2024年四月半导体晶圆厂静电消除器采购洁净度条款_第1页
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文档简介

2025年半导体晶圆厂静电消除器采购洁净度条款本合同共二部分组成,仅供学习使用,第一部分如下:第一条定义与解释1.1“静电消除器”指乙方根据本合同约定向甲方提供的用于半导体晶圆厂生产环境中消除静电的专用设备,具体型号为_________。1.2“洁净度”指静电消除器在运行过程中对周围环境颗粒物浓度的控制能力,以国际标准化组织(ISO)的_________标准为基准。1.3“验收标准”指甲方依据本合同附件《洁净度技术规范》(编号:_________)规定的检测方法与合格阈值。第二条采购内容与范围2.1甲方向乙方采购的静电消除器数量为_________台,单价为人民币_________元(含税),总金额为人民币_________元(大写:_________)。2.2乙方应确保静电消除器符合本合同约定的洁净度要求,并适用于甲方位于_________的半导体晶圆厂_________车间(编号:_________)。第三条洁净度技术标准3.1静电消除器在正常运行状态下,周边1立方米空间内的颗粒物浓度不得超过_________颗粒/立方米(粒径≥_________微米)。3.2乙方须提供设备洁净度测试报告,测试机构为_________,测试方法依据_________,测试周期为交货前_________日内完成。3.3设备表面材质须符合_________标准,不得释放挥发性有机物(VOCs)或其他可能污染洁净环境物质。第四条设备设计与制造要求4.1乙方应在设计阶段向甲方提交洁净度控制方案,包括但不限于气流设计、过滤系统配置及材料选用说明,并经甲方书面确认。4.2制造过程中,乙方须在_________级洁净室内完成核心组件的装配,并提供装配环境监测记录。第五条包装与运输洁净保障5.1静电消除器须采用双层包装,内层为_________材质真空密封包装,外层为_________材质防震包装。5.2运输车辆应配备_________级空气过滤系统,运输途中实时监测温湿度及颗粒物浓度,数据记录保存期不少于_________年。第六条交货与验收6.1交货地点:_________。6.2甲方应在到货后_________日内完成初步验收,重点检测包装完整性与外观洁净度。6.3最终验收于安装调试完成后_________日内进行,依据本合同第三条及附件《洁净度技术规范》执行。第七条不合格处理7.1若设备洁净度未达约定标准,乙方须在_________日内免费整改或更换;逾期每日按合同总额_________%支付违约金。7.2同一设备连续_________次验收不合格,甲方有权解除合同并要求乙方赔偿直接损失。第八条质保与售后服务8.1质保期为验收合格之日起_________个月,质保期内乙方提供_________次/年免费洁净度维护服务。8.2乙方应于接到甲方通知后_________小时内响应故障报修,_________日内完成修复或更换。第九条知识产权与保密9.1乙方保证所提供的设备不侵犯第三方知识产权,否则承担全部法律责任。9.2双方对履行本合同过程中知悉的技术信息、商业数据等保密信息负有保密义务,保密期为本合同终止后_________年。第十条违约责任10.1任一方未履行本合同约定义务,守约方有权要求违约方在_________日内纠正;造成损失的,按实际损失金额_________%赔偿。10.2因乙方原因导致甲方生产线停工的,每满24小时赔偿甲方人民币_________元。第十一条不可抗力11.1因战争、地震、重大疫情等不可抗力导致无法履行合同的,受影响方应及时书面通知对方,并提供权威机构证明。11.2不可抗力事件持续超过_________日的,双方可协商解除合同,互不承担违约责任。第十二条合同变更与解除12.1任何合同变更须以书面形式经双方授权代表签字并加盖公章后生效。12.2除本合同约定解除情形外,任一方单方解除合同须向对方支付合同总额_________%的违约金。第十三条争议解决13.1因本合同引起的争议,双方应协商解决;协商不成的,提交_________仲裁委员会仲裁。13.2仲裁地为_________,仲裁语言为_________,裁决为终局裁决。第十四条通知与送达甲方:_________,联系人:_________;乙方:_________,联系人:_________。14.2通知送达以签收日期或邮件发出后_________日视为送达。第十五条合同生效与期限15.1本合同自双方签字盖章之日起生效,有效期至_________年_________月_________日。15.2本合同正本一式_________份,双方各执_________份,具有同等法律效力。第十六条附件效力16.1本合同附件包括:(1)《洁净度技术规范》(编号:_________);(2)《设备配置清单》(编号:_________);(3)《售后服务承诺书》(编号:_________)。16.2附件与本合同具有同等法律效力,冲突时以本合同条款为准。第十七条其他约定17.1乙方需在设备显著位置标注“符合_________洁净度标准”标识。17.2甲方有权委托第三方机构对设备洁净度进行抽检,费用由甲方承担;不合格的,费用由乙方承担。第十八条法律适用18.1本合同的订立、效力、解释、履行及争议解决均适用中华人民共和国法律(不含港澳台地区法律)。第十九条洁净度维护条款19.1乙方应提供设备日常洁净度维护指南,包括但不限于清洁频率、允许使用的清洁剂种类及操作规范。19.2甲方须按指南要求执行维护,未按规范操作导致的洁净度问题,乙方不承担责任。第二十条技术培训20.1乙方应于设备交付后_________日内为甲方提供_________人次的技术培训,内容涵盖洁净度监测设备使用、数据记录分析及异常处理。20.2培训地点为_________,培训资料以_________语言提供。第二部分:第三方介入后的修正第二十一条第三方定义与范围(1)检测机构:负责对设备洁净度、性能等进行独立检测并出具报告的法人或组织;(2)仲裁机构:依据本合同第十三条约定处理争议的仲裁委员会;(3)物流服务商:经双方确认承担设备运输任务的第三方承运方;(4)技术顾问:为甲方或乙方提供洁净度技术支持的独立专家或机构;(5)其他经双方共同确认的辅助履行主体。21.2第三方须具备与介入事项相关的合法资质,且其行为不得违反本合同核心条款。第二十二条第三方介入程序22.1甲乙任一方提议引入第三方时,应向对方提交书面申请,明确第三方的名称、资质证明、服务内容及费用承担方式,经双方签字确认后生效。22.2第三方介入后,甲乙双方应与第三方签订补充协议,明确其权利义务及与主合同的关系,补充协议为本合同不可分割的组成部分。第二十三条第三方责任与权利23.1检测机构责任:(1)按《洁净度技术规范》要求进行检测,出具加盖CMA/CNAS印章的检测报告;(2)检测数据保存期限不得少于_________年,并应甲方要求提供原始记录复核;(3)因检测失误导致验收争议的,检测机构承担连带赔偿责任。23.2物流服务商责任:(1)确保运输过程符合本合同第五条规定的洁净度保障要求;(2)运输过程中设备损坏或污染时,应立即通知甲乙双方并配合取证;(3)未按约定标准运输的,承担设备重置或修复费用的_________%。23.3第三方权利:(1)按补充协议约定收取服务费用;(2)要求甲乙双方提供履行合同所需的必要文件与协助;(3)对其出具的检测报告、运输记录等文件保留解释权。第二十四条甲乙双方对第三方的义务24.1甲方义务:(1)为检测机构提供符合标准的检测环境及设备调试支持;(2)向物流服务商出具书面运输要求清单,并确认装车前设备状态;(3)支付第三方服务费用(费用承担方式见补充协议)。24.2乙方义务:(1)配合检测机构进行设备预检,提供技术参数及测试接口;(2)对物流服务商的操作人员进行洁净度控制专项培训;(3)对第三方因履行合同知悉的商业秘密承担保密责任。第二十五条第三方过失处理25.1若因第三方故意或重大过失导致设备损坏、洁净度不达标或其他合同履行障碍:(1)甲乙双方有权直接向第三方追偿,且另一方应提供必要证据支持;(2)追偿金额不足弥补损失的,由责任方按过错比例分担剩余损失。25.2第三方行为构成不可抗力的,按本合同第十一条处理。第二十六条第三方介入后的验收修正26.1检测机构介入的验收流程:(1)最终验收时,甲方可委托_________(第三方检测机构名称)进行复检;(2)甲乙双方对检测结果有异议的,可共同委托_________机构进行仲裁检测;(3)仲裁检测费用由过错方承担,检测结果为最终验收依据。26.2物流服务商介入的验收调整:(1)甲方应在物流服务商在场时进行货物签收,并共同签署《运输状态确认书》;(2)运输导致的设备污染问题,须由物流服务商代表签字确认后方可启动索赔。第二十七条第三方服务费用27.1检测费用:(1)常规验收检测费用由_________方承担;(2)争议仲裁检测费用按第二十六条1.2款执行。27.2物流费用:(1)基础运费由_________方承担;(2)因乙方要求升级运输洁净等级产生的附加费用,由乙方承担_________%。第二十八条第三方保密义务28.1第三方应对履行本合同过程中获知的商业秘密、技术数据等保密信息承担保密责任,保密期限为合同终止后_________年。28.2第三方员工须签署保密协议,且其保密义务不因第三方与甲乙双方合作终止而解除。第二十九条第三方替代与变更29.1任一方提出更换第三方时,需提供充分理由及替代方资质文件,经另一方书面同意后方可变更。29.2第三方发生破产、资质注销等无法继续履约情形时,甲乙双方应在_________日内重新选定第三方并签订补充协议。第三十条第三方文件效力30.1第三方出具的检测报告、运输记录等文件,经甲乙双方签字确认后,视为本合同的有效证据。30.2第三方文件与甲乙双方自行记录存在冲突的,以第三方文件为准,但能证明第三方存在欺诈或重大过失的除外。第三十一条连带责任条款31.1第三方与甲乙任一方存在关联关系的(包括控股、共同实际控制等),该方须对第三方的履约行为承担连带责任。31.2第三方接受乙方委托进行设备调试、维护的,乙方应对第三方工作人员的操作失误导致的损失承担首要赔偿责任。第三十二条争议解决扩展条款32.1因第三方介入引发的争议,优先按补充协议约定解决;补充协议未约定的,适用本合同第十三条仲裁条款。32.2仲裁庭有权追加第三方为案件参与人,第三方应配合仲裁程序并提供所需证据。第三十三条合同条款冲突处理33.1补充协议与本合同条款冲突的,以补充协议为准;补充协议之间冲突的,以签署时间在后的协议为准。33.2第三方提供的格式条款与本合同条款冲突的,以本合同条款为准。第三十四条通知义务扩展34.1甲乙任一方与第三方签订补充协议后,应在_________日内向对方提供协议副本。34.2第三方发生可能影响合同履行的重大事件(如资质吊销、股权变更等),知情方应在_____

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