关于EDS、XPS、XRF的介绍

1、能谱仪eds(energy dispersive spectrometer)是电子显微镜（扫描电镜、透射电镜）的重要附属配套仪器，结合电子显微镜，能够在1-3分钟之内对材料的微观区域的元素分布进行定性定量分析。 原理：利用不同元素的x射线光子特征能量不同进行成分分析。 与wds(wave dispersive spectrometer)波普仪相比具有以下优缺点： 优点: （1）能谱仪探测x射线的效率高。 （2）在同一时间对分析点内所有元素x射线光子的能量进行测定和计数， 在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。（3）结构简单，稳定性和重现性都很好 （4）不必聚焦，对

2、样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。x射线光电子能谱分析(xps,x-ray photoelectron spectroscopy)测试的是物体表面10纳米左右的物质的价态和元素含量，而eds不能测价态，且测试的深度为几十纳米到几微米，基本上只能定性分析，不好做定量分析表面的元素含量。其主要应用：xps的原理：待测物受x光照射后内部电子吸收光能而脱离待测物表面(光电子)，透过对光电子能量的分析可了解待测物组成,xps主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析，包括价态。xps（x射线光电子能谱）的原理是用x射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的

3、电子称为光电子。可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。从而获得试样有关信息。x射线光电子能谱因对化学分析最有用，因此被称为化学分析用电子能谱（electron spectroscopy for chemical analysis）。 1，元素的定性分析。可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除h、he以外的所有元素。2，元素的定量分析。根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。3，固体表面分析。包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。4，化合物的结构。可以对

4、内层电子结合能的化学位移精确测量，提供化学键和电荷分布方面的信息。5，分子生物学中的应用。ex：利用xps鉴定维生素b12中的少量的co。x射线荧光光谱分析(x ray fluorescence) xrf的原理：x射线是电磁波谱中的某特定波长范围内的电磁波，其特性通常用能量（单位：千电子伏特，kev）和波长（单位：nm）描述。x射线荧光是原子内产生变化所致的现象。一个稳定的原子结构由原子核及核外电子组成。其核外电子都以各自特有的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子（如k层）在足够能量的x射线照射下脱离原子的束缚，释放出来，电子的逐放会导致该电子壳层出现相应当电子空位。这时处于高能量电子壳层的电

5、子（如：l层）会跃迁到该低能量电子壳层来填补相应当电子空位。由于不同电子壳层之间存在着能量差距，这些能量上的差以二次x射线的形式释放出来，不同的元素所释放出来的二次x射线具有特定的能量特性。这一个过程就是我们所说的x射线荧光（xrf）。xrf的应用a) x射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。b) 每个元素的特征x射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量。c) 根据各元素的特征x射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是x射线荧光分析的基本原理。 优点:a) 分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，25分钟就可以测完样品中的全部待测元素。b) x射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软x射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定 。c) 非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。d) x射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。