电子探针式测量PPT学习教案_第1页
电子探针式测量PPT学习教案_第2页
电子探针式测量PPT学习教案_第3页
电子探针式测量PPT学习教案_第4页
电子探针式测量PPT学习教案_第5页
已阅读5页，还剩11页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、会计学1电子探针式测量电子探针式测量 结构组成结构组成电子光学系统电子光学系统扫描系统扫描系统信号探测放大系统、信号探测放大系统、图像显示和记录系统图像显示和记录系统真空系统真空系统供电系统供电系统第1页/共16页n组成：组成：电子枪、电磁透镜组、物镜光阑和样品室等电子枪、电磁透镜组、物镜光阑和样品室等n作用：作用：获得扫描电子束获得扫描电子束n扫描电子束应具有扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直较高的亮度和尽可能小的束斑直径径电子光学系统电子光学系统第2页/共16页第3页/共16页样品室样品室第4页/共16页扫描系统扫描系统p 作用：作用：使电子束偏转，并在样品表面作有规则使电子束偏

2、转，并在样品表面作有规则的扫动。同时获得同步扫描信号。的扫动。同时获得同步扫描信号。p 通过改变入射电子束在试样表面通过改变入射电子束在试样表面扫描的幅度扫描的幅度，可获得所需可获得所需放大倍数放大倍数的扫描像。的扫描像。p 扫描线圈一般放在扫描线圈一般放在最后二透镜之间最后二透镜之间，扫描电子，扫描电子显微镜采用显微镜采用双偏转扫描线圈。双偏转扫描线圈。第5页/共16页信号探测放大系统和图像显示记录系统信号探测放大系统和图像显示记录系统 作用：探测收集作用：探测收集试样在入射电子束作用下产试样在入射电子束作用下产 生的生的物理信号物理信号，然后经视频放大，作为显像系统，然后经视频放大，作为显

3、像系统的的调制信号调制信号，最后在荧光屏上得到反映样品表面，最后在荧光屏上得到反映样品表面特征的特征的扫描图像扫描图像。 二次电子、背散射电子、透射电子的信号都二次电子、背散射电子、透射电子的信号都可采用可采用闪烁计数器闪烁计数器来进行检测来进行检测。第6页/共16页真空系统真空系统为了为了保证真在整个通道中只与试样发生相保证真在整个通道中只与试样发生相互作用互作用，而不与空气分子发生碰撞，因此，而不与空气分子发生碰撞，因此，整个电子通道从电子枪至照相底板盒都，整个电子通道从电子枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内，一般真空度高于必须置于真空系统之内，一般真空度高于1010-4-4Torr Torr 。第7页/共16页电源系统由稳压、稳流及相应的安全保电源系统由稳压、稳流及相应的安全保护电路所组成，其作用是护电路所组成，其作用是提供扫描电子提供扫描电子显微镜各部分所需要的电源显微镜各部分所需要的电源。供电系统供电系统第8页/共16页S440S440立体扫描电子显微镜立体扫描电子显微镜桌上型桌上型TMTM10001000扫描电子显微镜扫描电子显微镜 第9页/共

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论