单晶硅废气处理工艺

1、XXXXX科技有限公司 废气处理工程设计方案 温州市XXXX科技有限公司 北京XXXX上海院 2007 年 6 月 目 录 1 1总论总论.2 2.2. 废气处理工艺设计方案废气处理工艺设计方案.4 3. 主要设备一览表主要设备一览表.5 4.4.运行费用分析运行费用分析.5 5.5.投资估算投资估算.6 1总论 1.1 工程概况 1.1.1 工程名称及建设单位 工程名称：XXXXX 科技有限公司废气处理工程 建设单位：XXXXX 科技有限公司 1.1.2 项目来源 XXXXX 科技有限公司（下简称金西公司）是我国太阳能光伏电池片的重点生产 企业，公司现位于 XX 县城区，根据 XX 县城市发

2、展规划，企业必须整体搬迁。为此 公司投资 13200 万元，在 XX 工业园区， （二期）即茶场片区征地，新建厂房及辅助用 房，购置国际先进的太阳能电池制造设备、多线切割机、硅单晶炉、切片机、切方机 等先进设备，形成年产 25 兆瓦太阳能光伏电池的生产能力。该项目为新建项目，项目 投产后，生产加工过程中有一定量的酸洗及清洗废水，根据新建项目执行“三同时” 法规要求，废水排放前需达到污水国家综合排放一级标准。企业领导对此非常重视， 决定在厂房设计建设同时，与之配套的环保设施也同时建设，并采取科学、合理、规 范的环保工艺对排放的废气进行处理，达到良好的社会、经济效益和环境效益。受主 主委托，现将处

3、理方案编制如下，供业主方及各主管部门评审。 1.1.3 废气产生情况 本项目工艺流程为： 废气废气 后续工艺* 多晶硅腐蚀清洗烘干装炉抽真空加热 拉晶切头尾切方滚磨 工艺废气中的 HF、HNO3等执行大气污染综合排放标准 （GB16297-1996）的 二级排放标准即： 排放标准 项目排放浓度（mg/m3）二级排放速率限值 HF9.020ug/ m3 氮氧化物2400.12mg/ m3 1.1.6 主要污染因子理化性质： 1）硝酸： 分子式 HNO3，分子量 63.01，纯品为无色透明发烟液体，有酸味。熔点-42/无 水，沸点 86/无水，与水混溶，相对密度（水=1）1.50（无水） 。 硝酸

4、属高毒类，其蒸汽有刺激作用，引起粘膜和上呼吸道的刺激症状，如流泪、 咽喉刺激感、呛咳、并伴有头痛、头晕、胸闷等。长期接触可引起牙齿酸蚀症，皮肤 接触引起灼伤。 硝酸具有强氧化性，与易燃物（如苯）和有机物（如糖，纤维素等）接触会发生 剧烈反应，甚至引起燃烧。与碱金属能发生剧烈反应。具有强腐蚀性。 2）氢氟酸 分子式 HF，分子量 20.01，无色透明有刺激性臭味的液体，商品为 40%的水溶液。 熔点-83.1（纯） ，沸点 120（35.3%） ，与水混溶，相对密度（水=1）1.26(75%)。 氢氟酸急性毒性为 LCppm（1 小时，大鼠吸入） 。对皮肤有强烈的腐蚀作用，能穿 透皮肤向深层渗透

5、，形成坏死和溃疡，且不易治愈。眼接触高浓度氢氟酸可引起角膜 穿孔。接触其蒸气，可发生支气管炎、肺炎等。长期接触可发生呼吸道慢性炎症，引 起牙周炎，氟骨病。 氢氟酸腐蚀性极强，遇 H 发泡剂立即燃烧。能与普通金属发生反应，放出氢气而 与空气形成爆炸性混合物。 1.2 设计范围 设计范围为：自废气收集系统至废气高空排放系统间所涉及范围内的土建工程、 机械设备工程、电气和仪控制工程、管线与安装工程等。 1.3 设计指导思想 (1) 认真贯彻执行国家关于环境保护工作的方针、政策，使方案设计符合国家有 关法规规范和标准。 (2) 废气排放情况及排放要求，力求选用技术先进，稳妥可靠，处理效率高，维 修管理

6、简便，占地面积小，投资少，运行费用低的处理工艺。 1.4 设计依据 （1） 中华人民共和国环境保护法1989.10.26 （2） 中华人民共和国大气污染防治法1987.9.5 （3） 浙江省大气污染防治条例2003.9.1； （4） 大气污染综合排放标准 （GB16297-1996） （5） 车间空气 HF 卫生标准 （GB 162311996） （6） 年产 25 兆瓦太阳能光伏电池技改项目环境影响报告书； （7）同类废废气处理工程的设计、施工及运行资料。 2. 废气处理工艺设计方案 2.1 废气处理工艺流程 废气收集系统 一级吸收器 填料吸收塔 吸收器 集 气 罩 废液排入污水处理系统 尾

7、气排放引风机 泵 泵 储槽 储槽 3. 主要设备一览表 3.1 废气处理设备一览表 序号名称规和或型号单位数量备注 1一级吸收器10003000台1PP 材质 2填料吸收塔10003000台1PP 材质 3引风机6000m3/h 5.5kw台1 4循环泵10m3/h15m1.5kw台2 5排气筒60015m支1 6排气筒保护架套1 7吸收塔支架套1 8碱液计量槽只1PP 材质 9风管及收集系统套1 10 11电气设备套1 3.2 运行费用分析 A. 电费 单位数据 总装机功率Kw8.50 使用功率Kw8.50 每度电电费 (暂定)元/Kw.hr0.65 每日运行Hr10 A、每日电费元/日55

8、.25 B. 处理药费 单位每日耗量单价费 用备 注 药剂投加量Kg/d252 元/Kg50.0 元 C、每日总运行费元/日A+B =105.25 4.投资估算 4.1 HCl 废气处理设备报价表 单位：万元 序号名 称规和或型号单位数量单价合 价 1一级吸收器10003000台11.501.50 2填料吸收塔10003000台12.002.00 3引 风 机6000m3/h 5.5kw台10.500.50 4循 环 泵10m3/h15m1.5kw台20.200.40 5排 气 筒60015m支1厂方统一同锅炉 6排气筒保护架套10.100.10 7吸收塔支架套10.100.10 8电气设备套10.200.20 9风管及收集系统套1根据现场统计 11安 装 费0.200.20 12运 杂 费0.250.25 合 计5.25 5.售后维修服务 全套设备质量保证期为一年，起始日期以设备进厂单机正常运转，