TCCGA 30007-2022 电子级三氟化氯

T/CCGA30007—2022

电子级三氟化氯

1范围

本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的

要求。

本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T27550气瓶充装站安全技术条件

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32566不锈钢焊接气瓶

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

AS/NZS2161.1职业防护手套，第1部分：选择、使用和维护（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技术要求

三氟化氯应符合表1的要求。

表1技术要求

项目指标

-2

三氟化氯(ClF3)（摩尔分数）/10≥99.95

氟化氢(HF)（摩尔分数）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩尔分数）/10＜40

-6

氧(O2)（摩尔分数）/10＜10

-6

氯气(Cl2)（摩尔分数）/10＜50

-6

氟气(F2)（摩尔分数）/10＜50

3

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4检验规则

4.1采样

取样应当符合GB/T3723及GB/T6681中的相关规定。取样人应穿戴符合7.5要求的个人防护装备。

4.2检验规则

三氟化氯产品应逐一检验。当检验结果均符合表1的技术要求时，判该产品合格。当检验结果有任

何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格。

5试验方法

警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。

5.1三氟化氯纯度

三氟化氯纯度按式（1）计算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的纯度，10；

-6

Φ1——氟化氢(HF)的摩尔分数，10；

-6

Φ2——氮(N2)的摩尔分数，10；

-6

Φ3——氧(O2)的摩尔分数，10；

-6

Φ4——氯(Cl2)的摩尔分数，10；

-6

Φ5——氟(F2)的摩尔分数，10。

5.2氧、氮、氟化氢、氯气和氟气含量的测定

5.2.1仪器

采用配备双热导池检测器（TCD)+氦离子检测器（PDD)的气相色谱仪，在选定的色谱条件下，试样

通过色谱柱，使其中的各组分分离，外标法定量。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁

方法。仪器对各组分检出限应不大于表3值。

表3各组分检出限

杂质O2N2Cl2F2HF

检出限（摩尔分数）/10-6)0.10.1202040

5.2.2色谱柱

柱1：长3.2m，内径3mm，材质316L，内装粒度为40～80目的改性701担体1，或采用其它等效色谱柱，

该柱用于测定（氧、氮、氟）合峰及氟化氢、氯含量。

柱2：长2m，内径3mm，材质316L，内装粒度为60～80目的改性701担体2，或采用其它等效色谱柱。

该柱用于测定（氧、氮）合峰及氟含量。

柱3：长0.5m，内径3mm，材质316L，内装粒度为40～80目的银粉，或采用其它等效吸附氟气柱。

柱4：长0.5m，内径3mm，材质316L，内装粒度为粒度为40～80目的氧化铝粉，或采用其它等效吸附

氟化氢柱。

柱5：长3.0m，内径3mm，材质316L，内装粒度为80～100目的MS-13X（或5A）分子筛，或采用其它

等效色谱柱。该柱用于测定氧、氮含量。

5.2.3标准样品

标准样品中组分含量应与样品气中被测组分含量相近，平衡气为氦。

5.2.4气路流程

4

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参考的气路流程示意图参见附录A。

5.2.5尾气处理

检测三氟化氯时，应有合适的三氟化氯的尾气处理措施，以防止三氟化氯对环境的污染。

6标志、包装、储运

6.1标志

6.1.1三氟化氯出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括：

——产品名称，生产厂名称，；

——生产日期或批号，以及安全使用期；

——充装质量（kg）；

——本文件号及三氟化氯的纯度。

6.1.2包装容器上应标明“三氟化氯”字样。

6.1.3三氟化氯的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合

GB/T16804、GB15258规定的要求。

6.2包装、储运和储存

6.2.1三氟化氯气瓶应符合TSG23、GB/T32566的规定。

6.2.2推荐使用内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足T/CCGA20006的相关规定，瓶阀宜使用CGA

728。

6.2.3三氟化氯的充装应符合TSG23、GB/T14193的相关规定，三氟化氯的充装量按实际称量的质量

计。

6.2.4瓶装三氟化氯的最大充装量按式（2）计算：

……（2）

式中：

m——气瓶内三氟化氯的质量，单位为千克（kg）；

Fr——三氟化氯的充装系数，1.40kg/L；

V——气瓶标明的内容积，单位为升(L)。

6.2.5三氟化氯的储运应符合TSG23、GB/T34525等相关规定。

6.2.6三氟化氯安全使用期：12个月。

6.2.7客户返回的三氟化氯钢瓶的残液量不宜低于充装量的5%。

6.2.8三氟化氯气瓶，宜有符合TSG23要求的固定瓶帽，并有防止泄漏和瓶口被污染措施；出厂前应

检查气瓶瓶口及颈部无泄漏。

6.2.9三氟化氯气瓶应放在阴凉、干燥、通风的库房内，严禁曝晒，远离热源，禁止倒放。

6.2.10运输时，严禁与可燃物、氧化物、卤化物等混装混运。

7安全信息

7.1三氟化氯在常温常压下为无色气体，降温变为绿色液体；具有毒性、氧化性、强腐蚀性。接触会

造成严重皮肤灼伤和眼损伤；吸入有剧毒会致命。

7.2在工作场所附近应有洗眼和淋浴设施；作业后彻底清洗脸部及手部。人体皮肤与三氟化氯接触时，

应用大量水冲洗，及时脱去衣物，应及时治疗。

7.3眼睛若溅入三氟化氯，先用大量水冲洗几分钟（应摘除隐形眼镜），然后及时治疗。

7.4发生泄漏时，尽可能切断泄漏源。迅速撤离泄漏区人员至上风处，并立即进行隔离。应急处理人

员应佩戴自给正压式呼吸器或其他呼吸防护装置，使用个人防护装备，避免吸入蒸气、烟雾、气体或风

尘。

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若是气体泄漏，用喷雾状水稀释，并将残余气或漏出气用排风机送至水洗塔或与塔相连的通风橱

内。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。若是液体泄漏，用大量水冲洗，洗水稀释后放入专用容

器。

清除所有点火源，并采用防火花工具和防爆设备。

7.5个人防护装备：

7.5.1眼睛防护：佩戴化学护目镜（符合欧盟EN166或美国NIOSH标准），佩戴自吸过滤式防毒面具。

7.5.2手部防护：带化学防护手套（例如丁基橡胶手套），宜选择经过欧盟EN374、美国USF739或AS/NZS

2161.1测试的防护手套。

7.5.3皮肤和身体防护：穿阻燃防静电服和抗静电的防护靴。

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A

附录A

（资料性）

气路流程示意图

三氟化氯气路气路流程参见示意图A.1。

图A.1气路流程示意图

流程说明：

当样品进入定量管后，切割阀转动变为进样位，柱1、柱2、柱3、柱4及柱5串联。柱1分离（氧、氮、

氟）合峰及氟化氢、氯并由TCD1检测出氟化氢、氯含量（见图A.2）；

图A.2TCD1检测器参考峰谱图

7

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当TCD2检测出氧、氮合峰后，四通阀将切入柱3、柱4及柱5。柱2用于分离（氧、氮）合峰及氟并由

TCD2检测出氟含量；色谱图如图A.3所示。

图A.3TCD2检测器参考峰谱图

柱5分离测定氧、氮并由PDD检测出含量，色谱图如图A.4所示。

图A.4PDD检测器参考峰谱图

8

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参考文献

[1]中国工业气体工业协会编，中国工业气体大全.大连：大连理工大学出版社，2008.05.

中国气体协会官网

9

ICS71.100.20

CCSG86

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA30007—2022

电子级三氟化氯

Electronicchlorinetrifluoride

2022-12-28发布2023-03-01实施

中国工业气体工业协会发布

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电子级三氟化氯

1范围

本标准规定了电子级三氟化氯的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、储运及安全信息的

要求。

本标准适用于以氟气和氯气为原料制备的三氟化氯产品，该产品主要用于半导体等领域。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T3723工业用化学产品采样安全通则

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T7144气瓶颜色标志

GB/T14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB/T16804气瓶警示标签

GB/T27550气瓶充装站安全技术条件

GB/T28726气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T32566不锈钢焊接气瓶

GB/T34525气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定

TSG23气瓶安全技术规程

T/CCGA20006气瓶安全使用技术规定

AS/NZS2161.1职业防护手套，第1部分：选择、使用和维护（Occupationalprotectivegloves,

Part1:Selection,useandmaintenance）

3技术要求

三氟化氯应符合表1的要求。

表1技术要求

项目指标

-2

三氟化氯(ClF3)（摩尔分数）/10≥99.95

氟化氢(HF)（摩尔分数）/10-6＜350

-6

氮(N2)（摩尔分数）/10＜40

-6

氧(O2)（摩尔分数）/10＜10

-6

氯气(Cl2)（摩尔分数）/10＜50

-6

氟气(F2)（摩尔分数）/10＜50

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4检验规则

4.1采样

取样应当符合GB/T3723及GB/T6681中的相关规定。取样人应穿戴符合7.5要求的个人防护装备。

4.2检验规则

三氟化氯产品应逐一检验。当检验结果均符合表1的技术要求时，判该产品合格。当检验结果有任

何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格。

5试验方法

警示：本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。

5.1三氟化氯纯度

三氟化氯纯度按式（1）计算：

-4

Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5）×10…(1)

式中:

-2

Φ——三氟化氯(ClF3)的纯度，10；

-6

Φ1——氟化氢(HF)的摩尔分数，10；

-6

Φ2——氮(N2)