tft三次作业及施展同学笔记二次雅帝

专有名词调研▲阵列Array 制程部分▲彩膜CF 制程部分▲成盒cell制程部分▲模组module制程部分制作人：张雅帝12341076Array制程部分：超纯水（清洗）： 既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。PECVD等离子体增强化学气相沉积 是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。溅镀sputter

溅镀指物体以离子撞击时，被溅射飞散出。因被溅射飞散的物体附著于目标基板上而制成薄膜。在日光灯的插座附近常见的变黑现象。Array制程部分：Array制程部分：光刻：软烘（SoftBaking） 方法：真空热板，85～120C,30～60秒； 目的：除去溶剂（4～7%）；增强黏附性；释放光刻胶膜内的应力；防止光刻胶玷污设备，边缘光刻胶的去除。后烘（PEB，PostExposureBaking）方法：热板，110～130C,1分钟。目的：a、减少驻波效应；b、激发化学增强光刻胶的PAG产生的酸与光刻胶上的保护基团发生反应并移除基团使之能溶解于显影液。显影（Development） 最普通的正胶显影液是四甲基氢氧化铵，在I线光刻胶曝光中会生成羧酸，TMAH显影液中的碱与酸中和使曝光的光刻胶溶解于显影液，而未曝光的光刻胶没有影响感光树脂层作用原理：图一显示出树脂版材成份之简图，粉红色部份为聚脂结合剂，黄色椭圆形代表感光起动剂〈简称I〉以及橘色分子〈简称M〉为单体树脂分子。图二之1a显示感光起动剂吸收了UV光因而破裂产生激烈的变化。〈破裂的蛋壳以R来表示之〉这种与单体树脂分子间激烈无拘的反应使得它们〈如图二之1b般〉和其他的单体相互连锁反应。此连锁反应的部分亦被称为起动作用。这种活跃的单体分子与其他分子间之反应和结合剂聚合形成交错的网链，版材本身材料的物理性质也因而产生变化，这个部份的连锁反应被称为繁殖作用。〈如图二之2〉当两个活跃的分子〈单体M或激进分子R〉相互反应时形成了一个极不活泼的锁链或成为交错网的一部分，此种反应称为终结〈稳定〉作用〈如图二之3〉最终使得感光部分化学性质发生变化，从而形成特定的形状。彩膜CF制程部分：图二图一成盒cell制程部分：封框胶： 一类是紫外线固化的框胶，主要用在枚片固化方式的生产上；另一类是热固化的框胶，大多数半自动生产线主要是使用这种框胶。由环氧树脂、催化剂和催化剂溶剂混和而成。常温下，框胶里的环氧树脂呈液态，而催化剂则溶解在液态的溶剂里面，框胶未固化时有一定的粘性，但随着不断的搅拌粘度会在一程范围内下降。里面的催化剂溶剂在80度时开始挥发，但要挥发完全，则要在105度左右，这个温度可以避免溶剂挥发过程中催化剂吸取水份；失去溶剂的催化剂会结晶成为晶体。这时它可以支撑起液晶合的上下基板，可以减少后面加温时框胶里的空间粉存受的压力，不致于让空间粉在加温软化后长时间存受压力而产生永久形变，从而改变所设定的液晶盒厚参数。催化剂在1180C左右熔化成液态，随着温度的升高，分散到环氧树脂分子基团里面，升温到1420C左右时，环氧树脂在催化剂的作用下，高速发生聚合反应，形成玻璃态固体，把上下基板粘结在一起。配向层（摩擦定向法) 利用對高分子Polyimide的表面施予絨布滾輪進行接觸式之順向機械式摩擦行為，摩擦高分子表面所供的能量使高分子主鏈因延伸而順向排列，達到液晶配向排列的方法；此項技術的優點為摩擦定向方式操作時間極短，在常溫下操作即可，具有優異量產特性，故沿用至目前的TFT-LCD四代廠製程中；但也有不少缺點，如：PI材料具高極性、高吸水性，於儲存或運送時容易變質而造成配向不均勻；刷膜製程造成的粉塵顆粒、靜電殘留、刷痕產生等問題容易造成製程良率降低可靠性评估（reliabilityassessment）： 元件或系统在给定时间间隔内、规定条件下，连续实现其功能的能力，主要是根据运行时间、工况及环境条件等密切相关的因素，评估继续可靠运行的能力，是一种动态的，时变的过程。冷热冲击ThermalShock

快速温度变化对材料造成的热胀冷缩，激发潜在的品质缺点快速温变ThermalCycling

用来确定产品在高温、低温快速或缓慢变化的气候环境下的储存、运输、使用的适应性。其试验过程是以常温→低温→低温停留→高温→高温停留→常温作为一个循环。ICQ(ingQualityControl):

来料质量控制,检验依照单次抽样标准给予检验判定.OCQ(OutgoingQualityControl)

出货品质检验,主要针对出货品做一全面性的查核确认，以确保客户收货时和约定内容符合一致，以完全达标的方式出货。模块module制程部分：模块module制程部分：AOI–Autoopticalinspection(自动光学检测） 利用光学方式取得成品