激光器和激光相关设备 角分辨散射的试验方法 征求意见稿

1激光器和激光相关设备角分辨散射的测试方法本文件适用于光学元件（如镀膜或未镀膜的光学元件ΔΩsARS(θ(θ,φs)P方向的辐射功率ΔPΔΩsΔΩs:注：用ARS除以cosθs可将ARS变换为双向反射、透射或散射分布函数，BRDF、BTDF或BSDF（fr2漫反射标准板（diffusereflectancestand4符号和缩略语f%ΔΩsPiφθiθrθs散射辐射功率—在某些应用中，将原点放置在其他位置可能是有用的，例如在样品中。31——待测样品θi——入2——入射光束θs——极散射角3——镜面反射光束注：镜面反射角(θr）等于入射角(θi）。外，应定义并记录样品的方位角。入射方向和表面法线定ARS测量仪器的基本工作原理(见图2)是基于测量样品散射的辐射功率来描述。在即将修订的版本中，这将改为符号σTS。）或内的一个确定的轨迹进行扫描。最简单的测量4背反射，并放置在空间滤波器之前，以及适当的检测器，最好与实际的散射探测器相极管、窄带或宽带光源都可用作辐射源。应记录所辐射源的辐射功率随时间的变化应予以测量和记录，包括长期漂移和短期波动。小于5%使用一种基于中性密度滤波器或其他方法组合的衰减器来调整入射辐提是仪器特征，特别是在接近镜面方向的散射角处，5位时，镜面反射或正常透射的光束应聚焦在探测器孔如果使用球面反射镜，入射角应尽可能小，以减少可能严重影响近镜面区域仪器本单自由度的仪器允许在一个平面（通常是入射平面）内进行扫描。这些测量被称为“平面内ARS散射角的范围应予以记录。通过说明最小和最大散射角以及步长可保持恒定的步长。ARS测量”或“平面外ARS测量”。散射角的步长应足够小，使得在两个连续的测量位置由探测器孔径覆盖的立6镜)，使探测器前方的入射辐射均匀化，或抑制通过不需要的路径到达探测器的杂散辐散射的辐射并将其传输到外部探测器。光谱灵敏度和时间特性应与辐射源的特性相匹配。如果使用多元件探测器而不使用成像系统（物镜则定义探测器立体角的孔径对应于每个元件的将定义探测的立体角。通常这将是空间点扩散b)应优化处理和测量程序，使样品暴露在试验环境中的时间最短；c)相对湿度应高于40%，低于%7σTS可以通过3.3中的公式得到。一个具有小但有限孔径的探测器对样品进行扫描，对准对于测量的准确性至关重要，包括仪器本身以及样品在内的实验装置的对必须确保轴对准（见7.2.2）保持准确。应调整样品的位置，使入射根据定义，只要知道散射辐射功率与入射辐射功率的比值和探测器的立体角，就可以测量A8当探测器孔径直径远小于探测器与样品之间的距离时，r为探测器孔径与样品之间的距离。如果测得的探测器信号为电压，则记录散射辐射对应的探测器,φs)=cVs(θs,φs)应记录探测器的立体角，包括如何确定及其相关测量不确定度9可以通过仪器本征估算，通常是指ARS最低区域的仪器本征的平均值。动态在分析样本的ARS数据时，应将测量仪器本征记录下来并加以考虑。样品相对于照明光束或坐标原点的横向位置应根据规格和表征任务进行选—最大ARSf，即TS值最大的ARS曲线;—平均ARSf由公式（9）计算得到：入射角和偏振条件应根据说明书及要求进行调整并φ达率的不确定性和电子发射概率引起的暗电流的散粒噪声。这些可拟或两种方法的结合，可以对测量不确定度进行更详细的—θs(−1)：作为所选入射角和散射角函数的ARS测量[2]ISO128-34,Technicaldrawings-Generalprinciplesof[3]ISO128-40,Tec[4]ISO128-44,Technicaldrawingsmechanicalengineeringdrawings[6]ISO10241,Internationalt[7]ISO12005,Lasersandlaser-r[8]ISO13694,Opticsandphotonicpower（energy）densitydistribution[10]ISO80000（allp[11]ISO/IEC/TR10000-1,Informationtechnology-FrameworkandStandardizedProfiles-Part1:Generalprin[12]ISO/IECGuide98-3,Uncertaintyofmeasurement-Part3:Guidetotheexpressionofuncertainty[13]IEC60027（allparts）,Lettersymbolstobeusedinelectric[14]VONFINCKA.etalmeasurement,"Appl.Opt.