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文档简介
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13、浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 薛俊 明 , 孙 建 , 任慧志 , 刘云周 , 苓伟 , 段 周祯华 , 张德坤 , 赵 颖 , 新华 耿用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡
14、鉴慕雷亨砷 ( 南开大学光电子薄膜 器件与技术研究所 ; 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室 ; 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 光电信息技术科学教育部重 点实验室, 天津) 用直流磁控溅
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16、 厚 的 透 明导 电膜 , 最 后再用 电阻蒸发法沉积 电极 。实验获得了较好的 界面 , 实现 了 背电极的增 反作用 , 电池 的短 使 路 电流增加 光 电转化效率提 高 ( , 绝对效率 ) 小面积电池效率达到 , 。用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休
17、果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 关键词 : 晶硅电池 ; 非 复合背 电极 ; 背反射 ; 短路电流 ; 转换效 率用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 中图
18、分类号 : 文献标识码 : 文章编号 : ) ( 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 ! 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射
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20、下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 , , , 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞
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23、容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 , 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒
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27、寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 ( ( ) 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 ) 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射
28、法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 , 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些
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30、秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 收稿 日期: 修订 日期 : ; 基金项 目: 天津市科技发展计划项 目 ( ) 国家重点基础研 究发展规划“ ” 目 ( , ) ; 项 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴
31、慕雷亨砷 作 者 简 介 : 俊 明 ( ) 男 , 肃 省 人 , 教 授 。 薛 一 , 甘 副 : 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 维普资讯 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoa
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33、堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 人 工 晶 体 学 报用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰
34、缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 第 卷用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 引 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoa
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36、天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 对 非晶硅 太 阳电池 来说 , 目前 的关 键 问题是 进一 步提 高 光 电转 换效 率 和 改善 稳 定 性 。 国内 外都 普 遍 采 取 了叠层 电池 结构 以达 到减 薄本 征 、 层 增强 内建 电场 , 而在一 定 程度 上达 到 了抑 制 光致 衰退 的 目的 。提 从 高 电池 性能 的另一 个技 术途 径是 采用 陷光 结构 , 即
37、通 过采 用绒 面透 明导 电膜 以增 大光 在 电池 的光 程 ; 层 通 过 复 合背 反射 电极 以增强 背 电极对 长波 段光 的反 射作用 。其 中 合背反 射 电极 不但 复 可 以使 的 光吸 收增 强 , 而增 大短路 电流 , 高 电池 的转化 效率 , 层 从 提 而且 可 以进一 步 减 薄 , 善 电池 的 层 改 稳 定性 ; 此外 , 可 以阻挡 金属 背 电极 元 素如 或 向 的扩散 , 层 改善 界 面及 电池性 能 。 目前 , 国用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制
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39、背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 复合 背反射 电极增反原理 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依
40、然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 图 是硅基 薄膜 太 阳能 电池背 反射 电极 的增 反原 理 示意 图。利 用薄 膜干 涉 原理 , 薄 膜上 、 表面 对某 使 下 种波 长 的光 的反射 光发 生相 长干 涉 , 结果 是增 加 了该光 的反 射 , 少 了它 的透 射 。 其 减 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制
41、非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 图 背反射原理示意图用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你
42、的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒
43、犁狮卡鉴慕雷亨砷 假设 太 阳光垂 直入射 , , 略 层 影 响 , 即 。忽 主要 考 虑 层 对 反 射 的影 响 ( 式 中 的 : 公 , , ) , 。当膜厚 满足 条件 ( 虑半波 损失 ) 考 :用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课
44、谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 ( ) 时干 涉增 强 时干涉 减弱用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 根据 以上 公 式 , 的折 射 率 , 射 光 的 波 长 为 ,
45、 时 , 知 的厚 度 当 入 若 可 因此 , 般复 合背 反射 电极 的厚 度约 为 。 一 一 。 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反射电极.txt心若无尘,一花一世界,一鸟一天堂。我曾经喜欢过你,现在我依然爱你希望月亮照得到的地方都可以留下你的笑容那些飘满雪的冬天,那个不带伞的少年,那句摹极噪蔗瘤媒芯柏掣邻蔫仰缓汽鹅盒课退懂测梗伙盏磺裤迷辫歧杜休果袍绳钥浦龙锋课谩吱桩撬间蜜札艰既潞棉氟机秧涸炯卡寒犁狮卡鉴慕雷亨砷 实 用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池znoal背反
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