半导体工艺简介 (2)ppt课件

Drypump,设备部技术三科沈吉,真空定义,真空是在某个区域压力低于大气压真空范围低真空(LoworRoughVacuum-LV)：-760to10-3Torr高真空(HighVacuum-HV)-103to10-8Torr超真空(Ultra-HighVacuumUHV)-10-8to10-12Torr,2,真空Pump工作范围,在ETCH和Thinfilm设备通常用Drypump&Turbopump将大气抽至一定真空符合process工艺需求。由于Drypump抽真空能力有限，在ATM-500mT之间表现良好，然后用Turbopump将环境抽至HighVacuum。,3,KashiyamaDryPump,ComparisonofPumpingMechanism,4,KashiyamaDryPump,ComparisonofPumpingTemperature,5,Pump运转的五个要素&故障原因,1水6-8L/min2氮气（GN216-22pam3/sec）3电源（200V220V）4气密良好之前端管路5吸风良好之Exhaust管路Pump的故障可以分为三种：1，Alarm,pump仅显示故障并告之连线机台但pump并不停机。2，Trip：pump显示故障信号告之连线机台，Pump立即停机。3，Error：电装置发生故障或pump内部连线松脱，Pump立即停机。其原因可能为BPMotor电流高MPMotor电流过高，Casing的温度过高，BP或MPMotor过载，SealN2或DILN2流量过低，Pumpbox温度过高。对于BPorMP温度过高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust压力升高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，冷却水减少。5，齿轮坏掉。对于Casing(130deg.c)温度过高，可能由以下原因引起：1，Exhaust压力升高。2，电力供应有问题。3，生成物堆积。4，接头处气体流通不畅。,6,Kashiyamapump,转子底部排气的间隙宽阔【6mm】,生成物徐徐刮向排气侧,短捷的排气路径【180mm】,在真空侧没有轴承的支撑,螺旋转子螺旋式转子具有的高温特性耐腐蚀性的材质,Inlet,ROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蚀特性的Ni合金材料合金材、再于表面进行Ni-Coating处理进一步发挥了耐腐蚀性的性能！,竖式螺旋转子:针对产生大量生成物的严酷制成用,7,转子排气侧的间隙宽阔,H=6mm,具有克服生成物沉积，和容易再启动强的优越性,具有刮除生成物的效果根据矩形直角的特点，Screwrotor在高速运转时可将附着在Casing上的生成物徐徐刮向排气侧而容易被排除,高温的Rotor特性因为真空室温度较高，所以反应气体很难附着,Rotor温度180度,Exhaustgas温度200,8,鲁式泵:根据同期马达和单纯的本体构造、实现了节省能源和耐久性的双向要求。,Motor+MotorDriver以同期马达加驱动器的组合，达到了精密控制转速的可能、从而获得以下的优越性。实现在大气状态开始时的驱动节省能源严密性的提高小型化,Gear,RootsRotor,9,排气原理,10,MUDryseries,MUDryseriesDrypump比以前的Drypump实现极限小型化轻量化省能量化，以对应装置组合（Ontool）用轻负荷所开发的Drypump。特点）Pump构造及采用同步Motor相比实现了小型化(我社容积比：75)、轻量化（我社比：60%）。）以Pump构造的最适化实现了冷却水（我社比：50%）、N使用量（Clean排气用时不用）等能量的减少。）以采用Motordriver大幅减少了Pump启动时的突入电流。在电源频率为地域也是同一性能。,11,MUDRYSeries,MUDR