多晶浇铸炉停水停电紧急处理

1、多晶浇铸炉停水情况的紧急处理 系统停水的情况大概可以分为两种：（1） 主管路无水流压力，产生这种情况的最大可能原因是外围设施发 生错误， 导致整条生产线同时停水， 表现在设备上的症状为多台 DSS系统 同时发出警报。解决方法：严格按照水循环系统的操作规程进行操作。二十四小时岗位不离人！2） DSS 系统 8路水路中，由于水质等原因引起的某一路或几路水管通水不畅，而导致 DSS系统水流警报。解决办法：若报警界面水流栏中出现黄色报警。若出现红色报警，即出水流量计不能感应水流，则需要在很短的时间内找到水流停滞的原因，并且做出相关工艺调整。具体做法如下：1）点击 SILENCEA LARM消 除警报声

2、，其他工作人员迅速找到水流停 滞管，并利用相关工具尽块恢复通水。2）20 秒后加热器接触器自动断开（最理想的做法是在 20 秒找到原因并解决问题），出现如下界面：迅速记录 LOST POWER A的T 数值。水流通畅后点击屏幕上 PS CONTAC使T 接触器合上，显示绿色为已经合上状态。3）点击屏幕下方的 Real Value 如图备注：水停后引起 PS CONTACTO断R开 时间不能太长，一般不能超过一分 种。加热阶段限制 15 分钟熔料阶段限制下降 120长晶阶段限制下降 50退火阶段限制下降 120冷却阶段OKDSS炉断水或水流低时，班组长都应立即启动应急方案。 以下分别阐述：一、水

3、流量下降或单回路水流量低（或断水）情况 1DSS操作工发现全部回路水流量有下降趋势时，需立即向班组长汇2等待WATER FLOW CONTAC显 显TO示R绿 色后证明水流正常报，班组长需立即向外围设备部门反映（通过对讲机、电话） 。2某回路水流量低或断水时，一般是设备本身问题（如水流计损坏） 。 应急措施如下：1）该机台操作工立即招呼离应急抢救工具或备件 （如 T 形扳手和水流 计叶轮）最近的人员准备好应急抢救工具或备件。2）该机台操作工需在机台前密切注意电脑参数变化并做出反应， 并招 呼熟练人员参与抢险。3）就近机台操作工立即报告班班组长和现场车间领导。二、全部回路水流量低或全部回路断冷冻

4、水低时，这表明外围冷冻水系 统出现故障。应急措施如下：1 由离对电话最近的操作工通知外围冷却系统（班值班电话： 3685313）。2 由离大门最近的操作工立即开启应急水总阀 （在二期单晶地下 室 35 号炉下，每个班组有一个专门的人员操作） 。3 班组长暂时没在现场时， 操作工需立即向班组长或上级领导汇 报情况（汇报人由组长平时指定好） 。4 应急水用完冷冻水仍未恢复时， 需进入应急冷却 （操作在下面 描述）。5 当 4 台增压水泵中一台出现问题时， 迅速降损坏水泵旁的蝶形 阀门打开。以下为处理断水或水流量低的技术要点：各机台或故障机台操作工坚守自己的岗位， 密切关注好炉子的水流、 压力、温度

5、变化情况，以及由于断水超过 20 秒后而造成： 1断电弹出掉电报警窗口， 记住，功率百分比 LOST POWER AT %。3点击 PS CONTACTO后R 显绿色，关闭屏幕，进入 REAL VALUE窗 口。41）如果是功率 P 控制模式，输入掉电时功率的百分比使温度达到掉 电时的温度；2）如果是 T 控制模式应把 T 改成 P，输入掉电时功率百分比大于5%10%；3）使温度达到掉电时温度后，再把 P 改为 T，在输入功率时应在暂 停 PAUSE模式下。另外在等待温度恢复时，应确保压力情况，如果在 600mbar时气体模式下，千万要确认不能改成真空状态 V 模式下，并 且输入与 RECIP

6、E对应 INLET 值（如 55%或是 40%或是 20%等等），如 果是温度下降值超过主参数时， 程序会自动终止， 进入 ECOOL不用 担心，只要密切关注水流情况。水进入 DSS炉时，水压值又比较低， 在 ALARM窗口，F1F8会显黄色， 不会弹出掉电窗口，只是每隔 30 秒会重复报警。水压太低时间又太长， 可终止运行，但必须接到班长以上人员的指令才可执行。终止运行时应 进入 MODE窗S 口，点击 PAUSE会弹 ABORTA UTO按钮，点击该按钮后，会CONTACTOR 连接接触器进行加热。若是断电时间过长， 无法在掉电窗口中连接接触器，则必须在Modes 窗口中点击Manual，

7、输入 *，进入手动屏幕，再次手动自动进入 ECOOL程序，你只要密切关注炉子的压力，水流、 TC1 温度 变化， V2、V3阀打开，隔热笼位置等（从 OVERVIEW画面可看到）。切记在终止运行时要尽量不要按 EMERGENCYSTOP按钮（即电脑最 右上角按钮），因为按 EMERGENCYSTOP时，屏幕没有参数实际值，如： 水流值为零，并显示红色，压力值也为零，隔热笼位置也为零，这样会 造成一种假象，显示进入 E COOL也是假的，隔热笼提升马达、 V2、V3 阀真空泵等全部关闭未工作。 以下为处理断水或水流量低的日常准备工作：1 让所有 DSS操作工了解应急水总阀的位置及其操作。2 让所

8、有 DSS 操作工了解应急抢救工具或备件的位置及其使用方 法，并确认应急抢救工具或备件是可用的。3 让所有 DSS操作工了解对讲机的使用方法，并保证对讲机始终有 足够的电量。4 班组长尤其是组长需把人员分好工，如定人汇报、定人开阀、定 人取工具等。多晶 DSS炉断电处理、断电发生后，弹出掉电报警窗口 所有 DSS 炉的报警声响成一片。在 这种情形下，各操作人员不应慌张， 应各自坚守岗位， 首先在掉电弹出窗 口点击 SILENCE ALARM 消除报 警音，记录好当时的温度、功率，等 待电源恢复。二、按应急方案执行，班组长通知配 电房、上级领导和其他相关人员，班 长现场指挥， 组员负责各自区域

9、DSS炉，处理各自 DSS 炉。三、断电后伴随弹出 UPS 失效报警， 然后点击 RESET ALAEM 复位关闭 该该窗口，进入 OVERVIEW 窗口检 查阀门、压力、水流、温度等等。四、来电后，立即在掉电窗口上点击PS连接接触器。若是温度降的过快，可适当增大功率 510% 。五、在等待升温的过程中检查进气量是 否与配方一致。若不一致时， 可在 REAL VALUE窗口 Inlet （Outlet ）中输入配 方中设定的氩气流量值。六、当温度达到掉电时的温度时， DSS复运行。七、在 Real Value 和 Over View 中再 一次检查温度、模式、气体流量、水流 量、各阀门开关、电

10、压、电流、功率等 等。八、恢复运行后，着重关注 M和 G阶段 的 DSS炉，时时关注曲线、 压力、温度、 水流量、电压、电流、功率等。硅片事业部多晶浇铸车间2010-2-24硅片事业部突发事件疏散演练方案一、 目的提高员工在发生突发事件时的应急处置能力，提高各单位在在发生 突发事件时的对人员疏散撤离的组织能力，确保事件发生范围内的人员 有序、顺利的撤离突发事件现场，集中到安全地带，避免突发事件对事 件范围内的人员受到伤害。二、 适用范围适用于硅片事业部参加疏散演练的部门活动场所内发生突发性事件 时从事件现场撤离的全过程。三、突发事件疏散管理小组 负 责 人：任林生 总 指 炉会报警。关闭掉电窗

11、口， 检查温度、 压力、水流量、各阀门开关、 电压、电流、功率是否正常。 确认无误后点击 Return To Auto , 恢挥：李建帅、邓启祥 组织协调：潘士啸 过程记录：孙小琪 评价记录：熊金杰、董卫昌 人员核实统计：徐霞霞四、 职责划分1、突发事件疏散管理小组负责硅片事业部突发事件撤离的全过程管 理。2、各部门、车间负责本部门的突发事件撤离的全过程管理。3、生产处负责协助领导制定、实施具体的突发事件疏散撤离方案,并对疏散过程全面管理。五、方案制定及实施原则 各部门实施本突发事件疏散方案需要遵照以下原则：1、二期办公楼所安装的声光报警系统发出统一报警铃声响起疏散撤 离演练立即启动。2、供应

12、、销售处办公室在听到铃声后，由 任丽 同志发出督促撤离口 令“有突发事件，请大家有序撤离”， 任丽 同志带头按照“女先男后” 的原则有序撤离，任丽同志负责清点核对撤离人员。撤离路线：出门右转，从大厅大门撤离。 由任丽同志带领人员撤离到集合地点后进行人数清点，任丽同志负 责作好人员登记。3、二期单晶车间在听到铃声后， 由王宝胜同志发出督促撤离口令 “有 突发事件，请大家听我指挥”，车间人员立即“面西背东”集合在通道 内，按各自所处前后位置排成一列（张春同志排头、王宝胜同志收尾）， 由张春同志发出报数口令“请大家一次报数”，王宝胜同志负责核对撤 离人数，在张春同志的带领下有序撤离。撤离路线：出车间

13、进入西侧走廊后左转，刷开车间安全通道门，从 大厅大门撤离。由张春同志负责带领人员到集合地点进行清点人数，王宝胜同志负 责作好人员登记。4、多晶、切方区域在听到铃声后， 由昝武同志发出督促撤离口令 “有 突发事件，请大家听我指挥”，车间内多晶、切方人员立即“面西背东” 集合在通道内，按各自所处前后位置排成一列（昝武同志排头、王河新 同志收尾），由昝武同志发出报数口令“请大家一次报数”，王河新同 志负责核对撤离人数，在昝武同志的带领下有序撤离。带领人员到集合 地点进行清点人数，王新河同志负责作好人员登记。撤离路线：出车间进入西侧走廊后右转，走西侧消防安全通道门， 从西侧大门撤离。由昝武同志负责带领

14、人员到集合地点进行清点人数，王河新同志负 责作好人员登记。5、切割车间在听到铃声后， 同志负责组织粘胶、砂浆搅拌班组及 财务统计人员撤离、由邹毅同志负责组织清洗班组人员撤离；马旭阳同 志负责组织包装班组人员撤离； 王刚同志负责组织滚磨、 切断班组撤离； 李永乐同志负责组织多线班组撤离；各负责人在听到铃声后，跑步到各 自负责区域组织撤离。各负责人到各自负责区域后组织发出组织撤离口令“有突发事件， 请大家听我指挥”，区域内人员立即集合在通道内，按各自所处前后位 置排成一列（指挥人排头、班组长收尾），由指挥人发出报数口令“请 大家一次报数”，班组长负责核对撤离人数，在指挥人的带领下有序撤 离。带领人

15、员到集合地点进行清点人数，班组长负责作好人员登记。砂浆搅拌、粘胶班组撤离路线：出砂浆搅拌、粘接间进入走廊后左 转，从北侧大门撤离。清洗班组撤离路线：出清洗间进入西侧走廊后右转，从北侧大门撤 离。多线班组撤离路线：在车间内“面西背东”集合在通道内进入西侧 走廊后左转，走西侧消防安全通道门，从西侧大门撤离。包装班组撤离路线：从包装间进入东侧参观走道后左转，从东侧参 观大门撤离。6、质检处在听到铃声后，由何志坚同志发出督促撤离口令“有突发 事件，请大家听我指挥”，人员按各自所处前后位置排成一列，由何志 坚同志发出报数口令“请大家一次报数”，彭佳生同志负责核对撤离人 数，在何志坚同志的带领下有序撤离。

16、撤离路线：出质检办公室出来进入走廊后左转，走西侧消防安全通 道门，从西侧大门撤离。何志坚带领人员到集合地点进行清点人数，彭佳生负责作好人员登 记。撤离注意事项：1、突发事件发生时，如方案既定组织撤离人员不在，由其副职人员 承担组织撤离责任（依次类推）。2、各部门人员不在本部门时，按照自己所在区域服从指挥。3、各部门撤离组织清点时发现本部门人员缺少， 在撤离后应立即拨 打手机联系核实，如人员撤离出应立即归队，如未及时撤离出，应立即 报告撤离小组负责人或指挥人。4、如果部门在撤离过程中相遇，指挥人应按先后顺序，和其他部门 队形保持一列，避免拥挤、摔倒、踩踏、摔落等意外事件的发生，防止 拥挤堵塞疏散

17、通道。5、在撤离过程中撤离组织人应及时制止本部门人员的吵闹、催促、 喊叫，避免增加恐慌气氛。6、如果在撤离过程中出口门打不开，可以选择强行打开方式。7、如果在撤离过程中原有路线不通， 撤离组织人员可以变更撤离路 线，选择就进出口撤离。六、疏散演练过程控制1、疏散演练启动警示信号：以硅片公司二期厂房、二期办公楼所安 装的声光报警系统发出统一报警铃声作为此次突发事件紧急疏散演练的 启动报警信号。即报警信号响起疏散撤离演练立即启动。2、安全集结点：安全集结点设在二期办公楼广场东南角，安全点放 置安全集结点指示牌。3、疏散撤离时间：疏散演练开始后，各部门必须按照既定疏散方案 迅速指挥调动人员撤离，在 5 分钟之内到达安全集结点， 5 分钟之后到 达安全集结点的人员记录为受困人员，并做原因查明和详细询问记录。4、突发事件现场所有人员疏散撤离到指定的安全地点后， 由各部门 组织对本单位疏散撤离人员进行点名，确定是否有人员未能及时撤离突 发事件现场，并填写人员撤离情况登记表。5、经对疏散人员