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文档简介

1、CF制程简介 1 课程内容 课程目标 了解 CF 基本制程 了解 CF COA 生产流程 1.CF 定义及作用 2.CF结构介绍及说明 3.制程流程说明 4. CF COA 生产流程介绍 2 Part1. CF定义及作用定义及作用 3 CF(Color Filter)即：彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件，其主要的 功能是让液晶显示器能产生彩色画面，若无彩膜，则看到的电视显示将是黑白 的。 4 Part2. CF结构介绍结构介绍 5 众所周知，自然界的三原色为红、绿、蓝，通过对三原色进行混色，并调 整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。 6 BM：黑色矩阵，用来掩挡漏光 PS：感光

2、间隙子，用来支撑与维持Cell gap均匀 ITO：用来作CF侧通用电极 RGB：起主要作用的RGB三种色阻分布排列 7 Part3. 制程流程说明制程流程说明 8 BM制程包括： 玻璃清洗 BM光阻涂布 真空干燥 预烘烤与冷却 紫外线曝光 显影 烘烤。 9 R G B Layer 为相似制程，与BM相同，区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。 R Layer 红色光阻涂布 10 G Layer 绿色光阻涂布 11 B Layer 蓝色光阻涂布 12 ITO 制程为物理溅镀过程，包括 前清洗 ITO溅镀 后洗净 烘烤 13 Part4. CF COA 生产流程介绍生产流程介绍 14 PS是在CF与Array基板中支撑Cell gap的柱状pattern。有一定的弹性回复力，可以承 担一定的压力。PS呈透明

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