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02December2024第4章微型化和智能化传感器02December2024第4章微型化和智能化传感器4.1概述4.2微型温度传感器4.3硅压阻式微型压力传感器4.4电容式微型传感器4.5智能化变送器02December20244.1概述随着微电子技术、微计算机技术和网络通信技术的发展，传感器也步入了微型化和智能化的发展时代。由于大规模和超大规模集成电路的发展，可将组成传感器的多个单元集成在一块芯片上，包括检测元件、信号的调制、解调电路、信号放大和转换电路、线性化处理、输入、输出电路和通信功能等模块集成在一块或二块芯片上，从而极大地缩小了传感器的体积，为传感器的微型化创造了条件。微计算机（尤其是单片机）在传感器中的应用，利用其强大的控制与信号处理能力，传感器的功能更加强大。例如，自动零点和增益校正、非线性校正、温度自动补偿、自动消除交叉灵敏度的影响、量程自动切换、自检和自诊断等，给传感器赋予了智能化功能。随着网络通信技术的发展，传感技术的发展已进入崭新的发展阶段。各种现场总线在传感器中的应用，传感器已实现了网络化。02December2024微型化与智能化传感器的特点精度高高可靠性与高稳定性高信躁比与高分辨率

功能更强大自适应能力强体积小性能价格比高

微型传感器与智能传感器是当前世界传感技术发展的重要

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