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文档简介

1、会计学1电子探针式测量电子探针式测量 结构组成结构组成电子光学系统电子光学系统扫描系统扫描系统信号探测放大系统、信号探测放大系统、图像显示和记录系统图像显示和记录系统真空系统真空系统供电系统供电系统第1页/共16页n组成:组成:电子枪、电磁透镜组、物镜光阑和样品室等电子枪、电磁透镜组、物镜光阑和样品室等n作用:作用:获得扫描电子束获得扫描电子束n扫描电子束应具有扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直较高的亮度和尽可能小的束斑直径径电子光学系统电子光学系统第2页/共16页第3页/共16页样品室样品室第4页/共16页扫描系统扫描系统p 作用:作用:使电子束偏转,并在样品表面作有规则使电子束偏

2、转,并在样品表面作有规则的扫动。同时获得同步扫描信号。的扫动。同时获得同步扫描信号。p 通过改变入射电子束在试样表面通过改变入射电子束在试样表面扫描的幅度扫描的幅度,可获得所需可获得所需放大倍数放大倍数的扫描像。的扫描像。p 扫描线圈一般放在扫描线圈一般放在最后二透镜之间最后二透镜之间,扫描电子,扫描电子显微镜采用显微镜采用双偏转扫描线圈。双偏转扫描线圈。第5页/共16页信号探测放大系统和图像显示记录系统信号探测放大系统和图像显示记录系统 作用:探测收集作用:探测收集试样在入射电子束作用下产试样在入射电子束作用下产 生的生的物理信号物理信号,然后经视频放大,作为显像系统,然后经视频放大,作为显

3、像系统的的调制信号调制信号,最后在荧光屏上得到反映样品表面,最后在荧光屏上得到反映样品表面特征的特征的扫描图像扫描图像。 二次电子、背散射电子、透射电子的信号都二次电子、背散射电子、透射电子的信号都可采用可采用闪烁计数器闪烁计数器来进行检测来进行检测。第6页/共16页真空系统真空系统为了为了保证真在整个通道中只与试样发生相保证真在整个通道中只与试样发生相互作用互作用,而不与空气分子发生碰撞,因此,而不与空气分子发生碰撞,因此,整个电子通道从电子枪至照相底板盒都,整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内,一般真空度高于必须置于真空系统之内,一般真空度高于1010-4-4Torr Torr 。第7页/共16页电源系统由稳压、稳流及相应的安全保电源系统由稳压、稳流及相应的安全保护电路所组成,其作用是护电路所组成,其作用是提供扫描电子提供扫描电子显微镜各部分所需要的电源显微镜各部分所需要的电源。供电系统供电系统第8页/共16页S440S440立体扫描电子显微镜立体扫描电子显微镜桌上型桌上型TMTM10001000扫描电子显微镜扫描电子显微镜 第9页/共

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