《大位移传感器》PPT课件.ppt

大位移传感器 磁栅式传感器 光栅式传感器 感应同步器 激光式位移传感器 5 5磁栅传感器 1磁栅的结构磁栅传感器由磁栅 简称磁尺 磁头和检测电路组成 磁尺是用非导磁性材料做尺基 在尺基的上面镀一层均匀的磁性薄膜 然后录上一定波长的磁信号而制成的 磁信号的波长 周期 又称节距 用W表示 磁信号的极性是首尾相接 在N N重叠处为正的最强 在S S重叠处为负的最强 磁尺的断面和磁化图形如图5 7所示 磁栅传感器 磁栅价格低于光栅 且录磁方便 易于安装 测量范围宽可超过十几米 抗干扰能力强 磁栅可分为长磁栅和圆磁栅 长磁栅主要用于直线位移测量 圆磁栅主要用于角位移测量 磁栅传感器主要由磁尺 磁头和信号处理电路组成 磁栅的外形及结构 磁尺 静态磁头 去信号处理电路 固定孔 磁头与磁尺相对运动时的输出波形演示 图5 7磁栅传感器示意图 5 4 2磁栅的工作原理这里以静态磁头为例 简要说明磁栅传感器的工作原理 静态磁头的结构如图5 7所示 它有两组绕组N1和N2 其中 N1为励磁绕组 N2为感应输出绕组 在励磁绕组中通入交变的励磁电流 一般频率为5kHz或25kHz 幅值约为200mA 励磁电流使磁芯的可饱和部分 截面较小 在每周期内发生两次磁饱和 磁饱和时磁芯的磁阻很大 磁栅上的漏磁通不能通过铁芯 输出绕组不产生感应电动势 只有在励磁电流每周两次过零时 可饱和磁芯才能导磁 磁栅上的漏磁通使输出绕组产生感应电动势e 可见感应电动势的频率为励磁电流频率的两倍 而e的包络线反映了磁头与磁尺的位置关系 其幅值与磁栅到磁芯漏磁通的大小成正比 图9 86磁通响应型单拾磁磁头结构 a 磁场分布 b 磁头结构 鉴相型磁栅数显表的原理框图 磁尺与磁头接触 使用寿命不如光栅 数年后易退磁 设置两个磁头的意义何在 双磁头是为了识别磁栅的移动方向而设置的 其结构如图9 87所示 两磁头按 m 1 4 配置 m为正整数 它们的输出电压分别是 由于单磁头读取磁性标尺上的磁化信号输出电压很小 而且对磁尺上磁化信号的节距和波形要求高 因此可将多个磁头以一定的方式串联起来形成多间隙磁头 如图9 88所示 图9 87双磁头结构 图9 88多间隙磁头 磁栅测量系统 压板 磁头 磁尺 磁栅在磨床测长系统中的应用 磁尺 磁头安装在何处 光栅传感器 1光栅的类型与结构实际应用的光栅有透射光栅和反射光栅 按其工作原理可分为黑白光栅 幅射光栅 和相位光栅 炫耀光栅 按其用途可分为直线光栅和圆光栅 如图5 8所示 黑白透射直线光栅是在镀有铝箔的光学玻璃上 均匀地刻上许多明暗相间 宽度相同的透光线 称为栅线 设栅线宽为a 线间缝宽为b a b W称为光栅节距 栅距 通常a b W 2 也可刻成a b 1 1 0 9 目前常用的光栅每毫米刻成10 25 50 100 250线 使用时 长光栅装在运动部件上 称为标尺光栅 短光栅装在固定部件上 称为指示光栅 反射式光栅 透射式光栅 透射式圆光栅 固定 长光栅 直线位移 圆光栅 角位移 构成 主光栅 标尺光栅 定光栅 指示光栅 动光栅 长度 测量范围 刻线密度 测量精度 10 25 50 100 125线 mm 长光栅 圆光栅 工作原理 透射光栅 6 2常用典型位置检测装置 标尺光栅 指示光栅 标尺光栅固定在机床活动部件上指示光栅安装在读数头内 2 光栅读数头 b 敞开式光栅尺 a 封闭式光栅尺 c 长度计 六 光栅产品简介 尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 与移动部件固定 扫描头安装孔 可移动电缆 光栅的外形及结构 防尘保护罩的内部为长磁栅 扫描头 与移动部件固定 光栅尺 可移动电缆 光栅的外形及结构 续 5 5 2莫尔条纹的形成原理与特点1 莫尔条纹的形成原理按照光学原理 对于栅距远大于光波长的粗光栅 可以利用几何光学的遮光原理来解释莫尔条纹的形成 如图5 9所示 当两个有相同栅距的光栅合在一起 其栅线之间倾斜一个很小的夹角 于是在近乎垂直于栅线的方向上出现了明暗相间的条纹 例如在h h线上 两个光栅的栅线彼此重合 从缝隙中通过光的一半 透光面积最大 形成条纹的亮带 在g g线上 两光栅的栅线彼此错开 形成条纹的暗带 当a b W 2时 g g线上是全黑的 图5 9莫尔条纹原理 a 莫尔条纹的形成 b 莫尔条纹的宽度 2 莫尔条纹的宽度横向莫尔条纹的宽度B与栅距W和倾斜角 之间的关系 可由图5 9 b 求出 当 角很小时 5 5 3 莫尔条纹的特点式 5 5 说明莫尔条纹具有以下特点 1 对位移的光学放大作用 即把极细微的栅线放大为很宽的条纹 便于测试 例如 10 则 若W 0 01mm 则B 3 34mm 2 连续变倍的作用 其放大倍数可通过使 角连续变化 从而获得任意粗细的莫尔条纹 3 对光栅刻线的误差均衡作用 光栅的刻线误差是不可避免的 由于莫尔条纹是由大量栅线共同组成的 光电元件感受的光通量是其视场覆盖的所有光栅光通量的总和 具有对光栅的刻线误差的平均效应 从而能消除短周期的误差 例如对50线 mm的光栅 W 0 02mm 用5mm 5mm的光电池接收 光电池视场内覆盖250条栅线 若每条刻线误差为 0 0 001mm 则平均误差 4 莫尔条纹的移动方向当主光栅沿栅线垂直方向移动时 莫尔条纹沿着夹角 平分线 近似平行于栅线 方向移动 莫尔条纹移动时的方向和光栅夹角的关系见表5 1 表5 1莫尔条纹和光栅移动方向与夹角转向之间的关系 5 莫尔条纹测量位移的原理光栅每移过一个栅距W 莫尔条纹就移过一个间距B 通过测量莫尔条纹移过的数目 即可得出光栅的位移量 由于光栅的遮光作用 透过光栅的光强随莫尔条纹的移动而变化 变化规律接近于一直流信号和一交流信号的叠加 固定在指示光栅一侧的光电转换元件的输出 可以用光栅位移量x的正弦函数表示 如图5 10所示 只要测量波形变化的周期数N 等于莫尔条纹移动数 就可知道光栅的位移量x 其数学表达式为 x N W 图5 10光电元件输出与光栅位移的关系 光栅尺及数显表 光栅尺在机床导轨上的安装 2 光栅尺的安装与调整 1 床身 2 光栅尺 3 扫描头 4 滚珠丝杠螺母副 5 床鞍光栅尺在机床上的安装示意图 光栅在数控车床上的安装位置 三 光栅 三 光栅 光栅在数控镗铣床上的安装位置 为光栅设计的专用数据转接器 光栅计数卡 内部包含以下电路 放大 整形 细分 辨向 报警 阻抗变换等 为光栅设计的专用信号处理单元 光栅插补器 功能同上页 光栅在机床上的安装位置 2个自由度 光栅在机床上的安装位置 3个自由度 数显表 光栅在机床上的安装位置 3个自由度 续 2自由度光栅数显表 X位移显示 Z Y 位移显示 3自由度光栅数显表 光栅数显表 续 三座标数显表 SDS8 3E光栅数显箱功能 公制 英制转换绝对 相对转换线性误差补偿正反方向计算归零插值补偿到达目标值停机PCD圆周分孔200组零位记忆电蚀深度目标值显示实时工作位置显示掉电记忆 光栅数显表 续 设定按键 安装有直线光栅的数控机床加工实况 防护罩内为直线光栅 光栅扫描头 被加工工件 切削刀具 角编码器安装在夹具的端部 感应同步器 5 3 1感应同步器的结构和种类1 直线式感应同步器的结构直线式感应同步器的定尺和滑尺 都由图中的基板 绝缘层和绕组构成 绕组的外面包有一层与绕组绝缘的接地屏蔽层 如图5 4所示 定尺安装在静止的机械设备上 与导轨母线平行 滑尺安装在活动的机械部件上 与定尺之间保持均匀的狭小气隙 滑尺相对定尺而移动 直线式感应同步器定尺和滑尺的基板采用铸铁或其他钢材做成 这些钢材的线膨胀系数应与安装感应同步器的床身的线膨胀系数相近 以减小温度误差 在定尺和滑尺上腐蚀成印制电路绕组 绕组的材料为铜 考虑到接长的要求和安装的方便 将定尺绕组做成连续式 由一连串线圈串联而成 而将滑尺绕组做成分段式 并分别为正弦绕组 S绕组 和余弦绕组 C绕组 它们在空间位置上错开而形成90 相位差 如图5 5所示 sin cos 节距 0 5mm 定尺 滑尺 图9 84感应同步器结构示意图 2 感应同步器的工作原理 1 对滑尺上的绕组通以交流电 根据电磁原理 将在定尺绕组上感应出电压 定尺绕组中感应电压是滑尺上正弦绕组和余弦绕组所产生的感应电压的矢量和 滑尺每移动一个节距 定尺上感应电压按余弦规律变化一周 2 由于定尺上感应电压变化的周期与滑尺相对定尺移动的节距2 对应 而节距又与工作台的实际位移x有关 从而可以间接对工作台的位移进行检测 这就是感应同步器的工作原理 2 直线式感应同步器的种类根据不同的运行方式 精度要求 测量范围 安装条件等 直线式感应同步器可设计成各种不同的尺寸 形状和种类 1 标准型 标准型直线感应同步器精度高 应用最普遍 每根定尺长250mm 如果测量长度超过175mm时 可将几根定尺接起来使用 甚至可连接长达十几米 但必须保持安装平整 否则极易损坏 2 窄型 窄型直线同步感应器中定尺 滑尺长度与标准型相同 仅是定尺宽度为标准型的一半 用于安装尺寸受限制的设备 精度稍低于标准型 3 带型 定尺的基板改用钢带 滑尺做成滑标式 直接套在定尺上 安装表面不用加工 使用时只需将钢带两头固定即可 4 三重型 在一根定尺上有粗 中 精三种绕组 以便构成绝对坐标系统 5 3 2感应同步器的工作原理感应同步器利用定尺和滑尺的两个平面印刷电路绕组的互感随其相对位置变化的原理 将位移转换为电信号 感应同步器工作时 定尺和滑尺相互平行 相对放置 它们之间保持一定的气隙 0 25 0 005 mm 定尺固定 滑尺可动 当滑尺的S和C绕组分别通过一定的正 余弦电压激励时 定尺绕组中就会有感应电势产生 其值是定 滑尺相对位置的函数 几点说明 感应同步器的测量周期为其绕组的节距2 2mm 感应同步器的测量精度取决于测量电路对输出感应电压的细分精度 现在商品化的感应同步器的输出大多是脉冲量 使其能方便地采用现代的数字处理技术用途 长感应同步器目前被广泛地应用于大位移静态与动态测量中 例如用于三坐标测量机 程控数控机床及高精度重型机床及加工中测量装置等 圆感应同步器则被广泛地用于机床和仪器的转台以及各种回转伺服控制系统中 四 直线感应同步器 感应同步器的优点是 具有较高的精度与分辨力 其测量精度首先取决于印制电路绕组的加工精度 温度变化对其测量精度影响不大 感应同步器是由许多节距同时参加工作 多节距的误差平均效应减小了局部误差的影响 抗干扰能力强 感应同步器在一个节距内是一个绝对测量装置 在任何时间内都可以给出仅与位置相对应的单值电压信号 因而瞬时作用的偶然干扰信号在其消失后不再有影响 平面绕组的阻抗很小 受外界干扰电场的影响很小