Silvaco-TCAD仿真流程及语法规则.ppt

1、Silvaco TCAD仿真流程及语法规则,Page 2,0主要内容,Page 3,1 仿真流程,TCAD仿真流程,1.1 仿真流程,Page 4,输入命令,工艺仿真流程,器件仿真流程,电路仿真流程,1.2.1 输入命令,输入命令流,Page 5,go athena,line x loc=0 spac=0.1,line x loc=1 spac=0.1,line y loc=0 spac=0.02,line y loc=10 spac=0.2,init c.phos=2e13 oreit=111 two.d,tonyplot,1.2.2 程序运行,命令逐行运行 实时运算信息,Page 6,1.

2、2.3 输出结果,实时输出 结构文件 *.str 日志文件 *.log 提取的数据 *.dat,Page 7,1.2.4 结果分析,Tonyplot显示（Display）和分析（Tools） Tonyplot导出数据 查看实时输出,Page 8,Page 9,2 语法规则,2.1 通用格式,通用格式，由command和parameter组成 “n”为数值型参数，如“10” “c”为字符串参数，如“silicon” “|”表示从中括号中的参数选其1,Page 10,command parameter1= parameter2= parameter3 | parameter4 ,go athena

3、,diffuse time=36 hours temp=1250 f.o2=1.2,solve vgate=0.1,例子：,2.2 语法规则,命令可以简写，以不与其他简写相冲突为原则，如“deposit”可以用“depo”取代 不区分大小写 命令和参数之间、参数和参数之间以空格分开 一行写不完的在该行的末尾加反斜杠“”(注意“”前需留有空格)，则下一行和该行将被视为同一个命令 “#”进行注释 空行不运行,Page 11,参数类型 参数命名 单属性：完整单词或缩写，diffuse, left, material, xj 多属性参数：单词的连接，2d.max.conc, temp.val, c.p

4、hos,2.3 参数规则,Page 12,2.4 目录结构,Page 13,可执行程序的快捷方式,组件库,二维工艺仿真器,版本号,模型文件、模板、材料参数等,用户手册及组件更新的说明文档,各版本的新特性说明文档,可执行程序,二维器件仿真器,示例库,一维工艺仿真的子示例库,2.5 文件类型,输入文件“*.in”（DeckBuild界面的仿真输入文件） 结构文件“*.str”（工艺仿真或器件编辑器得到的器件结构） 器件仿真结果文件“*.log”（器件仿真时存储仿真结果） 设置文件“*.set”（Tonyplot的显示设置） 掩膜结构文件“*.lay”（光刻的掩膜信息） 提取的结果文件“*.dat”

5、（提取得到的数据） “*.lib”（C编译器编写的函数文件） 其他文件类型：“*.sepc”，“*.opt”，,Page 14,Page 15,3 语法学习及书写建议,3.1 语法学习,学习资料 程序自带的EXAMPLE： EXAMPLE路径，X: sedatools examples. 用户手册： ATHENA手册位置：X:sedatoolslibAthena.R docsathena_users1.pdf SILVACO官方网站 SILVACO中国 ,Page 16,3.2 语法书写建议,添加注释、分成多行及空行 变参数仿真可用“set” 活用“CtrlC”和“CtrlV”,Page 17,增强可读性，便于查找和修改,3.3 Silvaco TCAD学习建议,电脑以及仿真程序始终只是工具，真正的发现还是来自于实践，两者不可偏废 电脑只能解决问题而不能提出问题，所以电脑的功能永远有限，要学会寻找问题 仿真真，尽信软件不如没有软件 在使用中学习，而不是在记忆中学习,Page 18,4 总结,本课的主要内容 Silva