排出后仍有较多有害物散发在室内时，应设全面排风并增加室内 新鲜空气量。7.0.9需局部排风的设备，宜设在工作区气流的下风侧。7.0.10对于可能突然放散大量有害或可燃气体、蒸汽、汽溶胶的工作 间，应设在洁净室和室外便于操作的地点。事故排风应与报警装置联 锁。7.0.11对设有贵重设备、仪器、物料或火灾危险性较大的洁净室，以 及当发生火灾时消防人员难以进入扑救的技术夹层和技术夹道等部 位，应设置自动灭火系统。7.0.12设有二氧化碳等灭火装置的洁净室，当室内无排风系统时，应 设置灭火后排除废气的排风系统，其换气量宜采用每小吋4次。7.0.13洁

36、净室混合照明的照度，不应低于7501xo 一般照明的照度不 应低于1501xo通道、休息室和暗房工作室的照度可以适当降低。7.0.14洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应 急安全出口的疏散标志灯。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。7.0.15洁净厂房内应设置火灾探测器自动报警。报警装置应设置在值 班室内，供电应可靠。7.0.16洁净厂房内的配电设备，应选择不宜积尘的设备，并宜暗装。 大型配电设备不宜设在洁净厂房内。7.0.17洁净厂房内的管线宜暗装敷设，管线间距应大于loommo管材 应采用非燃烧材料。7.0.18洁净厂房内，用于排除含酸、碱腐蚀性气体且穿越其它工作间 的风

37、管，应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管，或不锈钢风管。 用于排除硅烷、氟化磷等特别容易自燃气体的风管，宜采用不锈钢风 管。7.0.19洁净厂房内的各种管道，应涂明显的标志色。各种装置、阀门 及管道接口必须严密。7.0.20洁净室内化学品的贮存量不应超过两天的用量。各种气瓶应集 屮设置在洁净厂房外。当用气量每天不超过一瓶时，气瓶可设在厂房 内。8电离辐射和电磁辐射防护8.1电离辐射防护一般规定8.1.1电子工业中大功率真空开关管和工业探伤用x线管测试、气体 放电开关管注钻60、荧光灯起动器涂氧化铀、大功率发射管和微波 功率管高压试验，以及y射线探测仪计量定标等各类电离辐射防护设 计，应按现行

38、放射卫生防护基本标准和辐射防护规定执行。8.1.2电离辐射防护设计必须遵守辐射防护三原则：实践的正当性、 辐射防护的最优化和个人剂量的限制。应对正常照射度加以限制，防 止发生非随机性效应，并将随机性效应的发生率降低可以接受的水 平。8.1.3电离辐射防护设计标准应严于表&1.3的基本限值。宜取基本限 值的0.3。电离辐射年剂量当量限值(基本限制)表8.1.3效应类别受照部位个人年有剂量当量限制(msv)辐射工作人员公众成员随机效应全身均匀照射w50非均匀照射w50非随机效应眼晶体15015其他单人器官或组织50050 剂量当量限值不包括医疗照射和天然本底照射。 若按终身剂量平均的年有效

39、剂量当量不超过lmsv (o.lrem),贝恠 某些年份允许以每年5msv (o.5rem)作为剂量限值。8.2电离辐射防护措施8.2.1电离辐射工作室的设置，必须充分注意对周围环境的辐射安全, 应遵守下列规定：821.1应远离居民点、宿舍区等行人密集的滞留区。821.2应避开人流密集的车间主要出入口、主通道。8.2.1.3宜布置在人流较少、位置较偏僻的区域。8.2.2电离辐射照射室，宜布置在厂房外部，与厂房毗连；若为多层 厂房，宜布置在底层或地下室。电离辐射控制室等辅助用房应布置在 与照射室邻近的非主照射方向。8.2.3防护外照射，应采用设置屏蔽、控制照射时间和确保人与放射 源之间有适当距离

40、等防护措施。8.2.4电离辐射屏蔽防护，应根据放射源的强弱和工作场所对防护的 要求，设置全室屏蔽或局部屏蔽。8.2.5电离辐射照射室屏蔽防护设计，应符合下列要求：825.1应采用全室屏蔽，对工作间六面(四周、顶和地面)均应设置 屏蔽体。工作人员透过铅玻璃观察。&2.5.2必须对现有的和预期的电离辐射源的各种照射同时考虑。825.3屏蔽材料宜采用铅板，硫酸锁墙板或混凝土。s.2.5.4凡是一次射线能直接照射到的墙体，应按主照射屏蔽体的要求 设计；其他部分可按散、漏辐射防护要求设计。s.2.5.5屏蔽体上不允许有直通孔洞或缝隙。825.6必须在设计图中标明辐射源在室内允许移动的范围。s.2

41、.5.7屏蔽防护门应尽町能设置在次照射屏蔽墙体上。防护铅门的设 计，应保证整体性，不得有缝隙，表面具有一定刚度。其厚度在屏蔽 效能上应与所在屏蔽墙体等效。门体与门洞之间必须保证有效的覆盖 宽度。防护门与设备高压电源之间，应设置安全联锁装置。8.2.5.s屏蔽防护室应设置单独接地系统，接地电阻应与辐照装置接地 要求一致。s.2.5.9屏蔽防护室外不得跨建筑伸缩缝。8.2.5.10屏蔽防护室外，应设置醒目的指示灯和警戒信号；室内应设 置预警信号装置。8.2.6对局部屏蔽，应设置铅玻璃防护罩或移动式铅屏。其工作间应 采用重晶石粉或铅粉复合板进行防护。工作人员应穿戴个人防护用 具。8.2.7在有可能发

42、生空气污染的区域，必须设置全室或局部的通风系 统。其换气速率、负压大小和气流组织应能防止污染的回流和扩散。 8.2.8当需要加大放射源的活度或提高辐射剂量率、增加设备数量时, 应对原有屏蔽防护设计进行复查，并采取补强措施。8.2.9废源应按当地环境保护部门或放射卫生防护部门的规定，统一 处理。8.3电磁辐射防护一般规定8.3.1电子工业屮大功率整机调试、雷达试验场测试、微波管热测以 及高频加热设备、介质加热设备和射频溅射设备等各种电磁辐射防护 设计，应按国家现行电磁辐射防护规定、环境电磁波卫半标准、作业场所超高频辐射屮生标准及作业场所微波辐射屮生标准 执行。&3.2实施电磁辐射防护，应

43、以抑制电波泄漏辐射和辐射传播为主。 必须控制设备的泄漏电平，增加电波的传播损耗。833电磁辐射防护设计标准，应符合表8.3.3环境电磁波容许辐射 强度分级标准的要求。环境电磁波容许辐射强度分级标准表8.33频率范围(mhz)容许强度居民区作业区0.1 30<10 (v/m)25 (v/m)30300<5 (v/m)12 (v/m)30030000010 ( u w/cm2)40 ( u w/cm2)混合波段按主要频段场强；若各频段场强分散，则按复合场强加权确定。8.4射频和微波防护措施8.4.1电磁辐射防护，应采用设置屏蔽、吸收、控制受照时间、以及 增大与辐射源的距离等防护措施。8

44、.4.2电磁辐射屏蔽防护，应根据需要设置局部屏蔽或全室屏蔽。8.4.3 一般情况下，射频和微波设备电磁辐射防护应采用局部屏蔽，并应符合下列要求：8.4.3.1应保证设备外壳电气连续。外壳金属板上的螺丝连接缝和孔 洞，宜设置导电衬垫条带和金属网条带增强屏蔽。s.4.3.2设备射频馈电系统的波导法兰盘连接缝，宜采用金属丝箔带增 强屏蔽。s.4.3.3高频加热设备感应线圈等强辐射的开口部位，宜采用铝板或钢 网局部屏蔽并接地。843.4微波器件热测台，宜采用铜网（或铜网加吸波材料）局部屏蔽。843.5必须保证屏蔽体与被屏蔽的部件（场源）之间有足够的间距。 屏蔽体材料采用铜、铝等非磁性材料。8.4.3.

45、6设备应尽可能在匹配状态下运行。&4.4射频和微波设备电磁辐射防护，在卜列情况下应采用全室屏蔽:8.4.4.1局部屏蔽实施困难，并影响工作效率。s.4.4.2必须保证周区环境的电磁干扰噪音低电平。8.4.5全室屏蔽必须对工作间六面设置屏蔽体。对遥控工作间，屏蔽 室应设屏蔽观察窗。8.4.6对有人操作的工作间，设计时应在屏蔽室内壁敷设电波吸收材 料或在是室内移动式电波吸收屏。工作时，设备应端接假负载，工作 人员应穿戴个人防护用具。8.4.7辐射器调试间应为具有屏蔽性能的电波暗室，并应在其邻近操 作人员的屏蔽室。无暗室的简易辐射测试，可石设置操作人员的屏蔽 笼，屏蔽笼不应设在主瓣方向。当辐

46、射器付瓣可能照射到屏蔽笼外壁 时，应设电波吸收屏遮护。8.5试验场辐射防护措施8.5.1应定期测量工作人员活动区域的微波辐射电平。对功率密度接 近微波照射场卫生标准的区域（临界区域），应设置醒目的警告信号 或标志。对超过微波照射卫生标准的区域（危险区域），应设置围障。8.5.2试验过程屮宜采用仿真负载。当必须进行自由空间辐射时，天 线应安置在使其波朿远离或避开工作人员活动的区域。8.5.3试验场应设置测试试验t作用的屏蔽室。8.6电磁屏蔽室设计8.6.1防护电磁辐射用屏蔽室，英语降低环境电磁t就噪音和屏蔽兼 容。8.6 2屏蔽材料应选择比放射损耗率人或比吸收损耗率大、耐电化腐 蚀性好、便于施工

47、和价格便宜的金属材料。8.6.3屏蔽室不得跨建筑伸缩缝。8.6.4应保证屏蔽壳体的电气连接，不得在屏蔽体上任意设置孔洞。865板式屏蔽室应设置通风或空调装置。在风管穿越屏蔽体处，应 设置波导型电磁滤波器。滤波器四周应与屏蔽体连续满焊。滤波器与 室外风管连接，应通过一段非金属软管，其长度因为风管直径的2 3倍。8.6.6引入屏蔽室的气体动力管道，应通过焊在屏蔽体上的气体电磁 滤波器。滤波器与室外管道连接，应采用绝缘连接器。8.6.7引入屏蔽室的水管道，应通过焊在屏蔽体上的液体电磁滤波器。滤波器与室外管道连接，应通过一段非金属管。对蒸憾水，其长度为l3m；对一般水质的水，其长度应大于10m。8.6

48、.8屏蔽室内不宜设置汽、水采暖装置。8.6.9屏蔽门设计，应既保证门的开、关轻便，又保证门在关闭时所 有弹簧片均处于最佳接触状况。必须保证手柄转动时，均能与门扇保 持良好电气连续。在满足门扇刚度情况下，应尽量减轻门扇自重。8.6.10电磁屏蔽室必须装设电源滤波器，应符合下列要求：8.6.10.1每根电源向（包括零线）都必须设置电源滤波器。8.6.10.2滤波器应装设在电源线引入屏蔽室处。对有源屏蔽，滤波器 应装设在屏蔽室内；对无源屏蔽，滤波器应装设在屏蔽室外。8.6.10.3滤波器外壳应紧贴屏蔽体，并在该处接地线。8.6.11屏蔽室应接地。屏蔽室接地应符合下列要求：8.6.11.1应采用单点接

49、地。8.6.11.2接地引线应采用扁状导体。其长度应尽可能短，一般控制在 1/4波长以内。接地引线长度大于1/4波长时，应对接地线采取屏蔽 措施。&6.11.3应避免接地线与电力线平行敷设。8.6.11.4对有源屏蔽和无源屏蔽应分别设置接地引线，可共接地极。8.6.11.5接地极应避免埋设在间作据防雷接地装置附近。接地极电阻, 一般宜在4q以下；对特殊要求的屏蔽室，接地极电阻为1q。9.1 一般规定 9.1.1电子工业屮，应对激光打孔、激光焊接、激光修值、激光定位、 激光划片、激光退火激光加工生产，以及激光信息传输、显示、参数 测量、科学研究等按激光设备的类别采取相应的安全防护措施。9

50、.1.2激光辐射安全防护设计，应按国家现行激光产品的辐射安全、 设备分类、要求和用户指南执行。9.1.3激光设备按其危害增大的顺序，通常分为四类：1类是固有安全的。2类 主要指发対可见光（波长400700mm）的低功率激光产品，辐 射型式是连续波或脉冲。当照射时间小于或等于0.25s时，系统输出 功率或能量不超过1类激光设备的可达发射极限（aed）值，连续波 输出功率可达lmwo3a类 其光滑范围 在400700nm内，连续波输出功率不超过5mw, 对重复脉冲及扫描激光产出输出功率不超过2类激光设备可达发射 极限值的5倍，然而可见光束任意电点的辐射照度不许超过25wm2, 其他光谱范围的激光辐

51、射不许超过1类激光设备可达发射限值的5 倍。3b类连续激光输出功率不超过0.5w,脉冲激光辐照量必须小于105j m34类为高功率设备，其输出功率超过3b可达发射极限值。9.2防护措施9.2.1激光辐射安全防护措施应视激光设备的类别、波长、平均输出 功率和极限曝光时间、脉冲激光器的每个脉冲总量（或峰值功率）、 脉冲宽度和脉冲重复频率等确定。922激光设备的选择，应符合以下要求：922.1应选择具备良好屏蔽性能及能严格控制射束发射度的设备。9.2.2.2激光射束靶须耐火性能良好。9.2.2.3应设有联锁装置及报警装置。9.2.3除1类设备处，其余激光设备必须放置在专门房内，作业地点 应当处于关闭

52、状态，非操作人员不准进入。激光室外应设有安全警告 牌及红色指示灯，室内应设置高压电源总开关。9.2.4激光室内墙面和天花板应涂刷浅色无光泽涂料；地面铺深色不 反光的橡皮或地板；窗用毛玻璃，并应有足够照度。9.2.5激光设备的安装，应使其射束的传播途径不处于人眼视线范围内，射线平面一般应低于092m或高于2m。926应在高能量的激光设备射束靶上方适当位置装设排风罩。9.2.7易燃及易爆品必须远离激光设备（尤其是4类激光设备）。9.2.8在室外使用2类以上的激光设备时，应根据激光束的发散角、 输出能量、光束直径、大气衰减系数等因素确定激光危害区。在激光 危害区内激光设备工作时，必须采取安全防护措施

53、。10噪声控制10.1 -般规定10.1.1在电子工业工厂设计中，应对以下生产车间及站房进行噪声控 制；10.1.1.1显象管玻壳厂成型热加工工序、陶瓷厂原料加工车间、磁性瓷材料厂的球磨和砂磨机间等；10.1.1.2喷砂间；10.1.1.3真空镀膜机间、使用真空泵的工作间，电了器件的排气间， 超声波清洗等；10.1.1.4微波器件生产中的400hz电机房；10.1.1.5机械热加工：铸造车间、锻工间等；10.1.1.6机械冷加工；冲压车间、镀金车间、冷徹车间、木工车间、 磚钮丝厂的旋锤间等；10.1.1.7压缩空气战、氢氧站、氮氧站、冷冻站、风机室、水泵房、 柴油发电机房以及各类高噪声试验室等。10.1.2噪声控制设计应符合国家现行工业企业噪声控制设计规范 及卫生部、国家劳动总局颁布的工业企业噪声卫生标准的规定。10.1.3各类生产车间、站房及作业区的噪声级（除脉冲声外），不得 超过表10.1.3所列限制值。10.1.4设计中应采用低噪声生产工艺和设备。当达不到噪声限制值时, 应分别釆取隔声、吸声、消声、隔振、阻尼、或综合控制措施。10.1.5对于某些高噪声的车间或作业区，当降噪设计尚不能有效控制 噪声时，可适当采用个人防护用品，或适当缩短工作时间。102车间工艺设计1021高噪声设备宜集中布置。高噪声工段与低噪声工段宜分开布置。10.2.2工艺设计中应釆用行之有效的低