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1、第五章第五章 非平衡载流子(非平衡半导体)非平衡载流子(非平衡半导体) 1. GeN 3134 10,101 cmps p 解:解: 13 1731 4 10 10 1 10 p p Ucm s 2. 空穴在半导体内均匀产生,其产生率空穴在半导体内均匀产生,其产生率 0 0 p x 0 x E 2 2 pppp E pppp DEpg txxx 0 2 2 dx pd Dp 解:解:由空穴连续性方程,由空穴连续性方程, p g 由于杂质均匀分布、体内没有电场、非平衡载流子均匀产生,所以,由于杂质均匀分布、体内没有电场、非平衡载流子均匀产生,所以, p p p g dt pd 得到非平衡空穴所满

2、足的方程,得到非平衡空穴所满足的方程, 达到稳定状态时的非平衡空穴浓度,达到稳定状态时的非平衡空穴浓度, pp gp 光照下,产生和复合达到稳定时,光照下,产生和复合达到稳定时, 0 p p p g 0 dp dt 3. SiNs p 6 101 1322 10 scmg p cm 10 0 解:解: 1316226 101010 scmgp pp 半导体内光生非平衡空穴浓度,半导体内光生非平衡空穴浓度, 光照下,半导体的电导率,光照下,半导体的电导率, 0 0 16191 1 0.1 101.6 1013505003.1 np pq Scm 光照下,半导体电阻率,光照下,半导体电阻率, cm

3、33. 0 1 . 3 11 光照下,电导中少数载流子(空穴)贡献的比例,光照下,电导中少数载流子(空穴)贡献的比例, %26 1 . 3 500106 . 110 1916 p pq 4. s p 5 101 解:解: 光照停止后的非平衡空穴浓度,光照停止后的非平衡空穴浓度, t eptp 0 )()( 0 0 t t p p 0p e p 0 停止停止2020微秒后,微秒后, %39 )20( 10 20 0 e p sp 5. 314316 10,10 cmpncmND 解:解:无光照的电导率,无光照的电导率, 11916 0 2 . 21350106 . 110 cmSnqpqnq n

4、pn 有光照的电导率,有光照的电导率, 11914 0 5 . 25001350106 . 1102 . 2)( cmSnq pn 光照下,光照下,半导体处于非平衡态,其偏离程度由电子准费米能级、空穴半导体处于非平衡态,其偏离程度由电子准费米能级、空穴 准费米能级描述。准费米能级描述。 n F E p F E C E V E F E 小注入时,小注入时,空穴准费米能级比平衡费米能级更靠近价带顶,但偏离小。空穴准费米能级比平衡费米能级更靠近价带顶,但偏离小。 电子准费米能级比平衡费米能级更靠近导带底,且偏离大。电子准费米能级比平衡费米能级更靠近导带底,且偏离大。 6. V E C E i E 光

5、照前光照前光照后光照后 i E 7. 314315 /10,/10cmpncmN D 0 00 0 expln Fi iFi i EEn nnEEk T k Tn eV n n EE i iF 29. 01067. 6ln026. 0 105 . 1 10 ln026. 0ln026. 0 4 10 15 0 没有光照时,半导体的平衡费米能级位置,没有光照时,半导体的平衡费米能级位置, 解:解: 0 0 expln n n Fi iFi i EEn nnEEk T k Tn 光照小注入下,导带电子浓度,光照小注入下,导带电子浓度, eV n nn EE i i n F 30. 01034. 7

6、ln026. 0 105 . 1 1010 ln026. 0ln026. 0 4 10 1415 0 小注入下,电子准费米能级位置,小注入下,电子准费米能级位置, 0 0 expln p p iF iiF i EEp pnEEk T k Tn 小注入下,价带空穴浓度,小注入下,价带空穴浓度, eV n pp EE i p Fi 23.01067.6ln026.0 105 .1 101025.2 ln026.0ln026.0 3 10 145 0 小注入下,空穴准费米能级,小注入下,空穴准费米能级, 8. 解:从题意知,解:从题意知,P P型半导体,小注入下,复合中心的电子产生率等于空穴捕获率,

7、型半导体,小注入下,复合中心的电子产生率等于空穴捕获率, 电子产生率电子产生率t ns 1 0 expnr Tk EE Nrs n ct cn tp pnr 空穴俘获率空穴俘获率 Appppn Nrprpprprnr 001 Tk EE Nn ct c 0 1 exp N N TkEEEE c Fct ln 0 Tk EE Np F 0 0 exp 对于一般的复合中心,对于一般的复合中心, rrr pn 01 pn 因为半导体本征费米能级,因为半导体本征费米能级, 对一般掺杂浓度的对一般掺杂浓度的P P型半导体,其平衡费米能级远在禁带中央能型半导体,其平衡费米能级远在禁带中央能 级以下。从上式

8、中得出复合中心能级远在本征费米能级以上(离导级以下。从上式中得出复合中心能级远在本征费米能级以上(离导 带底很近,离本征费米能级很远),因而它不是有效复合中心。带底很近,离本征费米能级很远),因而它不是有效复合中心。 N N TkEEE c ci ln 2 1 0 所以,所以, Fiit EEEE 9. it EE 本征半导体,小注入,本征半导体,小注入, 证明:证明: )( )()( 00 1010 ppnrrN ppprpnnr U p npt pn 非平衡载流子寿命,非平衡载流子寿命, i npnp2)( 00 np ntptnpt pn rNrNrrN rr 11 i npn 00 i

9、 npn 11 10. 163 10 t Ncm 小注入时,小注入时,N N型半导体非平衡少子空穴的寿命主要由金复合中心决定,型半导体非平衡少子空穴的寿命主要由金复合中心决定, scmrp/1015. 1 37 scmrn/103 . 6 38 s rN pt p 10 716 109 . 8 1015. 110 11 s rN nt n 9 816 106 . 1 103 . 610 11 在在N N型硅中,金的受主能级起作用,金负离子对空穴的俘获系数,型硅中,金的受主能级起作用,金负离子对空穴的俘获系数, 解:根据解:根据PP158PP158给出数据,给出数据, 在在P P型硅中,金的施主

10、能级起作用,金正离子对电子的俘获系数,型硅中,金的施主能级起作用,金正离子对电子的俘获系数, 小注入时,小注入时,P P型半导体非平衡少子电子的寿命主要由金复合中心决定,型半导体非平衡少子电子的寿命主要由金复合中心决定, 11. 解:根据单一复合中心得到的间接复合的净复合率公式,解:根据单一复合中心得到的间接复合的净复合率公式, )()( )( 11 2 pprnnr nnprrN U pn ipnt 0, 2 Unnp i (净复合)(净复合) 净产生净产生 在载流子完全耗尽的半导体区域,在载流子完全耗尽的半导体区域, i npn, 0, 0 0, 2 Unnp i 在只有少数载流子被耗尽的

11、半导体区域,如对于在只有少数载流子被耗尽的半导体区域,如对于N N型半导体,型半导体, 00 , 0 nnn nnppp 净产生净产生0, 2 Unnp i 在在 的半导体区域,的半导体区域, i npn 12. itpD EEscmN ,10110 5316 , scm p RG p 39 5 4 103 . 2 10 103 . 2 解:因为少子空穴的浓度,解:因为少子空穴的浓度, 0p 所以,所以, 34 16 2 102 00 103 . 2 10 105 . 1 cm N n pppp D i 达到稳态时,少子产生率,达到稳态时,少子产生率, 13. sVcms nn /3600,1

12、05 .3 24 解:由爱因斯坦关系式,得到电子扩散系数,解:由爱因斯坦关系式,得到电子扩散系数, nn n n q Tk D q TkD 00 电子扩散长度,电子扩散长度, cm q Tk DL nnnnn 1 2/1 43 2/1 0 108 . 1105 . 3106 . 3026. 0 14. 2 400/ p cmVs 解:由爱因斯坦关系式,得到空穴扩散系数,解:由爱因斯坦关系式,得到空穴扩散系数, x p 4 3 10cm scm q Tk D pp /4 .10400026.0 20 空穴扩散浓度梯度,空穴扩散浓度梯度, 19182 1.6 1010.4 3.3 105.5/ p

13、p dp JqDA cm dx 15 184 4 10 3.3 10 3 10 dp cm dx 空穴扩散电流密度,空穴扩散电流密度, 15. sVcmcmncmNcm nt /135010,10,1 2310 0 315 , 解:由电阻率查表解:由电阻率查表PP124PP124图图4-154-15(b b),得到半导体平衡多子浓度,),得到半导体平衡多子浓度, s rN nt n 8 815 106 .1 103 .610 11 边界处电子扩散电流密度,边界处电子扩散电流密度, 非平衡少子寿命,非平衡少子寿命, 316 0 10 cmNp Ap 平衡少子浓度平衡少子浓度 34 16 2 10

14、 0 103 .2 10 105 .1 cmn p 00 0 00 1910452 8 0.026 1350 1.6 10102.3 107.5 10/ 1.6 10 n nn nnx nnn qDn Dk Td n JqDqnqn dxLq A cm 非平衡少子分布(半导体无限厚),非平衡少子分布(半导体无限厚), 0 n x L n xne 16. ssVcmcmpcm pp 62313 0 105,/500,10,3 解:由电阻率查表,得平衡多子(电子)浓度和少子(空穴)迁移率,解:由电阻率查表,得平衡多子(电子)浓度和少子(空穴)迁移率, 315 0 10 cmNn Dn 平衡少子浓度

15、,平衡少子浓度, 35 15 2 10 0 103 .2 10 105 .1 cmn p 从表面处向半导体内扩散的少子空穴扩散电流密度,从表面处向半导体内扩散的少子空穴扩散电流密度, 32 0 0 000 2.6 10/ ppp ppx ppp qDD k Td p JqDpqpqpA cm dxLq sVcm p /500 2 p L x epxp 0 非平衡少子在半导体内的分布(半导体无限厚),非平衡少子在半导体内的分布(半导体无限厚), 半导体内非平衡空穴浓度等于半导体内非平衡空穴浓度等于 对应的位置,对应的位置, 312 10 cm 1213 0 62 1010 ln10ln10 2.

16、30.065005 101.9 10 p x L ppp e k T xL q cm 17. scmssscmgcm pp /100,10/10,1 5317 , 解:解: 000 ()0 ssx Uspsp xpsp xp 稳态下,根据(稳态下,根据(5-1625-162)空穴浓度分布,)空穴浓度分布, 0 1 p x Lp pp pp s p xpge Ls 得到在半导体表面处空穴浓度,得到在半导体表面处空穴浓度, 由于由于 ,查图,查图4-154-15(b)b),得到,得到, cm q Tk DL ppppp 25 0 10110430026. 0 cm 1 315 /103cmND 查

17、图查图4-14 4-14 得到空穴迁移率得到空穴迁移率 ,空穴扩散长度,空穴扩散长度, sVcm p /430 2 1 1、单位时间、单位表面积的表面复合空穴数,、单位时间、单位表面积的表面复合空穴数, 得到单位时间、单位表面积在离表面三个扩散长度体积内复合的空穴数,得到单位时间、单位表面积在离表面三个扩散长度体积内复合的空穴数, p L x pp pp p pp e sL gs g ppp 0 00 25 517113 225 01 1010 101019.1 10 101010 p x Lp ppx pp s p xpge Ls cm 2 2、由下式,、由下式, 1321 000 ()09

18、.1 10 ssx Uspsp xpsp xpcm s 33 00 3 3 313 pp p x LL Lp pp ppp pppppp pppp pppp s p dxgLedx Ls sg Lsg L L geL g LsLs 153 2.910/ cm s 得到,得到, 18. 由氧化(温度由氧化(温度11801180) 后表面复合中心浓度后表面复合中心浓度 ,得,得 到金复合中心在硅片中的均匀分布浓度,到金复合中心在硅片中的均匀分布浓度, 解、解、 102 10 / ts Ncm 555153 10101010 / t Ncm 1 1、硅片内少子空穴的寿命,、硅片内少子空穴的寿命, 1 p pt r N 由教材由教材PP158PP158第第6 6行给出的数据,行给出的数据, 73 1.15 10/ p rcms 得到,得到, 9 715 11 8.7 10 1.15 1010 p pt s r N 硅片中总杂质浓度,硅片中总杂质浓度

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