（光学专业论文）分数傅立叶滤波改善光刻成像质量.pdf

分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量 光学专业 研究生杨静指导教师杜惊雷 随着微电子和信息技术的飞速发展，高密度、高速度、超高频微电子器 件不断推陈出新，促使微细加工技术不断向着超精细领域发展，对传统光学 光刻技术的分辨本领提出更高的要求。 传统光学光刻中提高分辨率往往是以牺牲系统焦深为代价的。为了协调 这种矛盾，利用波前工程来改善光刻图形的质量以提高光刻分辨率，已广泛 地应用于光学光刻中，如：瞳孔滤波、相移掩模、离轴照明、光学邻近效应 校正等。以上几种方法均能一定程度的改善光刻图形质量，但也有一些技术 或工艺方面的局限。因此，有必要拓宽波前工程学的研究内容，发展光刻分 辨率增强新技术和新方法。 分数傅立叶变换( f r a c t i o n a lf o u r i e l - t r a n s f o r m - 简称f r t ) 是更广 义的傅立叶变换。分数傅立叶光学是将数学中的分数傅立叶变换引入光学而 形成的现代光学新分支，它是傅立叶光学的发展和延拓，它可以使我们用一 个新的观点去审视光的传播、成像、信息处理等问题，并为我们提供一种新 的工具去处理这些问题。分数傅立叶变换由于具有分数阶这一参量，使得它 比普通傅立叶变换具有更多的功能，从而导致它在光学和信息处理中必将有 更多的应用。但目前尚未见分数傅立叶域滤波应用于改善光学光刻成像分辨 率方面的其他研究报道。 基于部分相干成像理论和分数傅立叶变换滤波等理论。我们提出了利用 分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量的波前工程新思想和新方法。分数傅立 叶变换滤波比常规傅立叶变换滤波增加了新的自由度，可以在非频谱面的分 数傅立叶变换面上进行滤波操作，大大提高了滤波片设计的灵活性，滤波片 加放位置更方便、更合理，并可更有效地提高光刻图形质量。 本论文初步建立了分数傅立叶域滤波改善部分相干成像质量的理论、方 法和滤波器优化设计算法。利用自编软件对光刻成像分数域滤波过程进行了 模拟分析。计算机模拟结果表明，通过在非瞳孔面的适当分数傅立叶变换面 上加入优化设计的位相型滤波器，可有效减小光刻图形的线宽偏差和面积偏 差，提高成像系统的分辨率和焦深，为分数域滤波改善光刻图形质量实验的 开展和这一分辨率增强技术走向实用化提供了指导依据。 关键词：分数傅立叶域滤波；光学光刻：波前工程：分辨率：焦深 f r a c t i o n a lf o u r i e rd o m a i nf i l t e r i n ga p p l i e d t o i m p r o v e i m a g eq u a li t yi np h o t o lit h o g r a p h y m a j o r ：o p t i c s g r a d u a t e ：j i n gy a n g s u p e r v i s o r ：j i n g l e id u w i t ht h e d e v e l o p m e n to fm i c r o - e l e c t r o n i c sa n di n f o r m a t i o np r o c e s s i n g ， m i c r o e l e c t r o n i cd e v i c e sw i t hh i g h d e n s i t y , h i g hv e l o c i t ya n ds u p e r f r e q u e n c yh a v e b e e ng e tr i do ft h es t a l ea n db r o u g h tf o r t ht h ef r e s h ，w h i c hv a s t l y p r o m p tt h e d e v e l o p m e n to f t h em i c r of a b r i c a t i o nt e c h n o l o g i e st ot h ef i e l do ft h eh y p e r f i n e ， a n dp u tf o r w a r dt h eh i g h e rr e q u i r e m e n tf o rt h er e s o l u t i o no ft h ec o n v e n t i o n a l p h o t o l i t h o g r a p h y w ei n c r e a s e dt h er e s o l u t i o ni nt h ec o n v e n t i o n a l p h o t o l i t h o g r a p h y a tt h e e x p e n s eo ft h e f o c a ld e p t h f o rt h ec o o r d i n a t i o no ft h e c o n t r a d i c t o r y ，t h e w a v e f r o n tt e c h n i q u eh a sb e e nr e g a r d e da sa ne f f e c t i v em e t h o dt o i m p r o v et h e i m a g eq u a l i t y i n p h o t o l i t h o g r a p h yb yo p t i m i z i n gt h ei m a g eo ft h em a s k i t i n c l u d e s ：p u p i lf i l t e r i n g ，p h a s es h i f tm a s k ，o f f - a x i si l l u m i n a t i o n ，o p t i c a lp r o x i m i t y c o r r e c t i o n ，a n ds oo n w ec a i li m p r o v et h ei m a g eq u a l i t yb ya b o v em e t h o da ta c e r t a i ne x t e n t ，h o w e v e rt h e r ea r es o m el i m i t a t i o n si nt e c h n o l o g ya n dc r a f t s oi ti s u r g e n t t o d e v e l o pt h ew a v e f r o n te n g i n e e r i n g ，a n df i n dan e wt e c h n o l o g yt o i m p r o v e t h er e s o l u t i o ni np h o t o l i t h o g r a p h y f r a c t i o n a lf o u r i e rt r a n s f o r m ( s h o r t e n e da sf r t 、i st h eg e n e r a l i z e df o u r i e r t r a n s f o r r n f r a c t i o n a lf o u r i e ro p t i c a lb e c o m e san e wr a n c ho f t h em o d e m o p t i c s a f t e rt h ei n t r o d u c t i o no ff r tf r o mm a t h e m a t i c st oo p t i c s i ti s r e g a r d e da st h e d e v e l o p m e n ta n d e x t e n s i o no ff o u r i e ro p t i c s i tn o to n l ym a k e su sl o o ka to p t i c a l p r o p a g a t i o n ，o p t i c a li m a g i n ga n di n f o r m a t i o np r o c e s s i n gf r o man e wp o i n t ，b u t a l s op r o v i d e su san e wt o o lt ot r e a tt h e s ep r o b l e m s i th a sm o r ef u n c t i o n st h a nt h e c o n l l n o nf o u r i e rt r a n s f o r mb e c a u s eo ft h ef r a c t i o n a lo r d e r , w h i c hr e s u l t si nm o r e a p p l i c a t i o n si no p t i c sa n di n f o r m a t i o np r o c e s s b u ta t t h ep r e s e n tt i m et h en e w 0 3 r e s e a r c h e sa b o u tf r a c t i o n a lf o u r i e rd o m a i n f i l t e r i n ga p p l i e dt oi m p r o v ei m a g e q u a l i t yi np h o t o l i t h o g r a p h yh a v e n o tb e e n r e p o r t e d b a s e do nt h et h e o r yo f p a r t i a lc o h e r e n td i f f r a c t i o na n df r t , a na p p r o a c hf o r f r a c t i o n a lf o u r i e rd o m a i n f i l t e r i n gi sp r e s e n t e da san e ww a v e f r o n te n g i n e e r i n g m e t h o dt oi m p r o v et h ei m a g eq u a l i t yi n p h o t o l i t h o g r a p h y c o m p a r e dw i t ht h e c o m m o nf o u r i e r f i l t e r i n g ，f r a c t i o n a l f o u r i e rd o m a i nf i l t e r i n ga d d san e w f r e e d o mi tc a np r o c e s st h ef i l t e r i n g o p e r a t i o ni nn o n - s p e c t r u ms u r f a c e ，w h i c h g r e a t l yi m p r o v e st h ef l e x i b i l i t yo f t h em a s k d e s i g n ，a n dw h i c hm a y b el a y e da s i d e m o r ep r o p e r l ya n d c o n v e n i e n t l y i nt h i s p a p e lt h et h e o r y a n dt h em e t h o do ff r a c t i o n a lf o u r i e r f i l t e r i n g a p p l i e dt oi m p r o v et h ei m a g eq u a l i t yb yt h ep a r t i a lc o h e r e n ti l l u m i n a t i o nh a v e b e e ne s t a b l i s h e d w ee n c o d e da n d o p t i m i z e d t h ef i l t e rt od e s i g nt h ea l g o r i t h mf o r f i l t e r c o m p u t e rs i m u l a t i o no fc o m p l e t es i m u l a t i o nh a sd e m o n s t r a t e dt h a tt h en e w f i l t e r i n gt e c h n i q u ec a ns i g n i f i c a n t l yn o to n l yr e d u c et h ew i d t hr e l a t i v ed e v i a t i o n a n dt h ea r e ar e l a t i v ed e v i m i o no ft h ei m a g e ，b u ta l s oi m p r o v et h er e s o l u t i o na n d t h ef o c a ld e p t h i tp r o v i d e sd i r e c t i v eb a s i sf o rt h ed e v e l o p m e n to ft h ee x p e r i m e n t a n dt h ep r a c t i c a b i l i t yo f t h e t e c h n o l o g y k e y w o r d s ：f r a c t i o n a l f o u r i e rd o m a i n f i l t e r i n g ；p h o t o l i t h o g r a p h y ；t h e w a v e f r o n t e n g i n e e r i n g ；r e s o l u t i o n ；f o c a ld e p t h 0 4 首言 口，f f 大学硕士学位论主 第一章前言 1 1 光刻技术的现状 随着微电子技术的快速发展，集成电路等微电子产品加速了更新换代；新 一代产品性能、功能大大超过前一代，而且价格更便宜。这些高密度、高速度 和超高频器件不断推陈出新，为电子信息技术的不断进步及其得以迅速推广应 用到各领域创造了条件，推动了计算机及其网络技术、移动通讯技术、多媒体 传播等技术的发展，促使人类社会迈向数字化、信息化时代。 能够把集成电路的集成度越做越高得益于微细加工技术的不断进步，特别 是光学光刻技术的不断进步。然而随着微电子技术向着更高集成度的超微细化 发展，也对光刻加工手段提出了愈来愈高的要求。 光刻l l 2 l 是利用一种专门的复制方法把微细图样刻印到半导体薄片上来制 作复杂电路的技术。包括电子束光刻3 矧、x 射线光刻卜1 2 1 和离子束光刻m 1 8 j 和光学光刻技术 1 9 2 2 1 等。与光学光刻相比，用电子束、x 一射线、离子束等非光 学光刻可以达到更好的分辨率，但这些非光学光刻技术或目前尚不具备批量加 工i c 的能力，或尚处于研究阶段，有许多技术问题尚待解决。光学光刻具有 生产率高、易实现高的对准和套刻精度、掩模制作相对简单、工艺条件容易掌 握及良好的继承性等优点，在微电子工业中一直处于主力地位。【2 。”】特别是近 年来，采用更大数值孔径的光刻物镜和进一步缩短曝光波长并结台各种分辨率 增强技术，使光学光刻极限分辨率的预言不断被打破。从二十世纪五十年代末 期开始，光学光刻曝光技术经历了从接触式曝光、接近式曝光【l j 、分步重复投 影式曝光发展到现在的分步扫播投影式曝光技术【2 5 铷1 。目前县际上实用光刻分 辨率已达到0 1f 朋。我国在光学光刻领域研究与国际水平相比还有相当的差 距。 1 2 光学光刻的分辨率增强技术 如前所述，光学光刻向0 1 o n 线条加工技术的发展有两条途径：一是光 前言 日j - i 大学硕士学位论文 刻设备的更新换代，即采用短波长新光源( 如1 9 3 r i m 、1 5 7 n m v u v 等) 和大数 值孔径物镜；二是采用分辨力增强技术发挥现有和新一代光刻设备的潜力实现 高光刻分辨率。9 0 年代初，l e v e n s o n 等提出的基于波前工程思想的一些分辨 力增强技术，为推进光学光刻极限提供了新视点。微光刻中的波前工程是基于 信息光学的基本原理而发展起来的，它采用光学技术手段实现优化光刻图形突 破常规光刻分辨率的极限，以实现光学超分辨。【”3 1 1 光学光刻中的波前工程主要包括：离轴照明、相移掩模【3 ”、光学邻近效应 校正1 3 3 1 、瞳孔滤波f 2 9 ，3 1 1 等。 离轴照明( o i f - a x i si l l u m i n a t i o n ，简称o a i ) 8 0 年代末，光学成像理论中的离轴照明原理被引入光学投影光刻中，该技 术被认为是最有希望拓展光学光刻分辨能力的方法。目前这一技术已经应用到 f c 生产的2 4 8 n r n 光学光刻中，它包括二极照明、四极照明、环形照明、倾斜 照明等方式。离轴照明原理是使入射光束偏离主光轴方向一个倾斜角，以使零 级光和一束一级衍射光通过透镜系统并在光刻胶表面干涉成像。该技术理论上 可以将光刻分辨率提高到o 2 5 九n a ，并且可同时增大焦深。但是离轴照明具有 其局限性，零级光和一束一级衍射光的能量分布不平衡会使曝光图形产生畸 变。而要避免这一现象会大大增加光学成像系统的设计难度。实验证明离轴照 明曝光出来的光刻图形的边缘情况都不太理想，对于接近分辨率极限的特征图 形尤为严重。 相移掩模( p h a s es h i f tm a s k ，简称p s m ) 相移掩模最初由美国的m d l e v e n s o n 于1 9 8 2 年提出。现已从以前的单一 相移技术发展到相移掩模与其他技术相结合，达到提高分辨率和增大焦深的目 的 捌。其基本原理是在高度集成的光掩模中邻近的透明区域上相间隔地增加一 层透明介质( 相移层) 使透过相移层的光与透过相邻无相移层透明区的光产生 相位差，利用光的相干性改变空间光强分布，使更多的能量从低频分配到高频 上，增大空间图象的反差，改善光刻分辨率和焦深。相移掩模种类较多，如弱 衰减型( a t t e n u a t i n gp s m ) 、周边相移型( e d g es h i f t e r sp s m ) 、周期交替 前言 口川支学硕士学位硷文 l e v e n s o n 型、多位相值台阶型、带辅助图形型等。 相移掩模的出现大大推动了光学光刻技术的发展，针对不同图形特点设计 最佳相移层，可最大限度提高光刻图形分辨率、增大焦深。但是，在实际应用 中，相移掩模的制造、检测和修补难度大、成本高，最佳相移器的设计和位置 设置较难，对不同图形效果差别较大。这些大大限制了相移掩模技术的广泛应 用。 光学邻近效应校正( o p t i c a lp r o x i m i t yc o r r e c t i o n ，简称o p c ) 由于光学衍射效应，曝光过程中因邻近图形的影响，光刻出来的图形相对 于设计版图产生畸变，从而严重的降低了光学光刻质量，即产生所谓的光学邻 近效应，邻近效应会导致线条拐角处变圆，线条变短和线条均匀性变差，对微 电子产品的质量和性能有严重危害。对于深亚微米光刻，由于光刻图形的尺寸 已经小到可以和光刻曝光光源的波长相比拟，邻近效应更为严重。邻近效应校 正的思想是对掩模进行预畸变，以改善成像质量。通常的方法通常是改变原有 的版图尺寸和形状，对线条宽度偏置或边角处加衬线，从而使经曝光得到的空 间像的边界特征满足设计要求。o p c 的采用会使修整后的掩模版图数据量增加 近5 倍，使掩模制作更为复杂、耗时，并增加掩模设计制作成本。 瞳孔滤波( p u p i lf i l t e r i n g ，简称p f ) 1 9 9 1 年，h ，f u k u d a 等人首先提出来将空间滤波技术应用在投影光刻系统。 1 3 2 1 。瞳孔滤波改善光刻图形质量的基本思想是利用滤波器适当调整系统瞳孔处 掩模频谱零级光与高频光的振幅和位相关系，使高频尽量多通过，减少低频光 的通过，从而提高图形对比度，达到提高分辨率增大焦深的目的。瞳孔滤波可 采用振幅滤波、相位滤波或复合滤波方式。 瞳孔滤波作为一种新的分辨率增强技术，在光刻方面具有许多显著优越 性。它可以提高成像的对比度，增大焦深，扩展深紫外光刻分辨极限。目前将 瞳孔滤波和相移掩模、离轴照明、光学邻近效应校正等多方面的结合来提高光 刻分辨率和焦深，已成为一种发展趋势。但是瞳孔滤波方法由于加滤波器后部 分光线被遮挡，存在能量损失和滤波片发热等问题。 前言 日j l l 太学项士学位论文 总的来看，以上几种波前工程方法均能一定程度改善光刻图形质量，但也 有一些明显的缺点。随着对光刻分辨率要求的逐渐增高，单靠某一种技术难以 满足i c 加工业对光刻图形加工精度等方面的要求。寻求可有效改善光刻图形 质量的新型分辨力增强技术十分必要。为此我们提出了一种新的波前工程技术 一一投影光刻成像中分数傅立叶域滤波( f r a c t i o n a lf o u r i e rd o m a i n t r a n s f o r mf i l t e r i n g ) 方法。1 3 4 3 5 】 1 3 分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量新方法 1 3 1 分数傅立叶变换的发展概况 分数傅立叶变换( f r a c t i o n a lf o u r i e rt r a n s f o r m ) 是更广义的傅立叶变换。 分数傅立叶光学是将数学中的分数傅立叶变换引入光学而形成的现代光学新 分支，它是傅立叶光学的发展和延拓，它可以使我们用一个新的观点去审视光 的传播、成像、信息处理等问题，并为我们提供一种新的工具去处理这些问题。 分数傅立叶变换由于具有分数阶段这一参量，使得它比普通傅立叶变换具 有更多的功能，从而导致它在光学和信息处理中必将有更多的应用。因此，分 数傅立叶光学已成为近年来信息光学前沿研究的一个热点。 分数傅立叶变换的提出最早可以追溯到1 9 2 9 年【3 “。1 9 3 7 年c a n d o n 在他 的论文中首次提“分数傅立叶变换”的概念1 3 7 l 。1 9 4 6 年，p m d u f f i e u x 把傅 立叶变换的概念引入光学领域傅立叶光学州。1 9 6 1 年b a r g m a n n 指出f r t 可以重新用厄米多项式和积分变换来分别定义，而这二种定义是完全相同的 1 3 9 。1 9 8 0 年n a m i a s 将f r t 应用于求解量子力学中的偏微分方程，他完整的提 出了f r t 的数学定义及性质，并讨论了f r t 的本征函数问题【4 n4 “。1 9 8 7 年 m c b r i d e 和k e r r 提出f r t 是充分光滑的函数厄米一高斯函数，从而将f r t 发展成一个较完整的数学理论【4 。 直到1 9 9 3 年，人们才开始注意到f r t 与光学的关系，并将它成功地引进到 光学，从而开辟了光学信息处理领域中一个崭新的和富有生命力的课题。那一 年o z a k t a s 和m e n d l o v i c 首先利用负二次型渐变折射率介质，将f r t 引进了光 学领域 4 3 埘】。同年l o h m a n n 通过研究f r t 和w i g n e r 分布函数的关系，给出了光 4 前言 日川大学硕士学位论文 学f r t 的另一种定义【4 6 】。1 9 9 4 年m e n d l o v i c 、o z a k t a s 、l o h m a n n 联合发表文 章，证明这两种定义是完全等价的【4 ”。1 9 9 4 年p f i n e t 提出利用菲涅尔衍射 来实现f r t h “。1 9 9 5 年l o h m a n n 提出了用两种简单的透镜和自由空间的组合结 构来实现f r t ，并给出了两种方案，从而使f r t 更便于实际应用，并正式提出 f r t 光学的概念1 4 “。 分数傅立叶变换的最重要参量是它的分数阶，它的引入使得傅立叶变换成 为分数傅立叶变换的一种特殊情况，或者说分数傅立叶变换是傅立叶变换的更 为一般的情况。傅立叶光学中频域也就成为分数傅立叶光学中的连续分布的分 数域中的特殊位置。傅立叶变换中的每一特性和每一种应用都是分数傅立叶变 换的一种特殊情况。因此，在发展已相当完善的使用傅立叶变换和频域概念的 每一领域都存在用分数变换推广和改善的可能性，这就为分数傅立叶光学的发 展提供了广阔的空间，这方面的工作有些已经被研究或被提出。 1 3 2 分数傅立叶滤波在改善光刻成像质量方面的应用 分数傅立叶变换比傅立叶变换多出一个自由度，所以能够处理常规傅立叶 变换很难处理的高频空变信号，同时，不同的分数阶对应于不同的分数傅立叶 变换面，因此分数傅立叶域滤波比常规傅立叶频域滤波更加灵活。本文提出了 在部分相干成像系统中，通过在非傅立立叶频谱面的分数域加入滤波器来提高 光刻分辨率的新方法，即利用分数傅立叶变换，我们可以在非频谱面的其它分 数傅立叶变换面上来进行滤波操作，以提高滤波片设计的灵活性，增加滤波片 加放位置的自由度，更好地起到改善光刻成像质量的目的。 所谓瞳孔滤波通常是指在曝光系统的傅立叶频谱面上加入特定的滤波器。 调整通过系统高低频信息的分布进而改善光刻图形质量的一种方法。新的光刻 成像系统中的分数傅立叶域滤波不同于以往的瞳孔滤波技术，一方面，分数域 滤波器插放位置由系统的结构和所选择的分数阶来决定，增加了滤波片插放位 置的自由度，有利于提高滤波片设计的灵活性和滤波效果。另一方面，由于部 分相干成像分数域滤波操作不仅可调整通过瞳孔高低频信息的分布，也能提高 掩膜信息通过系统的最高空间频率( 这是瞳孔滤波方法难以实现的) ，或起到 前言 日川大学硕士学位论文 合理优化像面光强分布的作用，因此，能更有效地改善光刻图形质量，增强光 刻系统的分辨力。可望为发展光学光刻技术提供一种有效途径。 1 4 本论文的主要内容 在分数傅立叶变换引入光学后，它在光束传输，图象处理，信号滤波等方 面的应用已有多篇文献进行讨论。然而分数傅立叶变换改善光刻图形质量方面 的工作，尚未见任何其他报道。本论文首次开展了分数傅立叶域滤波提高光刻 成像质量的研究。 论文内容安排如下： 第一章：前言。主要介绍光学光刻技术的发展概况以及分数傅立叶变换滤波改 善光刻成像质量的作用。 第二章：分数傅立叶变换滤波光刻成像理论。介绍了光刻成像的基本原理，以 及分数傅立叶变换的定义、性质、光学实现方法。在此基础上通过深入探讨了 分数傅立叶域滤波的原理，建立了分数傅立叶域滤波改善光刻成像质量的基本 思想，推导了分数傅立叶域滤波函数。 第三章：分数傅立叶滤波改善光刻成像质量的模拟研究。应用部分相干成像理 论设计了滤波器优化算法，利用自编软件对多种光学光刻图形进行了模拟分 析。模拟结果表明，使用分数傅立叶域滤波，可显著提高光刻成像系统的分辨 率和焦深，大大改善了光刻成像质量。 第四章：总结。 前言 日川大学硕士学位论文 参考文献 1 顾振军，孙猛，抗蚀剂及其微细加工技术，上海：上海交通大学出版社，1 9 8 5 2 山罔亚夫等，超微细加工材料eo ，j ，日本：c n s 社，1 9 8 5 ，1 8 3 j p s c o o t ，1 ：1e l e c t r o n i m a g ep r o j e c t o r , s o l i ds t a t e t e c h n o l ，1 9 7 7 ，2 0 ( 5 ) ：1 3 3 1 3 8 4 c d i x ，egf l a v i n ，eh e n d ye ta l ，0 1 k ts c a l el i t h o g r a p h yu s i n gac o n v e n t i o n a le l e c u o n b e a m s y s t e m ，jv a c s c i t e c h n o l ，1 9 8 5 ，b 3 ( 1 ) ：1 3 1 1 3 5 5 c r o s e ，l w a n g ，j j u s t e n e ta l ，e v a l u t i o no fan e x t - g e n e r a t i o nv e c t o re l e c t r o nb e a mm a s k p a r e ml i t h o g r a p h ys y s t e m ，s p i e ，1 9 9 8 ，3 2 3 6 ：6 4 - 7 3 6mk a m p ，m e m m e r l i n g ，s k u b ne ta l ，n a n o l i t h o g r a p h yu s i n ga1 0 0 k ve l e c t r o nb e a m l i t h o g r a p h ys y s t e mw i t has c h o t t k ye m i t t e r , j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 9 ，b 1 7 ( 1 ) ：8 6 8 9 7 j p s i l v e r m a n ，c h a l l e n g e s a n d p r o c e s s i n x - r a yl i t h o g r a p h y , j v a c s c i t e c h n o l ， 1 9 9 8 1 6 ( 6 ) ：3 1 3 7 3 1 4 1 8 b s b o l l e p a l l i ，m k h a n ，f c e r r i n a ，a u t o m a t i cm a s kg e n e r a t i o ni nx - m yl i t h o g r a p h y ， 1 9 9 7 ，1 5 ( 6 ) ：2 2 3 8 2 2 4 2 9 s u c h i y a m a m o d a , 下m a t s u d a , x r a ym a s kd i s t o r t i o n c o r r e c t i o nt e c h n o l o g yu s i n g p a t t e r nd i s p l a c e m e n ts i m u l a t o r , j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 6 ，1 4 ( 6 ) ：4 3 3 2 - 4 3 3 5 1 0 m ，o d a , s u c h i y a m a , tw a t a n a b e e ta 1 x r a ym a s kf a b r i c a t i o nt e c h n o l o g yf o ro 1 l - t mv e r y l a r g es c a l ei n t e g r a t e dc i r c u i t s ，j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 6 ，1 4 ( 6 ) ：4 3 6 6 - - 4 3 7 0 1 1 we h r f e l d ，a s c h m i d t ，r e c e n t d e v e l o p m e n t si nd e e px - r a yl i t h o g r a p h y , j ，v a c s c i t e c h n o l ， 1 9 9 8 ，1 6 ( 6 ) ：3 5 2 6 3 5 3 4 1 2 a c c h e n o v e r l a ym o d e l i n g f o r p r o x i m i t y x r a yl i t h o g r a p h y , j v a c s c i t e c h n o l ， 1 9 9 8 ，1 6 ( 6 ) ：3 4 8 5 3 4 9 0 1 3 崔铮，v l s i 曝光技术的现状与未来，微细) m r 技术，( 3 ) ，1 9 9 5 ，1 - 7 1 4 gg r o s s i o n p r o j e c t i o nl i t h o g r a p h y ：n e x tg e n e r a t i o nt e c h n o l o g y , j v a c s c i t e c h n 0 1 1 9 9 7 ，l5 ( 6 ) ：2 13 6 - 2 1 3 8 1 5 j r w a s s o n ，j l t o r r e s ，h r r a m p e r s a de ta l ，i o na b s o r b i n gs t e n c i lm a s kc o a t i n g sf o r i o nb e a ml i t h o g r a p h y , j v a cs c i t e c h n o l ，1 9 9 7 ，1 5 ( 6 ) ：2 2 1 4 2 2 1 7 1 6jc b e c k m a n ，th e c h a n g ，a w a g n e re ta l ，m i n i m u me m i s s i o nc u r r e n to fl i q u i dm e t a l i o ns o u r c e s ，j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 7 ，1 5 ( 6 ) ：2 3 3 2 - 2 3 3 6 1 7 k e d i n g e r , v y u n ，j m e l n g a i l i se ta l ，d e v e l o p m e n to fah i g hb r i g h t n e s sg a sf i e l di o n s o u r c e ，j v a c s c i t e e h n o l ，1 9 9 7 ，l5 ( 6 ) ：2 3 6 5 2 3 6 8 1 8 yl e e ，r a g o u 9 1 1 ，wb k u n k e le ta l ，d e v e l o p m e n to fi o ns o u r c e sf o ri o np r o j e c t i o n l i h t g r a p h y , j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 6 ，1 4 ( 6 ) ：3 9 4 7 3 9 5 0 1 9 y a n o fa r n o l dw ：c u m m i n g sk e v i nd ，s e e s ep h i l i pa ，t h o m p s o nm a t t ，e ta l ，o v e r l a y m e a s u r e m e n ta n d a n a l y s i s o f x - r a y o p t i c a ll i t h o g r a p h y f o rm i x a n d - m a t c hd e v i c e 7 前言 口川大学硕士学位论文 2 0 2 1 2 2 2 3 2 4 2 5 2 6 2 7 2 8 2 9 a p p l i c a t i o n s ，s p i e ，1 9 9 4 ，2 1 9 4 ：3 6 5 0 o t a k aa k i h i r o ，k a w a i y o s h i o ，t a n a k aa k i n o b u ，m a t s u d at a d a h i t o ，s p a t i a l f r e q u e n c y d o u b l i n gm e t h o db yi m a g es u p e r i m p o s i t i o nf o rs u b 一0 1 5 - l s mo p t i c a li i t h o g r a p h y , j a p a n e s e j o u r n a lo f a p p l i e d p h y s i c s ，v 0 1 ( 3 4 ) ，1 9 9 5 1 2 ：6 5 1 8 - - 6 5 2 5 s a n d s t r o mr i c h a r dl ，a r g o nf l u o r i d ee x c i m e rl a s e rs o u r c ef o rs u b 02 5m mo p t i c a l l i t h o g r a p h y , s p i e ，1 9 9 1 ，1 4 6 3 ：6 1 0 - 6 1 6 s c h e n k e rr ，o l d h a mw ，c o m p a c t i o n - l i m i t e ds y s t e ml i f e t i m ei n1 9 3 n mo p t i c a ll i t h o g r a p h y , m i c r o e l e c t r o n i ce n g i n e e r i n g , v o l ( 4 1 - 4 2 ) ，1 9 9 8 ，1 4 1 1 4 4 李志坚，2 1 世纪微电子技术发展展望，院士论坛，2 0 卷3 期，1 9 9 9 ：2 9 3 l 王阳元，张兴，面向2 1 世纪的微电子技术，院士论坛，2 1 卷4 期，1 9 9 9 ：轴1 l h m o r i t z h i g h r e s o l u t i o nl i t h o g r a p y w i t h p r o j e c t i o np r i n t i n g i e e e t r a n s e l e c t r o n d e v i c e s ，1 9 7 9 ，e d 一2 6 ( 4 ) ：7 0 5 7 1 0 j d c u t h b e r t o p t i c a lp r o j e c t i o np r i n t i n g s o l i ds t a t et e c h n 0 1 1 9 7 7 ，2 0 ( 8 ) ：5 9 6 9 a c l i u ，bj l i n ，as t u d yo fp r o j e c t e do p t i c a li m a g e sf o rt y p i c a li cm a s kp a t t e r n s i l l u m i n a t e db yp a r t i a l l yc o h e r e n tl i g h t ，i e e et r a n s ，e l e c t r o nd e v i c e s ，1 9 8 3 ，e d 一3 0 ( 1 0 ) ： 1 2 51 - 1 2 6 3 p c h i e n ，m c h e n ，p r o x i m i t y e f f e c t si ns u b m i c r o n o p t i c a ll i t h o g r a p h y , s p i e ，1 9 8 7 ， 7 7 2 ：3 5 - 4 0 h f u k u d a , tt e r a s w a , s o k a z a k i ，s p a t i a lf i l t e n n gf o rd e p t ho ff o c u sa n dr e s o l u t i o n e n h a n c e m e n ti no p t i c a ll i t h o g r a p h y , j v a c s c i t e c h n o l ，1 9 9 1 ，b 9 ( 6 ) ：3 1 1 3 3 1 1 6 3 0 m s u g a w a r a , hk e i s u k e ，k t s u d a k a e ta l ，e v a l u a t i o no f p h a s e - s h i f t i n gm a s k s f o rd e n s e c o n t a c th o l e s u s i n g t h e e x p o s u r e d e f o u s a n dm a s kf a b r i c a t i o ni a t i t u d e m e t h o d l o g y , j p n j a p p l ，p h y s ，1 9 9 4 ，3 3 ( 1 2 b ) ：6 8 0 1 - - - 6 8 0 8 31 h f u k u d a ，r k a m a n a k a an e w p u p i lf i l t e rf o ra n n u l a ri l l u m i n a t i o ni no p t i c a ll i t h o g r a p h y , j p n ，j a p p l p h y s ，1 9 9 2 ，3 1 ( 1 2 b ) ：4 1 2 6 4 1 3 0 3 2 m d l e v e s o n ，n s v i s w a n a t h a n ，r a s i m p s o n ，i m p r o v i n g r e s o l u t i o ni n p h