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文档简介

气敏传感器及应用技术

Air-sensitivesensoranditsapplicationtechnolegy1.

半导体气敏传感器气敏传感器原理2.

接触燃烧式气敏传感器3.

电化学气敏传感器一、半导体气敏传感器半导体气敏传感器电阻式传感器非电阻式传感器半导体传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后，造成半导体性质变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。一、半导体气敏传感器

电阻式气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应，导致敏感元件阻值变化来测量气体。1.电阻式气敏传感器按照半导体与气体相互作用位置不同分类电阻式传感器烧结型薄膜型厚膜型电阻式传感器表面控制型体控制型

按照半导体制作类型不同分类一、半导体气敏传感器

非电阻式半导体气敏传感器是利用气敏吸附和反应时引起的PN结或场效应管功能参数变化来实现气体检测的。非电阻式半导体气敏传感器属于表面控制型传感器。2.非电阻式气敏传感器非电阻式传感器金属-半导体结二极管型MOS二极管型MOSFET型非电阻式气敏传感器分类：非电阻式气敏传感器主要特点：灵敏度高；常用于可燃防爆检测有毒有害气体检测等。一、半导体气敏传感器物理特性类型检测气体气敏元件电阻型电阻特性表面控制型可燃气体二氧化硅、氧化锌等体控制型酒精、可燃气体、氧气氧化镁、二氧化硅、氧化钛等非电阻型二极管整流特性表面控制型氢气、一氧化碳、酒精铂-硫化镉、铂-氧化钛、金属-半导体结型二极管晶体管特性氢气、硫化氢铂栅、钯栅MOS场效应管二、接触燃烧式气敏传感器

1.可燃性气体

将在空气中达到一定浓度、触及火种可引起燃烧的气体称为可燃性气体。例如：甲烷、乙炔、甲醇、乙醇、乙醚、一氧化碳、氢气等。2.接触燃烧性气体传感器分类

直接接触燃烧式、催化接触燃烧式

二、接触燃烧式气敏传感器3.接触燃烧式气敏传感器原理

可燃气体与空气中的氧气在通电状态下的气敏材料（如Pt电热丝）上产生无焰接触燃烧，使得气敏材料（Pt电热丝）温度上高，电阻值增大。

4.应用

石化工厂、造船厂、矿井隧道、浴室、厨房等处可燃性气体的监测和报警。三、电化学气敏传感器

电化学气敏传感器，主要利用两个电极之间的化学电位差，一个在气体中测量气体浓度，另一个是固

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