设备部周报课件.ppt

EEWeeklyReport-W1724(06/1106/17),PreparedbyEE,Jun.16th.2017,W1724Fab8EEWeeklyReport,Highlight/lowlightNAWeeklyDepartmentKPIsummaryandreviewY1-EIS98.68%（Target99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact0.05%，ISO影响0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF漏晶TotalImpact约0.21%本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，HoldWafer重工Impact约0.16%Projectstatusupdate60%设备拆装机进度ISO03报警信息：无报警机台不下料AbnormalSituation&Maintenanceschedule:RootCause台达和CT两边的通信，由于时间长未下料而中断，预防措施由于对机台不熟悉，还没有找到。,11:1011:20,异常时间,处理过程,现象：无报警机台不下料处理：1.手动抓取要下料的BOAT到Shuttle,自动开始，出现报警timeout:WSL-S-REQareset,TimeoutwaitingforEWH-Busy=TRUE,1.复位报警，不动作，还重复报警.2.手动抓BOAT到Store，重新设置好状态，重启CT端的CMI电脑和软件，以及台达端的电脑和软件，复位台达端，自动运行，还是不下料,13：30,11:2011:50,11：5013：20,1.详细比对各状态，发现异常点，按照方法处理,EE：曾小红,1.交给制造部生产。,DIFF08异常停机报告,EE：曾小红,无报警，有冷却好的满舟在Store,自动运行不下舟，显示信息：Shuttle:NOShuttleShuttle:FreeShuttletohandleWSLR-REQ:0WSLReadyTOReceiveAjob:1EWHR-REQ:1EWHReadyTOReceiveAjob:1舟不到Shuttle上1.按自动开始键，Shuttle前进一小段距离以后，出现报警timeout:WSL-S-REQareset,TimeoutwaitingforEWH-Busy=TRUE2.手动推动Shuttle到达台达端底部，两边机台都按自动运行键，ShuttleTohandle改变为NoShuttle3.手动推动Shuttle到CT端Lift位置附近，点击tolift,（如果tolift是灰色，则点击handshakeReset）然后显示Shuttle:NOShuttleShuttle:FreeNOShuttleWSLR-REQ:0WSLReadyTOReceiveAjob:0EWHR-REQ:1EWHReadyTOReceiveAjob:14.自动运行正常,0612DIFF03VacuumPumpTripIssue,Description0612DIFF03occurredvacuumpumptripissue.Time6/1213:1615:17AnalysisVacuumpump因內部磨損導致breakertiprRootcauseVacuumdamageAction更換vacuumpump.Testnormal.ReleasetoMFG.,Alarmcode,Vacuumpumpdamage,0612DIFF08BoatCollisionIssue,Description0612DIFF08occurredboatcollisionissue.Time6/1204:4212:10Analysis緩衝彈簧衰退導致arm歪斜觸發sensorRootcauseSpringdamageAction更換arm底座Testnormal.ReleasetoMFG.,arm歪斜觸發sensor,DIFF08漏晶异常Issue,Description0609白班DIFF08出料发现有间断性漏晶Time6/0906/14Analysis硅片在搬运过程有摩擦，导致漏晶Rootcause调整Lot4和Lot5插片和收片的点位石英晶舟的精度不佳，造成硅片插入时摩擦到晶舟下横梁Action观察每个Boat出料后的硅片情况，有固定出现漏晶的Boat，下线更换测试插片和吸片的点位，以及轻微调整OK一边生产一边跟踪和调试.后续观察跟踪（6月14完成）,出料到Carrier发现漏晶,0612DIFF08-1阻值异常Issue,Description0612夜班EE巡线发现DIFF08-1炉门打开，桨不动Time6/1216:1421:56Analysis机台卡桨，没有蜂鸣报警声音报警声音的PLC控制线松动，接触不良Rootcause桨上升到高位以后，晶舟在桨上的位置有偏差，出舟检测到位置偏差，造成卡桨Action手动拉出Paddle,接回报警蜂鸣线。Test蜂鸣和桨OKReleasetoMFG.其他炉管和机台测试蜂鸣（6月13完成）CostHold500PCS,Alarmcode,蜂鸣器PLC控制线,0615CVD09刮伤Issue,Description0615CVD09059舟出料发现刮伤Time6/1510：30Analysis1.检查发现石墨舟上料时未到位，因偏移2mm，未超出机台侦测范围，所以机台未发出警报2.手动测试石墨舟定位气缸，发现伸缩不到位，导致石墨舟位置错误，上料掉片。RootCause石墨舟定位气缸衰退Temporarycountermeasures更换气缸纳入月保养项目6/23曾小红Cost此异常造成刮伤hold153pcs,气弹簧衰退,ITX02傳輸速度慢說明报告,Issue：傳輸速度慢Analyze：carrier傳輸在OF-03時，HF/HNO3-1正常時不進料，其狀態處於ready狀態檢查機台工藝recipe與ITX01作對比，無異常檢查OF-3前機台設定時間，以及運行速度，無異常檢查OF-03后手臂運行速度，時間設定與ITX01作對比，無異常疑是傳輸時間異常injection（set)intervaltime與ITX01作對比相差較大Action：將機台間隔時間設定由300S100SCurrentstatus:運行狀況已經達到之前正常run（9run）Result：機台進料時間間隔設定過大導致進料速度慢，目前機台已經正常運行Nextaction:1.對數據進行保存記錄（權限無法限制設定）2.宣導PE/MFG/EE所有人員禁止變動，如有變動請EE人員確認,36NSPProperty,ITX01NH4OHchucksensor異常報告,Issue：6/1506：42Robot02chucksensorerrorAnalysis：手臂經常與NH4OH接觸，表面容易形成結晶手臂上位時，第二個Sensor處於上位後不下降sensor表面有結晶造成此異常Rootcause：Sensor表面有結晶物Action：清潔sensor表面結晶，確認OK後交於製造生產ITX01&ITX02對應位置sensor水平展開清潔完畢-6/15Preventivemeasures:與製造協商，每週停機半小時對機台sensor進行清潔動作Impact：hold200pcs待重工,ISO1编码器异常报告,Issuedescription:異常時間：6/1115:47-18:20異常現象：M01槽不铺水AbnormalSituation&Maintenanceschedule:Possiblecause:1.M01槽编码器损坏（129pcs）Temporarycountermeasures:1.暂从ISO3M01槽拆过来2.已建库存，仓库还未到货-6/193.需夜班持续观察,15：47-16：36,處理過程,在上料看到M01槽不铺水2.立即暂停上料机，3.手动遮挡sensor，也不出水，过一会又有水，判断为M01槽编码器损坏3.到仓库领用备品更换，仓库备品还未到货,16：36-18：20,从ISO03M01槽拆个编码器，装到ISO01M01槽,18：20-,机台运行两小时未发现铺水膜异常现象,ISO1M03槽第6，7道叠片异常报告,DescriptionM03槽喷淋处track6&track7道卡片叠片Time6/1314:5815:26Analyze：Wafer于M02槽旋转后内裂，碎片卡在M03槽喷淋处下滚轮之间卡片叠片发生位置没有到检知sensor处，无报警提示Action关闭M03槽喷淋，打开喷淋护罩。取出滚轮，并处理卡片叠片。Improvementmeasures加强M02槽wafer运行状况巡查，及时取出槽体内裂管控内裂破片进入槽体，自检上料状况CostBK78pcsHold47pcs,ISO01破片排查報告,Issuedescription异常时间：6/10破片排查报告异常现象：ISO01机台内裂&槽体叠片AbnormalSituation:ISO01机台频繁发生机台内裂Analysis：检查ISO01各槽体滚轮传输-无异常检查上料各点位及手臂抓取情况-无异常生产重工料3700pcs破片65pcs重工料进入ISO机台出现内裂现象。RootcauseDiff站生产重片过薄Action：检测Wafer厚度为.6正常厚度为.0；ISO机台出现内裂片及时处理，避免造成品质异常；,BKReworkwafer,Normalwafer,ITX03开机时异常报警,Issuedescription异常现象：5/6开机驱动器报警无法消除异常时间：5/6AbnormalSituation&Maintenanceschedule:,5/6,处理过程,5/6,刚开机时4个Robot手臂驱动器全部报警，无法消除，控制手臂的PLC也有警报。手动和自动模式状态显示灯都亮的，厂商根据分析为程式混乱,异常现象：5/6开机驱动器报警无法消除,Temporarycountermeasures1.自行检查机台线路,Rootcause程式错