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CSEATechnicalspecificationof8YSZtargetforElectronBeamPhysicalVaporDeI本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定1电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材技术条件本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆（ZrO2(HfO2)-7~8本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ法GB/T20123钢铁总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧YB/T5320金属材料定量相分析X射线衍射K值法YS/T568.1氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆和氧化铪合量的测定苦杏仁酸重量法YS/T568.2氧化锆、氧化铪化学分析方法铁量的测定磺基水杨酸分光光度法YS/T568.3氧化锆、氧化铪化学分析方法硅量的测定硅钼蓝分光光度法YS/T568.4氧化锆、氧化铪化学分析方法铝量的测定铬天青S-氯化十四烷基吡啶分光光度法YS/T568.6氧化锆、氧化铪化学分析方法钛量的测定二安替吡啉甲烷分光光度法YS/T568.8氧化锆、氧化铪化学分析方法氧化锆中铝、钙、镁、锰、钠、镍、铁、钛、锌、钼、4技术要求2化学成分/wt.%4.2外观4.3晶体结构4,4平均晶粒度4.5密度4.6密度均匀性4.7靶材尺寸靶材尺寸应符合需方尺寸和形状要求，直径宜为φ（68.5±0.1）mm，长度不应小于100mm。5.2质量一致性检验5.2.1组批--3--5.2.3.1当靶材尺寸、外观、密度与本文件不5.2.3.2其余项目检验结果与本文件不符时，允许对不合格项目取双倍样品复验，仍不合格，应判该Y2O3可按照YS/T568.8规定的方法供需双方测试结果不一致时，应采用供需双方协商一致的具有国家相关检测资质的第三方检测机5.3.2外观靶材晶粒度测试应按GB/T21649.1执行，在放取至少3个不同视场，每个视场测量颗粒数量不少于10个，不规则颗粒取长轴尺寸作为颗粒尺寸，平均5.3.5密度靶材密度检验通过天平称取靶材质量，根据靶材尺

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