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文档简介
1、电子探针电子探针(EPMA-1600) Electron probe microstructure analysis电子探针o1 结构o2 操作 于凤云一 结构控制控制 处理处理 接口接口用于观察用于观察 主机主机电子枪电子枪备用抽真空备用抽真空样样 品品射线检测器射线检测器分光分光(色散)晶体(色散)晶体光学光学观察系观察系自动自动二 操作o1 装样品o2 确认实验位置o3 设置参数实验数据处理1 装样品1)实验样品要求样品范围样品大小样品表面导电性和喷镀截面包埋粉末样品强磁性样品1 装样品2)工具1 装样品3)把样品装到样品台里 1 装样品4)把样品台装到样品室里2确认实验位置2确认实验位
2、置3设置参数实验数据处理电子探针检测手段有:1)全元素点分析2)定量点分析3)线分析4)面分析过程:主菜单参数设定打开具体实验菜单设置菜单实验数据处理带有、标志的菜单必须右击;用键盘输入文件名等参数时必须敲回车。1)全元素点分析主菜单参数设定1)全元素点分析o打开具体实验菜单设置菜单实验带有、标志的菜单必须右击;用键盘输入文件名等参数时必须敲回车。1)全元素点分析数据处理带有、标志的菜单必须右击;用键盘输入文件名等参数时必须敲回车。2)定量点分析主菜单参数设定打开具体实验菜单设置菜单实验实验数据处理3)线分析主菜单参数设定打开具体实验菜单设置菜单实验实验数据处理4)面分析主菜单参数设定打开具体实验菜单设置菜单实验实验数据处理注意:
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