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ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08弹坑实验与判别作业指导书InternaluseonlyxConfidentialRevision:00PagePAGE1of6TopconfidentialPAGEThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.REV.EFFECTIVEDATEDESCRIPTIONAPPROVECHECKORIGINATOR008/08/2008InitialIssueJinhuachen谈红英沈海军目的:测试键合焊接对产品质量产生的影响,保证产品质量。适用范围:所有MOSFET芯片系列产品;控制计划要求做弹坑试验的产品。三.作业频率:每周一键合现作业的产品都要做弹坑,新产品改机后应及时作业弹坑试验,调用程序的产品可在做弹坑的同时开机作业,若弹坑不良请统计数量,批次。弹坑试验作业及判断方法1盐酸溶液试验〔主要适用于Mosfet产品,如附图1所示〕〔附图1〕1.1将浓度为36%盐酸与水以1:2.5稀释后加热至80±51.2将焊线剪切后的制品完全浸入溶液浸10-15分钟,剪切方法如下图:沿框架管脚边缘(箭头所示位置)用锋利的刀片剪切,剪切之后的制品必须在实体显微镜下确认第一焊点金球状况,防止因线弧较短时或者剪切不当将金球带起,引起弹坑。割线后的制品,需用拨针将金线沿载片台边缘〔金球远端〕将金线轻轻挑起,防止金线黏附在载片台上,操作过程中绝对禁止金球受力。〔附割线后/拨线后图片〕割线后产品拨线后产品1.3将已腐蚀干净的制品分别放入水与酒精中,各用超声波清洗3~5分钟,然后晾干或吹干。注意:在整个作业(包括清洗)过程中,不可以将制品用力在溶液中晃动。不可以采用任何拔线方式去除未腐蚀掉的焊线。1.4将晾干后的制品在200倍或200倍以上显微镜下进行判定并填写《弹坑试验记录表》1.5配置的溶液使用12小时必须更换,即溶液使用期限为12小时。1.6产品检验判定方法←OK←NG具体内容图例(实物图)弹坑判断标准劈刀压着处无裂纹、变形时OK.(右图)OKOKNGNG2氢氧化钾溶液试验〔主要适用于IC电路产品,如附图2所示〕图2〕2.1在量杯中,用电子称称取适量氢氧化钾2.2以1:10的比例,用水溶解氢氧化钾后加热至80±52.3将制品(制品处理同1.2的方法)完全浸入溶液,煮10-20分钟2.4将已腐蚀干净的制品分别放入水与酒精中,各用超声波清洗3~5分钟,然后晾干或吹干。注意在整个作业(包括清洗)过程中,不可以将制品用力在溶液中晃动。2.5将晾干后的制品在200倍或200倍以上显微镜下进

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