单晶炉作业指导书合集

文件名称单晶炉作业指导书合集文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：真空泵的清理及泵油的更换签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范真空泵的清理及泵油的更换操作适用范围适用于真空泵的清扫及泵油更换作业作业内容一·放油1、准备好专用工具及纸巾置于真空泵位置；关闭主泵球阀；2、将废油桶置于真空泵放油口下方,打开上腔放油开关，取下泵尾气管；3、堵严尾气口，缓慢打开下腔放油阀使之缓慢进气进行快慢放油，废油倒入指定废油桶；4、放完油后关闭上、下腔放油阀，然后断开真空泵对应控制柜里的空气开关；5、在控制柜上挂上“禁止操作”牌；注意事项及原由：1、确认关闭主泵球阀是否关闭到位，否则会造成炉内倒吸气；2、放油时应靠下腔放油阀调解泵腔压力，以免泵腔内压力过大，尾气口关闭不严，致使油烟外泄扩散到泵房；3、放完油后，切记关闭上、下腔的放油阀，防止漏油；4、处理废油时注意泵房卫生；5、一定要断开真空泵真空开关，以防他人不慎触动真空泵开启按钮，造成人身伤害；6、出现异常立刻处理并报告班长；二·清泵1、用板手打开真空泵侧盖，置于适当位置；2、用纸巾彻底清理真空泵腔内及侧盖的油污；3、70泵下腔滤油网要用汽油进行清洗干净；4、清扫完毕后，先安装好滤网，后安装好侧盖；注意事项及原由1、侧盖在打开、安装时小心操作，防止损坏侧盖及油封而漏油；2、70泵切记安装滤网，喷油管对准观察窗利于查看真空泵的工作状态；3、泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物，不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死；4、清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；三·注油1、打开真空泵注油口；2、将加油漏斗放入真空泵注油口；3、用吸油枪从油桶给油壶开始注油到2/3，用油壶嘴对准漏斗，缓慢地给真空泵注油；4、观察真空泵油位至油位观察窗1/2位置；5、取下漏斗，移至适当位置以防漏油，打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油；6、装上尾气管，盖好注油口；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：真空泵的清理及泵油的更换签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页7、开启真空泵工作5min后关闭泵侧的油路管道阀门，察看油位是否处于油位观察窗1/3—1/2位置。若低于下限重复以上操作；注意事项及原由1、加油漏斗保持清洁，防止异物进入泵腔；2、注油时注意注油管掉落且不要超过上限油位以防喷油；3、切记安装好尾气管及注油口，以防开泵时喷油或油气污染泵房；4、注意清理真空泵及周围卫生；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；6、泵油加好后，关闭真空泵控制按钮，取走“禁止操作”牌，做好记录；仪器/工具/材料拆泵腔专用工具、棉纱或毛巾、油桶、漏斗相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：拆炉取单晶签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范拆炉取单晶工序，确保单晶安全取出并放到指定位置适用范围拉晶过程中单晶的取出作业内容一·作业准备1、准备好线手套、耐高温手套、纸巾；2、准备好钢丝钳、取单晶的小车；3、用沾酒精的纸巾将炉体从上到下擦拭干净，并保持整洁；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取单晶前一定要将炉体彻底擦拭一遍，防止交叉污染；3、所有控制接线及开关在彻底清扫炉体时均不得碰断或碰坏；二·单晶取出1、停炉4.5小时后，待炉内压力到达极限真空后，先关闭主泵球阀，后关闭真空泵电源，然后进行热态检漏并做好相应记录；2、待单晶冷却5.5小时后，然后提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度；3、若无异常，拧开小副室门四个螺栓，打开副室氩气阀门，流量调至最大，查看副室压力表指针到0位和副室小门可以被打开时，才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门，盖上隔离阀，打开液压泵电源，升起副室；4、把安全接盘移到副室底部处，缓慢向左移动副室至90度；5、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方，准备接单晶；6、稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入取晶小车内；7、确认单晶完全放入小车内后，戴上手套，左手抓紧重锤，右手用钢丝钳将籽晶从细径处剪断，剪籽晶时应戴好防护眼睛防止籽晶崩溅硅渣伤人眼睛。然后稳定重锤，再将重锤升至副室内适当位置；8、将单晶放入中转区，待冷却后将炉号、批号、料号写在单晶棒和生产作业流程单上，然后进入《石墨件取出》工序；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：拆炉取单晶签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页注意事项及原由1、升降和移动晶体要小心，防止晶体受到碰装，致使单晶掉下来，而报废；2、泄漏率﹤3pa/10min为正常，否则当班人员报告班长或车间主管，并做相应记录；3、升副室前，必须确认炉内压力到大气压，隔离阀必须盖住，防止单晶坠落，应缓慢移动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须将安全接盘移至炉筒口处，防止单晶受到撞击而坠落；4、取单晶的小车应与单晶垂直对齐，防止单晶突然脱落能够掉进小车内不至于摔坏单晶；避免刚取出的单晶棒与晶棒筐的金属部分直接接触。5、剪断籽晶后，应逐步释放重锤，控制好重锤的旋转和晃动，防止钢丝绳跳槽或籽晶磕碰损伤，（重锤快速转动，易损坏钢丝绳；重锤温度高不可以用手直接接触）；此过程中注意个人安全防护。将取出的晶棒放置到规定地方冷却。6、取籽晶时应慎重作业，防止损坏籽晶；7、单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号、批号、料号；4、仪器/工具/材料取晶架、钢丝钳、耐高温手套5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件的取出签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范石墨件的取出工序适用范围适用于每炉石墨件及埚底硅料的取出及大清时整个热场的取出作业内容一·石墨小件的取出1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂勾；2、戴好手套及耐高温手套；3、按顺序取出导流筒和保温盖；4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上，注意要拿稳并轻放。5、戴好耐高温手套依次取出石墨三瓣埚、石墨埚托放在装石墨件的不锈钢长板车上，放上后要注意放稳当，观察三瓣埚是否有微裂纹并做相应记录。6、取出的石墨件一并放在不锈钢长板车上，在不锈钢长板车边挂上石墨件所属炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。二·石墨大件的取出（一般3炉做一次，需作好大清记录）取出上成型碳毡和上保温筒放在不锈钢长板车上。将操作手柄上的按钮打向UP位置，升起炉筒至限位，旋转炉筒到一侧。取出中成型碳毡和中保温筒放在不锈钢长板车上。先取下加热器螺丝盖，用专用工具取下加热器螺丝后，取下加热器放在不锈钢长板车上。依次取出石墨托柄、坩埚轴挡料罩、排气套管、底保温板、下保温筒、炉底防漏板、石英电极环、石墨电极、炉底板、坩埚轴护套、底保温支撑环、炉底碳毡等放在不锈钢长板车上。在小车边挂上石墨件炉号牌，移到指定的位置，自然冷却，移动过程中注意石墨件放置，防止坠落。三·取出埚底硅料1、戴好耐高温手套和准备好钳子；2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动；3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出，若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上；若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一并取出，若出现整炉报废等意外情况则，用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出；注意事项及原由1、所需要物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取导流筒及保温盖时要从炉内向上平移轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件是碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔取光发生偏移，造成欧路控制温度精度，而影响晶体直径控制；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件的取出签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页3、不锈钢小车上一定要平铺一层石墨板，且保持洁净状态，一是为了防止金属原子在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时扩散到坩埚硅熔体里，降低单晶硅少子寿命，影响产品质量；二是防止石墨件再次污染；4、用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身体及衣服，应小心取埚底料，应避免埚底料从热场的缝隙掉下，这工序把埚内的料全部取出；5、待石英坩埚和埚底冷却后，放入指定的箱子并做好编号；4、仪器/工具/材料不锈钢小推车、钢丝钳、耐高温手套，各种专用工具5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：储尘罐的清理签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共1页目的规范储尘罐的清理工序适用范围适用于单晶炉的清扫工作作业内容一·做业准备1、准备好毛刷、吸管、专用工具；2、带好手套、防尘口罩；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费二·清理储尘罐1、用专用工具松开储尘罐盖螺栓，取出罐盖和过滤网；2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物；3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐；4、用刷子和吸尘器清扫罐盖；5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件；并检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空。6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓；7、清洁大罐表面卫生；注意事项及原由1、打开大罐前确认真空泵球阀在打开状态和真空泵电源在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内倒吸气，造成炉内污染；2、工作时要慎重作业，防止造成意外伤害；盖大罐盖前要将大罐盖密封圈擦净；3、安装大罐盖时检查密封圈是否完全就位，防止出现脱落或出槽影响抽空；4、大罐内氧化物容易飘散，在清扫时应竟量避免与周围作业造成交叉沾污；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：单晶炉的清扫签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范单晶炉的清扫工序适用范围适用于单晶炉的清扫工作作业内容一·做业准备1、带口罩、手套；2、准备好防尘口罩、纸巾、酒精、研磨布、吸尘器管等清扫所需物品；注意事项及原由1、工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；2、所用物品必须洁净、就近摆放整齐。物品的齐全及就近摆放能减少不必要的时间浪费；二·管道清扫1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物，吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥物彻底吸尽；2、用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动，另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。3、用沾有酒精的纸巾认真擦扫封盖和密封圈，再安装好。三·副室清扫1、打开副炉室门；2、用粘有酒精的纸巾擦拭小付室的附着物；3、用沾有酒精的纸巾认真擦拭付室抽气口、其它小孔及隔离阀四周及转轴（旋转隔离阀的小付室要认真擦拭到腔体内的每个角落）；4、隔离阀板的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状认真擦拭；5、擦拭的部位要确认无污染；6、以上做过的部位反复操作，直至确认无污染；7、清扫过的小付室将隔离阀盖住阀口，并关闭付室小门；8、用洁净的纸巾将小付室上口盖住；注意事项及原由1、先清理小付室。如果先清理炉盖后清理小付室，在清扫翻板或旋转阀时都会给清理过的炉盖造成沾污；2、氧化物附着较多时，先用毛刷及吸尘器处理；3、清扫付室抽气孔时要把纸巾卷成卷以便伸进抽气孔内部更容易清理。当出现倒吸气情况时要将付室抽气管拆下用酒精或丙酮清理并吹净；4、反复操作有利于彻底清除污物；5、盖住阀口，防止在清理炉盖时将污物带入小附室；6、注意阀板上的钢丝水管是否拧劲儿，接头是否松动漏水，造成不成晶；7、注意检查阀口密封圈是不是损坏或出槽，尤其是旋转阀操作时要提升到位一面磕碰密封圈导致密封圈出槽或损坏；8、用纸巾盖住小附上口防止空气中的污物进入小付室；9、出现异常立刻处理，并报告组长或车间主管；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：单晶炉的清扫签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页四·炉盖清扫1、观察炉颈处的积渣情况，然后用纸巾擦扫内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2、小孔部位、观察窗部位、照相机部位、阀口部位各处的接口及焊接口等不易清扫的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦扫，直至确认无污物。3、硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物。4、观察窗、相机窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。5、用沾有酒精的纸巾认真擦扫抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。打开翻板阀，翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状再认真擦扫。检查翻板阀对中情况和翻板阀冷却水。注意事项及原由1、氧化物较多时（停电、真空泵故障等造成返气）先用毛刷和吸尘器清理；2、硅氧化物强力附着时，会造成炉盖局部发黑、发白，要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物；3、观察窗、伊尔根窗口要认真清理，所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。4、反复操作有利于彻底清除污物；五·炉筒清扫1、先用纸巾擦扫内壁(氧化物过多先用吸尘刷清理)。2、取光孔部位要用沾有酒精的纸巾认真擦扫，直至确认无污染。3、硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件及炉内的清扫签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范石墨件及炉内的清扫工序适用范围适用于单晶炉的清扫工作作业内容一·石墨件的清扫1、单晶炉需安装新的20英寸热场和石墨毡，其操作步骤详见《热场（石墨件）的清理和石墨毡包扎》工序；2、石墨件必须在指定的清扫台进行清扫；3、准备好清扫用品（毛刷、纸巾、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等）带好手套、防尘口罩；4、依次用毛刷、吸尘器、纸巾、清扫石墨件，直至确认无污物；5、沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨，而后进行2、3的操作6、待石墨器件冷却后，用吸尘设备吸去石墨器件上的氧化物。沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用砂布认真打磨。7、清洁加热器时先用氧化铝砂布打磨加热器的内外表面及夹缝的氧化物。8、检查石墨器件上是否有硅蒸气沉积引起的凸出物，如有用打磨机去除，并用吸尘设备清除干净，确认无污染物。9、检查石墨器件有无缺损、裂缝及使用的炉数，如有缺损、裂缝或使用炉数已达到规定的数量，需根据实际情况及时调换新的已锻烧过的石墨器件注意事项及原由1、清扫台内及周围环境必须洁净；2、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；3、操作时要轻拿轻放原则，以免造成石墨件的损坏；4、依次按三瓣埚、埚底、埚杆、导流筒、保温盖（必须分开清理）的先后顺序进行认真的清扫直至无污物；5、清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净的小车上；6、清扫时注意检查各个石墨件是否有损坏或粘硅；7、清扫垃圾放入垃圾筒内定期处理；8、清扫完毕后的石墨件禁止叠加放置；9、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；二·炉内的清扫及检查1、准备好毛刷和吸尘器的专用工具；2、用专用工具仔细地疏通废气孔，用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣；用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒，加热器所能触及到的部位；3、检查电极螺丝是否松动、脱落或粘硅；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件及炉内的清扫签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的浪费；2、加热器清理不净，容易在加热时氧化物会迅速挥发扩散，从而严重污染原料；3、电极螺丝如果松动、脱落或粘硅，在化料时很可能引起打火，造成事故；4、如果在拆炉时不小心引起热场移动活转动一定要检查热场是否对称，侧温孔是否校正。（如图所示，距离是否一至）；5、用带有酒精的纸巾清理炉筒内壁上部；6、炉底必须清理洁净不然会造成化料时污染物挥发影响料的质量，再就是不挥发的杂质渗透到炉底影响下保温，或则操作时不慎会掉进波纹管内造成液面抖不成晶，严重时造成事故；7、在清理废气孔时必须作到两侧彻底清理，若两侧的废气孔抽气速率不同会造成气流向某一侧偏移而导致单晶晃，若两侧都是疏通不畅会影响抽气速率，致使炉壁、炉盖、石墨件大量附着氧化发物；8、热场不对称一是造成单晶摆动，二是单晶摆动会碰到导流筒；9、在清扫炉内过程中，可能有残渣再次掉落；10、如果侧温孔有偏离会影响测光信号导致欧陆数值过小，无法对炉内温度进行自动控制无法成晶；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：热场的清理及安装签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的清除炉内杂物、规范热场的安装，提高产品质量。适用范围适用于单晶炉整个清扫作业。作业内容一·热场的取出作业准备：1、准备好不锈钢小车及专用工具；2、工作服必须洁净。工作服及物品如果不洁净会给清扫作业及后续的工序带来沾污；戴好手套及耐高温手套；注意事项及原由取出石墨件详见《石墨件的取出操作》升起炉筒1、取下热电锥，将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置，以免损坏或丢失；2、打开液压泵开关；3、按住炉筒升按纽，升起炉筒至限位；4、旋转炉筒，并降至适当的位置；注意事项及原由1、炉筒升起过程中注意与炉盖的间隙，切记与炉盖发生接触。否则会油缸损坏或炉盖、炉筒、对应支架、液压缸柱发生变形损坏；2、炉筒上升一定要到上限，否则在旋转炉筒时造成炉筒机械限位损坏；3、旋转后的炉筒一定要降到适当的位置，否则炉筒的突然下滑造成人员的伤害，另外不下降长期会导致油缸导柱弯曲变形；取出热场1、依次取出保温材料放在不锈钢小车上，移至适当位置自然冷却；注意事项及原由1、所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；2、取出保温材料时要轻拿轻放小心烫伤人身及衣服，切忌成型毡、加热器的碰撞造成损坏；3、用专用工具取下电极螺丝而后取下加热器移至指定区域自然冷却；4、取出成型炉底毡；5、出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；二·热场的清理及安装1、准备好毛刷、吸管、纸巾、研磨布、石墨纸等所需物品；2、用吸管、毛刷清扫不锈钢炉底、电极柱，直至无污染；3、用毛刷、吸管认真清扫成型毡、炉底各部位；4、清扫后成型毡炉底装好；5、用毛刷、吸尘器、依次清扫保温筒、成型毡保温材料，清扫后是保温材料依次装好；6、用毛刷、吸尘器清扫加热器后，用研磨布、吸尘器认真打磨加热器上挥发物；7、再次用毛刷、吸尘器吸净加热器，直至确认无污染；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：热场的清理及安装签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页8、清扫后的加热器装好（16寸热系统先装好电极脚）；9、用沾有酒精纸巾清扫主室炉筒及测取光孔，直至确认无污染；注意事项及原由1、清扫不锈钢炉底时，一定注意将两边抽气管道彻底清理，否则可能会造成管道堵塞，影响抽速；2、清扫电极柱时要检查接触面是否平整；3、清扫成型毡时要彻底清扫废气孔，安装炉底及成型毡时候要慎重作业，防止磕碰成型毡造成损坏；4、清扫及安装加热器时要慎重作业，防止损坏加热器；5、电极柱、电极脚、加热器各接触面保证平整，安装时要在接触面上垫一层石墨纸，防止热场打火；三·炉筒复位1、打开液压泵，升起炉筒至上限，用沾有酒精是纸巾擦拭下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部，同时移动炉筒到适当位置；2、按炉筒降，降炉筒至下限；3、炉筒降到位后，校对测温孔，转入日常清理工序；注意事项及原由1、移动炉筒时，要确认炉筒与炉盖的间隙，防止损坏炉筒及炉盖的支架和油缸导柱；2、确认炉筒是否降至下限，否则会造成抽空漏气；3、要认真校对测温孔，防止测光信号过小而无法温度自控；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件的安装与装料准备签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范石墨件的安装与装料准备，确保装料的工艺卫生。适用范围适用于装炉作业作业内容一·安装石墨件1、安装前需检查：1.1、热场的所有石墨器件必须是经过锻烧合格方可使用。1.2、检查主室底座的清洁度，确定电极柱周围及坩埚轴端面上没有石英、石墨碳毡及硅粉颗粒。2、底盘安装：将热场底盘放在主室底座上，底盘安装须平稳。底盘边缘与主室底座内壁的距离应相等。底盘上的电极孔、中心孔要与主室底座的孔对应、对正。3、装电极柱：装电极柱：装电极柱时不宜太紧，否则容易涨裂引起电极打火。装电极柱时要检查两个电极柱是否在同一水平面上。4、装石英环：在装石英环时，先用吸尘设备吸除电极周围的粉状杂物。确保石英环在电极和底盘之间起到绝缘作用。5、装石墨加热器：安装加热器时，电极螺丝必须拧紧，加热器与电极的接触部分须垫碳箔，否则会引起放电、打火事故。必须注意的是，每次清炉时电极螺丝先松掉后再拧紧。以防硅蒸汽进入电极螺丝和加热器脚之间的缝隙使之粘住无法拆卸。检查加热器上口是否处于同一水平面。6、安装石墨中轴连接杆：安装连杆时，紧固连杆的螺丝必须加垫片，连杆上下左右晃动的间隙小于1mm。连接杆必须处于正中心位置。安装石墨埚托、三瓣埚：埚托安装须平稳，下降坩埚轴至最低位置时距离加热器脚应不少于2cm。埚托与三瓣埚装配时必须紧密配合（装配时主要检查三瓣埚的底部与埚托是否因加工误差造成高度不一致，装配不紧密）。下降并转动坩埚轴，检查托身上口与加热器上口是否在同一平面。如不在同一平面，检查连杆的锥度与下轴的锥度配合是否紧密，如不紧密须修正连杆的锥度或由设备维修人员检修下轴调节下轴的垂直度。当三瓣埚上口和加热器上口在同一平面时,将此时的埚位记录在运行记录本上。检查三瓣埚与加热器之间的间隙是否均匀(三瓣埚与加热器之间的间隙相差应小于3mm)。7、装保温筒:保温筒必须平稳地安装在底盘止口上,并须检查保温筒与加热器之间的间隙是否均匀。用丝光毛巾或无尘纸蘸少许无水乙醇擦净主室底座与主室接触的密封部位。转回主室直至主室上的导向孔对准导向柱为止。按下控制面板上”下降”按钮,使主室平稳地停在底座上。8、对准温度信号孔:保温筒上的温度信号孔必须和主室炉筒温度信号孔对正，如不对正可旋转保温筒调节文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：石墨件的安装与装料准备签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页9、装上保温罩：上保温罩必须平稳地装在保温筒上,所有止口必须到位；装好隔气环压盖；10、石墨件安装完毕后，如热场需要煅烧，则进入《安装导流筒及大盖》、《合好炉盖》、《副室的清扫、安装》、《安装籽晶》、《抽空》和《煅烧》工序；注意事项及原由装埚杆、埚底、埚盘时要认真、细心，防止碰坏保温材料或加热器；一定要拧紧埚杆螺丝，防止因松动造成液面晃动；确认埚杆、埚底、埚盘是否吻合，若有异常及时处理并报告班长或车间主管；二·装料准备认真打扫炉体周围地面，炉筒、炉盖的外侧及周边，用沾有酒精的纸巾擦拭干净；从指定的场所取指定的硅原材料及石英坩埚；将取来的硅原材料放在装料车上，并与料单对照核实下；带好防尘口罩、装料用的手套；远离操作区，用吸尘器将操作者身上浮尘吸净；穿戴好装料用的专用工作服，戴好工作帽子带好防尘口罩、装料用的手套；注意事项及原由彻底打扫炉体及周围卫生，防止装料过程中造成污染；取来的硅原材料及石英坩埚应与上次的数据对照，防止影响单晶型号及各种参数；三·石英坩埚的检查安装1、打开石英坩埚包装，取出石英坩埚，检查有无异物。对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点；如有直径大于2mm里层气泡拒绝使用。2、若无异常，用氮气或氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫，吹净浮尘；3、确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要均匀。装好后开埚转看埚是否对称。注意事项及原由一定要仔细检查石英坩埚是否有异常，石英坩埚若有异常可能会导致成晶困难或漏硅；石英坩埚内残留浮尘会严重影响成晶，吹扫时不要使氮气或氩气管碰到石英坩埚内壁；注意安装时要注意石英坩埚与石墨坩埚的间隙，要均匀一致，否则会导致石英坩埚变形造成液面抖动；不利于单晶成晶；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：装炉签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范硅料安装，确保生产适用范围适用于硅料安装作业内容一·装料更换装料用的一次性塑料手套；按照料单把称量好母合金放入石英坩埚内；在埚底平铺一层碎、小型硅料，然后将大型硅料放在上面，为了稳固在大型硅料之间的间隙里填充碎、小型硅料，确保硅料安装的密实；在大块硅料装完后，再装中型硅料，余下的中型料，由坩埚壁到坩埚中心依次由大到小摆放，细小的碎料尽量装在中下部，以免在熔料中发生因挂边而将石英坩埚向内拉弯造成变形；在装料到石英坩埚最上层时，中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触，避免面接触，造成挂边；整理上部硅料，高出石英坩埚的要向内倾斜；总之确保中下部块料和埚壁是以面接触为好，上面的块料应以点接触面为好；最后将硅料堆成金字塔形状，有利于放导流筒；装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉落在石墨材料上的硅粉。将三瓣埚降至化料位置，放置好保温盖和导流筒。注意事项及原由更换手套，防止污染原料；先将合金放入石英坩埚，防止遗忘；装料时要就轻拿轻放，防止碰撞石英坩埚造成事故；装料用手套不要接触周边物品，装料用手套注意更换，防止手套破损，掉入埚内污染材料；装料时注意不要使硅料伸出石英坩埚，否则会在化料过程中硅液流下损坏石墨件，甚至使整炉硅料报废；装料时要慎重作业，不要使硅料掉在保温材料和加热器之间的缝隙，以免造成加热器短路打火，跳闸，甚至损坏加热器；装料时一定要使合理搭配，防止化料埚位过低，造成漏硅；装料时保证装硅料质量的情况下，应提高装料速度，降低装料过程中硅材料被污染；不论是上、中、下哪个部位，料块尖锐部位不能直接对着坩埚壁10、将埚转设置为2r/min，保证原料不接触导流筒。文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：装炉签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页二·安装导流简及大盖装料完成后埚转为2/RPM左右旋转，查看坩埚旋转情况；清洁周边（埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部）用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣；确认无摩擦快速将埚降至下限，埚降到位后，停止埚转，装好保温盖、导流筒；注意事项及原由1、给埚转2/RPM，降埚时便于查看加热器与保温材料间是否有硅料，以便及时处理；2、吸净灰尘、硅渣，可防止在后续工作中掉入埚熔体中影响成晶，此时必须确认吸管在干净状态，防止污染材料；3、保温盖、导流筒安装前远离装料区用毛刷和吸尘器吸净表面；4、安装保温盖、导流筒时要相互吻合，安装导流筒时要慎重作业，如果与硅材料发生接触时调整料的摆放，防止在化料过程中发生沾硅4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：合炉及籽晶的安装签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范合炉及籽晶的安装作业适用范围适用于合炉及籽晶的安装作业作业内容一·合好炉盖用沾有酒精的纸巾擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查，确认无问题后，将炉盖旋转至炉筒上部；打开液压泵电源，按炉盖降按钮下炉盖；注意事项及原由在下降炉盖时一定要注意炉盖限位是否正常，防止与炉盖与保温盖接触，损坏石墨件；炉盖降到位后要确认炉盖是否合到位，防止抽空时漏气；二·副室的清扫安装准备好清扫棒、纸巾或者毛巾、酒精；在清扫棒上缠上沾有酒精的纸巾，清扫副室内部至上部；用清扫棒吹扫副室内部至上部，直至确认无污物；快速降下籽晶卡头，并检查钢丝绳；用沾有酒精的纸巾认真擦拭重锤及钼夹头；按晶快升升起重锤至适当位置，用沾有酒精的纸巾擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部，转动副室，降下与炉盖合炉；注意事项及原由所需物品必须准备齐全、洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费；副室上部也要清扫，副室内腔部位清扫棒多次吹扫；擦拭过的重锤及钼夹头一定要保证无残留物；如需要对重锤卫生清洁时，将其拿下用研磨布认真打磨，并清扫干净，摘下重锤时要慎重作业，防止钢丝绳上造成钢丝绳出槽；清扫钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏，若有，则应截去一截钢丝绳，重新固定，并检查行程是否达到要求，否则，应更换新的钢丝绳；升重锤时，不要使重锤晃动，防止重锤挂住副室下沿，拉断钢丝绳；要缓慢移动副室，防止重锤与副室内壁碰撞文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：合炉及籽晶的安装签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页三·安装籽晶从指定的场所将腐蚀好的籽晶取来并加以检查；用沾有酒精的纸巾认真擦拭籽晶；把籽晶装在夹头上，装好钼销；用力向下拽一下籽晶使其牢固，稳定好籽晶后，按晶快升使其上至适当位置；用沾有酒精的纸巾擦拭副室小门的封密圈和接合部；打开隔离阀，关闭副室小门，拧紧四个螺栓，开始抽空；注意事项及原由注意不要直接用手接触籽晶，防止汗渍污染籽晶；籽晶上升到适当的位置后，确认隔离阀打开时不会碰到籽晶，后方可关闭小门；打开隔离阀不要用力过猛，否则可能会损坏或挤出阀口密封圈；对于没有副室小门的单晶炉则在安装副室前安装籽晶；5、抽空前检查钢丝绳是否与卷轮吻合，以防钢丝绳出槽，造成重锤或单晶棒下坠，甚至重锤或单晶棒脱落到坩埚内，造成恶性事4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：抽空、加热签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页目的规范抽空、加热作业适用范围适用于单晶炉抽空加热作业作业内容一·抽空打开真空泵电源；缓慢打开球阀；炉内真空度在连续抽空30分钟应达到6.0Pa以下。当真空抽不下去时，可以开启氩气阀门向炉内通入氩气，保持3～5分钟后关闭氩气，继续抽真空，使炉内压力＜6Pa；若在充氩气三次后，真空还是抽不下去，要与维修人员联系检修。关闭真空球阀，进行冷检漏3分钟，看漏率是否小于1Pa；注意事项及原由真空泵开启时应点动几次真空泵开关按纽，以防真空泵直接起动电流过大损坏电机、泵、及线路控制系统；真空泵球阀必须缓慢打开，否则会造成泵或电机瞬间电流过大损坏电机，泵及线路控制系统还会造成真空泵向尾气管内喷油，造成真空泵油量不足影响抽空和真空泵的寿命以至造成真空泵的卡死；进行充气时，对流量计的使用必须打开流量计球阀，而后缓慢打开流量计针阀，关闭时，先关闭流量计球阀后，关闭流量计针阀，否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管。切记流量计所有开关在不使用时处于关闭状态；反复充氩气，如炉内真空达不到规定真空的要求时，应及时报告有关人员进行处理；出现异常立刻处理，并报告班长或车间主管；二·加热化料抽空完成后，漏率达到要求后，打开真空球阀，打开氩气阀门，设定流量为20SLP，使炉内压力达到1000Pa~~13000左右；确认单晶炉进水、出水开关打开，并检查各进水分支开关已打开；循环水压力0.14～0.18MPa。打开功率、加热电源开关；根据通过欧陆手动状态的OP功能，分步增加功率；打开加热开关，用一个半小时的时间，每半个小时加热一次，均匀的分四次将功率加到最高功率85～90kw，具体操作：调节加热功率值，一般为30、50、75、85（90）KW左右。在料全部熔完之前，还剩余少量小料块时，应适当降低功率，以防止跳料。升温过程一定按照上述过程，加热速度不宜太快，否则易造成石英坩埚炸裂。文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：合炉及籽晶的安装签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页注意事项及原由充入氩气时对流量计的使用，必须先打开流量计球阀，而后缓慢打开流量计针阀。关闭时先关闭流量计球阀而后关闭流量计针阀。否则会因为氩气管内的压力使流量计浮子突然上升打碎流量计内的玻璃管。切记流量计所有开关在不使用时处于关闭状态；对欧陆的使用应小心操作，防止功率迅速增大，瞬时造成变压器负荷过大，或对整个加热回路造成瞬间电流过大而打火或损坏；应严格按照加热顺序进行加热，否则可能会温度突然上升造成石英坩埚热应力过大破裂而漏硅；化料过程中时刻注意观察炉内的情况，若无异常塌料后给埚转2r/min.；使坩埚均匀受热三·高温熔料3.1、埚位升降的把握一旦塌料之后，应该马上将坩埚升上来。以后随着料的逐渐垮下，应该逐渐升高埚位。果不及时将坩埚升上来，料块的主体部分处于低温区，会增加化料的时间，也就增加了坩、、埚与硅液的反应时间，不利于坩埚的保护。而且，埚底长期处于低温区，增加了漏料的机率。上升的时候注意要在料和导流筒之间留够安全距离。3.2、化料过程中，应时常注意各出水管道水温。3.3、在整个化料的过程中，都要有防范漏料的意识。因此，熔料过程中操作人员不能离开炉台，要随时观察情况，及时处理挂边、搭桥、漏料及其它意外事故，并做好记录。3.4、为了防范漏料，在平时(指正常时)就应该积累以下经验：高温多少时间以后，坩埚下部会出现熔液；首次出现熔液时，液面的位置应该在什么地方；第一次垮料后，液面位置应该在什么位置。3.5、判断漏料的迹象除了出现熔液的时间、熔液的高度位置外，还有一个参考现象是观察加热电流是否稳定，因为漏料会造成短路打火。3.6、利用化料时间，检查计算机内各参数设定是否正确。3.7、观察硅液面有无渣滓，决定是否需要提渣，如有渣滓，在剩一小块料没化完前，用此块料尽量粘熔硅中的渣滓，将其提出，并按要求做好记录3.8、料化完后，降低加热功率至引颈温度（与上炉对应）,将埚转设定为6转/分；欧陆值降至引颈温度对应的数值时切入自动，将埚升至引颈埚位稳定即导流筒至液面距离为15mm~25mm左右；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：预热，引细颈签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页1、目的规范预热，引细颈作业，确保做好无位错单晶生长的准备工作2、适用范围适用于预热，引细颈作业3、作业内容一·预热接触1、温度切入自动后，按晶快降，将籽晶降至从主观察窗能看到的位置；2、5分钟后，按晶快降按钮将籽晶降至距液面20mm处预热10分钟；3、降籽晶使之与液面接触，晶转设定为10~12r/min，熔接10分钟，根据接触光圈的形状，确定引颈温度是否合适，若合适开始引颈，若不合适，通过欧陆调整温度20分钟后开始引颈，温度不宜偏低；注意事项及原由降籽晶快速上升或下降每一位置的必须给予确定，升降操作方可完成，否则会熔掉籽晶，甚至重锤，升至上限会导致重锤掉下进入熔硅内，造成漏硅或整炉料彻底报废，无法再次利用；必须预热，不然会由于籽晶由低温区到高温区，由固态到液态转变时，温差太大造成籽晶受到热冲击，容易产生位错；二·引颈打开晶升电源，计长清零；给定埚转至5~8r/min,晶转8~12r/min;缓慢提升拉速至1.5mm/min左右10mm后，提升拉速，让拉速保持在2.0mm/min6mm/min之间，引颈直接控制在3mm~5mm左右，引颈长度不低于150mm.；引晶过程中若温度不适，可进行手动调节温度，但不宜过大；注意事项及原由打开晶升电源前，确认晶升电位器在归零状态；埚转调整时应缓慢进行，否则会造成液面晃动；引晶开始时，应先引直径10mm左右较粗的晶体，长度为10mm，可作为下次熔接使用，这样避免籽晶的浪费；引晶过程中拉速绝对不可归零，拉速不可过高，这样不利于排除位错；细颈不宜过粗，过细，尽量保持平滑；细颈的长度不可低于150mm。尤其是拉晶过程中出现异常（温度波动较大，细颈质量不高等）时，应适当的加长细颈长度，以便更好的排除位错，利于成晶；4、仪器/工具/材料5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：放肩签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共1页1、目的规范放肩作业，确保做好无位错单晶生长的准备工作2、适用范围适用于放肩作业3、作业内容一·放肩1、引颈达到预定的长度后，缓慢降低拉速直至0.5mm/min进行放肩；2、放肩务必要放平肩，放肩时用温校速率和手动微调欧陆的方法来调节温度；3、放肩时要时刻观察放肩的形状，放肩过快过慢时，应及时进行适当调整温度；注意事项及原由1、引颈结束，降低拉速时必须分步缓慢至0.5mm/min，避免成锥肩或因拉速降低过快使细颈迅速生长而掉棱；2、放肩拉速0.5mm/min.，目的使晶体在合适的拉速下生长；二·放肩坏放肩坏时，将肩放至直径150—160mm提离液面上升到导流筒的中间位置；到达导流筒中间部位后，将晶升设定在4mm/min的拉速上升5min后，关闭晶升电源电位器归零，按晶升快速上升至付室，打开主室充气阀后。流量为20SLP，盖住隔离阀；增大付室氩气流量，到达常压后关闭付室充气阀；打开付室门或升起付室旋转后，取出多晶体放到适当的位置待其冷却后按分类要求放入指定的场所；更换籽晶见《籽晶的更换》作业；注意事项及原由放肩坏，将多晶体放大后提出，是为了取出熔体里更多的杂质，对坩埚里熔体硅起到提纯作用；多晶体提出时，严禁直接快速上升至付室，这样温差太大会造成籽晶热应力过大而内裂；快速上升结束后，要确认快速已经停止（可通过晶升电机是否转动来确认）；盖隔离阀前，切记一定要打开主室氩气流量阀并确认提出的肩是否影响隔离阀的操作，以免磕碰卡住隔离阀，造成掉入埚中造成溅硅事故；对隔离阀的操作，一定要小心，以免挤出阀口胶圈致使隔离阀关闭不严，无法起隔离作用；关闭付室充气阀要认真操作，防止误关主室阀或氩气流量计球阀开关，致使主室处于高真空状态，容易行成跳硅事故；4、仪器/工具/材料直径测试仪5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：转肩签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共1页1、目的规范转肩作业，确保做好无位错单晶生长的准备工作2、适用范围适用于转肩作业3、作业内容一·转肩将肩放到适当直径时，转肩前需根据情况进行预降温，一般降低欧陆控制器设定值（SP值）10～30个字，转肩时拉速为1.5～2.5mm/min，根据现场放肩快慢而定，将拉速缓慢提高；密切关注单晶的生长速度，适当增减拉速；待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速，同时适当给定埚跟随动；转肩结束后，计长清零，实时观察单晶生长情况待其生长稳定后，调整伊尔根，使其压单晶光圈1/3—1/2之间的位置，数字信号大小为450-550左右；调整好拉速和温度，将计算机切入等径控制和温度控制自动状态；注意事项及原由1、转肩结束后，单晶直径应离目标不宜过大或过小；合理控制温度使转肩后前30mm拉速能稳定在头部设定拉速之间；适当调整温度和拉速，确认棱线明显，直径合适。当晶体在头部设定拉速下能等径生长时，才可以切入自动控制；（1.1~1.3mm/min）2、转肩时拉速不宜调整太快或太高，否则可能会造成转肩掉棱；3、给埚跟时注意检查计算机随动比例，电位器给定随动比是否在零位，然后可以打开埚升电源，再进行埚跟随动给定；4、转肩结束后，务必计长清零；5、确定计算机测量直径是否合适满足单晶自动生长条件；6、一定要注意单晶生长稳定后方可切入自动，否则会造成单晶直径波动4、仪器/工具/材料直径测试仪5、相关表格《单晶炉操作记录》文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：等径签名隶属：单晶车间日期PAGE：第1页OF共2页1、目的规范等径作业，确保做好无位错单晶生长的准备工作2、适用范围适用于拉晶过程中等径作业3、作业内容一·直径控制计算机切入自动控制后认真作好各项记录；等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况，每隔15分钟对炉内巡视一次，确定有无异常，每一个小时做一次拉晶记录；根据情况的不同，等径至预定长度应该适当增大埚升随动；注意事项及原由1、各项记录必须是记录及时、真实、工整；2、等颈过程中必须时常观察炉内单晶生产情况，如有异常（如有速度异常、单晶掉棱、变晶、变形直径粗或细、温度不适等）应听从班长或车间主管的安排并及时处理；3、等径至预定长度若不适当增加埚升随动，会导致单晶直径拉细等径中坏时，根据投料量、拉制单晶直径及所剩余硅液量来确定拉制参数；二·等径坏1、回熔，在300mm以内掉棱时，进行回熔处理；1）、将欧陆设置为OP值，晶转设定为5转/分，埚转为1转/分；2）、功率调整到化料功率的90%；3）、观察炉内状态，慢慢下降晶体进行回熔；4）、回熔完成后进行常规作业工序；2、提出或停炉1）、在450—650mm范围内坏时，将单晶提出（投料45公斤，拉制6寸单晶）；2）、单晶提离液面30mm，给定拉速1.0mm/min上升1小时，然后2.0mm/min上升1小时再4.0mm/min上升2小时，最后上升到副室炉筒内后打开主室流量计至适当流量，盖住隔离阀；3）、盖住隔离阀后，增大副室氩气流量，到达常压后关闭副室氩气升起门副室炉筒取出坏单晶；4）、对炉筒及小副室进行卫生清扫；5）、更换籽晶，见《籽晶更换作业》工序，进行二次作业；6）、等径中坏的长度在650mm以上时停炉。见《冷却作业》工序；文件名称单晶炉作业指导书文件编号：-001版本/修改：A01/00Reason(s)forUpdate更新原因：工艺改进PRODUCT产品：单晶硅棒部门ORIGINATOR编制APPROVE审核QC质量MFG制造WORKSTATION工序名称：等径签名隶属：单晶车间日期PAGE：第2页OF共2页处理原则：当单晶长度大于一个直径长度的2.5倍左右（即6.5″单晶大于430mm左右）时，应当按单晶（无位错或有位错）进行冷却，然后取出。小于430mm左右时，分以下两种情况处理：a)如果原料较差，或者化完料后看见液面有较多渣滓，应该提渣（俗称“提饼子”）。b)如果原料较好，且化完料后液面较干净，应该全部回熔。冷却单晶的步骤：在需要拉多段单晶时，取出单晶棒前，晶体应逐步冷却，以防止晶裂。步骤如下：a)、先将计算机退出自动控制，然后将欧陆退出自动，并将加热功率略微升高（参考上段引晶功率和欧陆值适当增加）。b)、将埚跟关闭，快速降坩埚30～40mm，使晶体脱离液面。c)、晶升速度起初设定为1.0mm/min，逐步增加，四小时左右将晶体提升至副炉筒。打开V3，关闭V2，关闭翻板阀，用V1充气到压力表一半左右，让晶体再冷却10分钟。最后充气到正压，才可以取出晶体注意事项及原由1、确认坏晶体的长度；2、调整功率时要规范欧陆操作，防止温度升的过高或过低；3、回熔时晶体降的过快有可能触到石英埚造成漏硅；4、回熔时应时常注意炉内情况，防止跳硅或其它异常情况（如单晶掉落、液面结晶）；5、提出坏单晶后，应根据长度调整其温度和拉速；6、回熔完成或提出单晶进行二次作业前，拉晶条件必须恢复初始值；7、如出现异常情况应及时