电子厂洁净室空调系统简介PPT课件

.,1,電子廠潔淨室空調系統簡介,.,2,大纲,洁净空调特性,空气循环系统换气次数FFU系统,濕空氣性质及处理性质焓湿图处理程序,MAU结构功能,.,3,洁净室空调系统特性（一）,温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在2527,相对湿度为5570；而洁净室空调分别为2223,相对湿度为4045。对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。,.,4,洁净室空调系统特性（二）,气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在0.3C，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图）运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。,.,5,空气循环系统,風管系統FFU系統軸流風機系統,空氣循環系統功能潔淨度之控制溫度之控制濕度之維持,潔淨室熱源分佈,空氣循環量氣流方式,.,6,空氣循環量,空气循环量1.洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环掌握。2.换气次数：表示空气循环量的重要参数。N=空气循环量室内体积以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M,空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄光区的换气系数为360次/小时。（图示）普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。,.,7,空氣循環量及氣流,3.以非常高的换气次数达到控制室内温湿度的波动在设计要求范围内，并迅速排除微尘粒子。气流1.气流速度：根据试验发现，气流速度低于0.2M/S或高于0.7M/S均容易产生涡流，所以目前洁净室风速一般取0.250.5M/S范围之间。2.保持均一稳定的层流，是达到洁净度稳定效果的重要因素。3.障碍物对气流的影响：制程设备、人员、照明器具等。在调试阶段，我们投入大量人员和时间对洁净室内的FFU风速、气流平行度进行调整，使其符合设计要求。,.,8,MAU,外氣空調箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預處理氣態分子之控制,MAU,外氣空調箱结构,.,9,濕空氣性质及处理,湿空气性质温度高的空气吸收水的能力强。相对湿度：濕空氣水蒸汽分壓與同溫度飽和狀態下水蒸汽分壓之百分比，稱之相對濕度，單位為%RH。,相對濕度越高，空氣之吸濕能力將越弱；反之，相對濕度越低，空氣之吸濕能力則越強；當相對濕度達100%時，稱之飽和狀態，此時之濕空氣不再具吸濕能力。以熱水盤管對濕空氣加熱，溫度將提高，此時濕空氣之絕對濕度不變，但提高後之溫度，其飽和狀態下之絕對濕度將提高；因此，濕空氣之相對濕度將降低。,.,10,電子廠濕空氣處理程序,冷卻除濕,冷卻,加熱,等溫加濕,蒸發冷卻,100%,.,11,夏季空氣處理程序,.,12,冬季空氣處理,.,13,外氣處理空調箱,Pre-filter(EU3),Medium-filter(EU6),CoolingCoil(Step1),CoolingCoil(Step2),OA,MA,AirWasher,Celldeck,Re-heatingCoil,Fan,ChemicalFilter,HEPA(EU12),Back-draftDamper,Eliminator,FreezeProtection,.,14,潔淨室熱源分佈,.,15,FFU系統示意图,.,16,風管系統(循環空調箱兼處理外氣),潔淨度、溫度及濕度控制,.,17,FFU系