硅片字母数字标志规范[共14页]

1、ICS 29.045H80中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准GB/T XXXXX XXXX硅片字母数字标志规范Specification for alphanumeric marking of silicon wafers（送审稿）XXXX- XX- XX发布 XXXX- XX- XX实施GB/T XXXXXXXXX前 言本标准按照 GB/T 1.1 2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 (SAC/TC203) 与全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会 (SAC/TC203/SC2) 共同提出并归口。本标准起草单位：有研半导体材料有限公司、浙江省硅

2、材料质量检验中心。本标准主要起草人：张静、孙燕、边永智、楼春兰。IGB/T XXXXXXXXX硅片字母数字标志规范1 范围本标准规定了硅片或其他半导体晶片上字母数字标志的编码规范， 包括标志的形状尺寸、 字母数字代码的定义和要求等。该标志及关联信息存入数据库，可被简单的自动光学字符读数（ OCR）仪或人工进行独立、快速识别，确保晶片制造商对晶片标记的一致性。本标准适用于在硅片、外延片、 SOI片及其他晶片正面或背面的编码标志。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件， 仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于

3、本文件。GB/T 14264 半导体材料术语SEMI AUX001 供方标志代码表（ List of vendor identification codes ）SEMI AUX015 自动光学字符读数字符概述（ SEMI OCR character outlines ）3 术语和定义GB/T 14264 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1字符间隔 character separation任意字符的相邻边界之间的水平距离。3.2字符间距 character spacing相邻字符的字符中心线之间的水平距离。3.3字符倾斜度 character skew字符的基线与字符的窗口底部平行线之

4、间的字符倾斜度。3.4相邻字符未对准度 character misalignment Radj同一行两个相邻字符的字符基线之间的垂直距离3.5行字符未对准度 line spacing misalignment Rline1GB/T XXXXXXXXX同一行中最高和最低字符的基线之间的垂直距离4 标志的形状和尺寸4.1 写入字符时可使用实线法或点阵法，最小点阵尺寸应为水平方向 5 个点，垂直方向 9 个点，如图1 所示， 也可使用更多的点或实线。 为了保证识别的可靠性， 尤其是对有切口的硅片或有较多的字符时，宜采用更高的点阵密度。自动读数及其可靠性建议见附录 A。注： 图1所示的 5 9点阵是所

5、允许的最小点数，也可以使用更多的点，直到使用实线。图1 字符轮廓示意图4.2 字符及间距的尺寸的定义如图 1 所示，具体要求应符合表 1 的规定。表1 字符尺寸 单位为毫米字符尺寸要求直径 100mm、125mm和 150mm有参考面的硅片 直径 150mm和 200mm有切口的硅片高度 0.812 0.025 1.624 0.025宽度 0.406 0.025 0.812 0.025厚度a 0.100 0.050 0.0250.2000.150间距 0.710 0.025 1.420 0.025最小字符间隔 0.014 0.308a 字母“ N”对角线的厚度应为 0.138mm 0.05mm

6、。5 字母数字代码5.1 代码内容5.1.1 代码由一行 18 位字符组成，标准字符集见表 2，参见 SEMI AUX015。5.1.2 代码的前 8 位是由硅片供方提供的唯一性识别码，除第 8 位应为数字外，第 1 位第 7 位是字母或数字，第 9 位和第 10 位是供方识别码，见表 3。代码示例如图 2 所示。具体可参见 SEMIAUX001 。5.1.3 任意指定位置缺少字符时，应用短划线 (-) 代替。2GB/T XXXXXXXXX表2 标准字符集表3 代码内容字符位置 字符类型 参数 代码 定义1 ABCDEFG2 HIJKLMN3 OPQRSTU4 字母/ 数字 识别码 VWXYZ

7、5 0123供方指定6 45677 898 只有数字 识别码 910只有字母 供方识别码 A 到 Z ( 参见 SEMI AUX001)11 012电阻率 ( cm)识别码由12 345只有数字 电阻率识别码供方以全部或部分数字13 678规定，不代表准确度14 9B 硼15 只有字母 掺杂剂种类F 磷A 砷S 锑0 1-0-01 1-1-116 只有数字 晶体生长方向 2 1-1-03 0-1-15 5-1-117 A H 只有字母 校验字符18 只有数字 07错码检验方法见第 6 章3GB/T XXXXXXXXX图2 代码示例5.2 代码字段的位置和尺寸字母数字的代码字段应位于硅片的表面，

8、 有参考面和有切口的硅片上字母数字代码字段的位置和尺寸分别如图 3、图4所示。5.3 字符对准度5.3.1 字符倾斜度应不大于 3 ，如图 5 所示。5.3.2 相邻字符未对准度 Radj 应不大于 0.23 m m，如图 6 所示。行字符未对准度 Rline 应不大于 0.46 mm，如图 7 所示。5.4 其他字符内容及在硅片正表面或背表面上的位置也可由供需双方协商确定。4GB/T XXXXXXXXX直径 100mm硅片直径 125mm硅片直径 150mm硅片说明：直径100mm、125mm和150mm硅片参考面长度的最小值直径100mm、125mm和150mm的硅片代码字符上边缘到硅片参

9、考面垂直距离最大值和字符下边缘到参考面垂直距离最小值图3 有参考面硅片的代码字段位置和尺寸5GB/T XXXXXXXXX直径 150mm硅片直径 200mm硅片说明：R1直径 150mm和200mm硅片中心点到代码字符下边缘垂直距离最大值R2直径 150mm和200mm硅片中心点到代码字符上边缘垂直距离最小值图4 有切口硅片的代码字段位置和尺寸注： 该直线与代码字段窗口底线平行。图5 字符倾斜度6GB/T XXXXX XXXX图6 相邻字符未对准度图7 行间距未对准度6 字母数字错码检验方法6.1总则6.1.1 字符代码的第 17 位和第 18 位是字母数字校验字符。6.1.2 字符集可以扩展

10、到 ASC64- 字符集的前 59 个字符。错码检验应检查所有单个字符的替换错误。对于长达 58 个字符的任意信息，应检验所有两个字符的换位错误。6.1.3对于错码检验和校验字符的产生，有一个简单的递归算式，不需要使用乘法或除法。6.2错码检验方法的定义6.2.1为了描述错码检验方法，定义了以下符号：a) Ai 表示第 i 个 ASC字符；b) ai 表示给定的 Ai 的数值。6.2.2 字符从左到右计数，以便由 A1A2A3 A18给出信息。6.2.3错码检验方法由以下规则给出：a) 数值ai 由 Ai 的 ASC十进制表示值减去 32 求得，见表 4；b) 如果 Ai 的数值ai为0、1、

11、2、 58 中的一个，则只允许有一个 ASC字符 Ai ；c) 校验字符 A17应是 ASC字符 A、B、C、D、E、F、G、H中的一个；d) 校验字符 A18应是 ASC字符 1、2、3、4、5、6、7 中的一个；e) 校验字符对A17A18应不是组合字符 H 3、H 4、H 5、 H6、H7中的一个；f) 在写入信息时， 校验字符 A17 和 A18应满足 8 1+8 2+ +8 16+8a17+a18 能被 59 整除而没有余数； 17a 16a 2ag) 在读取信息时，若 59 不能除尽 8 1 +8 2+ +8 16+8a17+a18，则出现错码。 17a 16a 2a7GB/T X

12、XXXX XXXX表4 字符的数值ASC字符 ASC十进制值数值ASC字符 ASC十进制值数值- 45 13 H 72 40. 46 14 I 73 410 48 16 J 74 421 49 17 K 75 432 50 18 L 76 443 51 19 M 77 45表4 字符的数值（续）ASC字符 ASC十进制值数值ASC字符 ASC十进制值数值4 52 20 N 78 465 53 21 O 79 476 54 22 P 80 487 55 23 Q 81 498 56 24 R 82 509 57 25 S 83 51A 65 33 T 84 52B 66 34 U 85 53C

13、67 35 V 86 54D 68 36 W 87 55E 69 37 X 88 56F 70 38 Y 89 57G 71 39 Z 90 586.3实施建议错码检验方法可由计算表达式 8 1+8 2+ +8 16+8a17+a18直接进行，校验字符可由完整的检验方法 17a 16a 2 a求得，也可使用以下三种简便的方法来降低复杂程度：a) 由于只需关注用 59 除 8 1+8 2+ +8 16+8a17+a18 后所得的余数，每次运算后，反复减去 59， 17a 16a 2a直到结果小于 59为止，这样可避免大数运算；h) 利 用 Horner 定 律 ， 可 把错码检验式 8 1+8

14、2+ +8 16+8a17+a18 重 新 排 列 成 式 17a 16a 2aa18+8(a 16+ +8(a 3+8(a 2+8a1) ), 通过该式可采用一系列乘法和加法由里往外逐项计算；i) 一个数乘以 8，可以用这个数自身连续三次相加来实现。6.4错码检验的一种算法进行错码检验时， 可方便地把每个单独字符的位置想象成一个校验和数。这个分校验字符既可以校验前面所有的字符， 也可以校验目前的该字符。因此，使用 Horner 定律时， 可计算出一个滚动的校验和数( 即按顺序计算每个分校验和数 ) ，从而引出下述算法：a) 将前一个字符位置的校验和数与当前位置字符的数值相加 (对于第一个字符

15、位置，前面的校验和数值为零 ) ，若结果等于或大于 59，则减去 59，该剩余数在 058 之间；b) 将 6.4 a ）的结果与当前位置字符的数值相加，若结果等于或大于 59，则减去 59；8GB/T XXXXXXXXXc) 将 6.4 b ）的结果与指当前位置字符的数值相加，若结果等于或大于 59，则减去 59。该步的结果便是前一字符位置校验和数的 8 倍，其模为 59；d) 将 6.4 c ）的结果与当前位置字符的数值相加，若结果等于或大于 59，则减去 59。该步的结果便是当前字符位置的校验和数；e) 对每一个字符位置重复进行 6.4 a ）6.4 c ）的运算，若最后一个字符位置校验

16、和数不为零，则出现了错码。6.5 产生校验字符的算法6.5.1 假定校验字符为 A0，即第 1 个校验字符是字母 A，第 2 个校验字符是数字 0。6.5.2 按 6.4 错码检验方法计算最后的校验和数。如果结果为零，则校验字符正确，停止计算。6.5.3 若按 6.4 b) 的步骤计算结果不为零，则从 59 中减去该数，得到一个介于 158 之间的数。6.5.4 将 6.4 c) 的计算结果转化为二进制。6.5.5 将二进制数的最后 3 位与假定的第 2 个校验字符 0 相加，所得的数值对应于 ASC字符介于 07 之间。6.5.6 将二进制数中下一个较高的 3 位与假定的第 1 个校验字符

17、A 对应的数值相加，所得的数值对应于 ASC字符介于 AH之间。6.6 举例说明6.6.1 为了说明校验字符产生的方法，假定该条信息只有两个字符数字 2 和 3 组成。假定校验字符是A 和 0，得到的组合信息为 23A0。6.6.2 采用 6.5 中描述的方法，得到最后校验和数为 33。因为其不为 0，从 59 中减去 33，得到十进制数 26，即二进制数 011010。6.6.3 后 3 位有效数字为 010( 十进制值 2) 与 ASC字符 0 的数值 16 相加， 等于 1 8（ASC字符 2 对应的数值）。6.6.4 下一个较高的 3 位是 011( 十进制值 3) ，与 ASC字符 A 的数值 33 相加，等于 36(ASC字符 D对应的值 ) 。最后的组合信息为 23D2。9GB/T XXXXXXXXXA