标准解读

《GB/T 37030-2018 电子级三甲基铟》是一项国家标准，主要针对用于半导体制造过程中的高纯度三甲基铟产品。该标准规定了电子级三甲基铟的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存的要求。

根据标准内容，对于电子级三甲基铟而言，其纯度是关键指标之一，需要达到特定水平以满足半导体行业的严格需求。此外，还对其中可能存在的杂质种类及其最大允许含量进行了详细限定，包括但不限于金属杂质和其他有机或无机化合物。这些杂质限制旨在确保最终产品的性能不受影响，并能够适用于各种精密的半导体工艺中。

在检测方面，《GB/T 37030-2018》提供了具体的分析测试方法来验证产品质量是否符合上述技术规范，涵盖物理性质测定（如密度）、化学成分分析等多方面内容。通过采用高效液相色谱法(HPLC)、气相色谱-质谱联用(GC-MS)等先进仪器进行精确测量，保证数据准确可靠。

同时，此标准也明确了出厂前及入库后的质量控制流程，包括取样方式、验收标准等内容，确保每一批次的产品都能达到统一的质量水平。最后，在产品的标识、包装形式、运输条件等方面也有相应指导性说明，以便于用户正确处理并保存这类敏感化学品。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-04-01 实施
©正版授权
GB∕T 37030-2018 电子级三甲基铟_第1页
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文档简介

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T37030—2018

电子级三甲基铟

Electronicgradetrimethylindium

2018-12-28发布2019-04-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国

国家标准

电子级三甲基铟

GB/T37030—2018

*

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲号

2(100029)

北京市西城区三里河北街号

16(100045)

网址

:

服务热线

:400-168-0010

年月第一版

201812

*

书号

:155066·1-61411

版权专有侵权必究

GB/T37030—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位江苏南大光电材料股份有限公司中国电子技术标准化研究院

:、。

本标准主要起草人陈化冰孙明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37030—2018

电子级三甲基铟

1范围

本标准规定了三甲基铟的技术要求试验方法检验规则包装标志运输储存和安全

、、、、、、。

本标准适用于铟镁合金法三氯化铟法格式试剂法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基

、、

铟该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9In

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:159.92(2013)

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

固体化工产品采样通则

GB/T6679

电子级水

GB/T11446.1

危险货物运输包装通用技术条件

GB12463

化学品安全标签编写规定

GB15258

常用化学危险品贮存通则

GB15603

洁净厂房设计规范

GB50073

3技术要求

三甲基铟的技术指标应符合表要求

1。

表1技术指标

项目指标

三甲基铟纯度质量分数-2

(C3H9In)()/10≥99.99995

银含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

铝含量

(Al)/(μg/g)<0.3

砷含量

(As)/(g/g)<0.5

金属元素μ

硼含量

及其他元(B)/(μg/g)<0.2

钡含量

素含量(Ba)/(μg/g)<0.1

铍含量

(Be)/(μg/g)<0.02

铋含量

(Bi)/(μg/g)<

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