TFJAS 003-2024 湿电子化学品 再生铝蚀刻液

ICS13.030.10CCSZ00T/FJAS团 体 标 准T/FJAS003—2024湿电子化学品再生铝蚀刻液wetchemicalsregenerationaluminumEtch2024-06-30发布 2024-06-30实施福建省标准化协会  发布T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次范围 1规范性引用文件 1术语和定义 1技术要求 2试验方法 2检验规则 5标志、包装、运输、贮存 5前 言本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的定起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由福建中融科技有限公司提出。本文件由福建省标准化协会归口。T/FJAS003—2024T/FJAS003—2024PAGEPAGE1湿电子化学品再生铝蚀刻液范围本文件规定了再生铝蚀刻液的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本文件适用于以湿电子化学品行业含铝蚀刻液回收液为原料，经过提纯的铝蚀刻液再生产品(以下简称产品），主要用于显示面板制造行业等。规范性引用文件（包括所有的修改单适用于本文件。GB190 危险货物包装标志GB/T601化学试剂标准滴定溶液配制GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备GB/T6678化工产品采样总则GB/T6680液体化工产品采样通则GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T9728化学试剂硫酸盐测定通用方法GB/T9729化学试剂氯化物测定通用方法GB15603 危险化学品仓库储存通则SJ/T11510 液晶显示器用铝腐蚀液SJ/T11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则术语和定义下列术语和定义适用于本文件。湿电子化学品wetchemicals湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。铝蚀刻液aluminumetch是指一种利用酸类腐蚀剂刻蚀铝及铝合金金属表面的液体材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、水等。回收液liquidrecycling主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金属杂质等。技术要求产品技术要求应符合表1的规定：表1 技术要求项目指标外观无色透明粘稠状液体磷酸w%60.0±20.0醋酸w%12.0±8.0硝酸w%7.0±5.0颗粒(≥0.5um)pcs/mL≤100颗粒(≥1um)pcs/mL≤10氯化物(Cl)mg/kg≤5硫酸盐(SO4)mg/kg≤5锂（Li）μg/kg200钠（Na）μg/kg200钙（Ca）μg/kg500铬（Cr）μg/kg200锰（Mn）μg/kg200铁（Fe）μg/kg500钴（Co）μg/kg200镍（Ni）μg/kg200铜（Cu）μg/kg200锶（Sr）μg/kg200锌（Zn）μg/kg200银（Ag）μg/kg200镉（Cd）μg/kg200铅（Pb）μg/kg200注：由供需双方商定，含量允许偏差值满足合同规定。试验方法一般规定本试验方法中除另有规定外，标准滴定溶液、杂质测定用标准溶液和所用制剂及制品均按GB/T601、GB/T602、GB/T603GB/T6682纯度测定T5自动电位滴定仪；SC-111型铂电极。药品TBAH10（AAR；无水乙醇（AR）。试剂与样品的配置0.1mol/L26.3mL（分析纯mL2～31cm～2cm100mLmol/L。m10001（TAOH）(v1

v

（1）式中:M--邻苯二甲酸氢钾的质量的准确数值；v1--四丁基氢氧，铵溶液的体积；v2--空白试验四丁基氢氧化铵溶液的体积；M--邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。0.5mol/L110g100mL27mL1000mL105℃～1102（10g/L），用配制好的氢氧化钠溶液滴定至溶液呈粉红色，并30s，同时做空白实验。氢氧化钠标准溶液的浓度，数值以摩尔每升（mol/L）表示，按下式计算：m10001（NaOH）(v1

v

（2）式中：m--邻苯二甲酸氢钾的质量的准确数值；v1--氢氧化钠溶液的体积；v2--空白试验氢氧化钠溶液的体积；M--邻苯二甲酸氢钾的摩尔质量。被测样品的制备取被测样品10mL到滴定杯中，加入10mL蒸馏水，每次测定需要同时准备两个相同的被测样品。滴定分析过程2 TBAH先测定HNNa0测定HN和HP0NaOH测定HP02+2 测定混酸中的硝酸10mL10mL0.1mol/LTBAOH3 3 TBAH+HNONO+TN++H3 3 测定混酸中的磷酸和醋酸0.5mo1/Na0H滴定混酸中磷酸和醋酸有两个滴定终点:2 4 4 3 3 4 3 2 4 HNO+HP0+20→NO-+HP0-+2H0HP0-+HAC+20HPO-+A-+2H2 4 4 3 3 4 3 2 4 结果计算硝酸质量百分含量计算式:（NaOH）磷酸质量百分含量计算式：

（TAOH1（HNO 310ml 3

（3）[CNaOH2)]C(TBAOH)1)M(HPO)34（HPO）34

3410mlP

（4）醋酸质量百分含量计算式：（H）

{CNaOH3)

CNOH1]}（H）10mlP

（5）上述三个计算公式中:CVVVM--各物质的摩尔质量；10m1xP--10ml样品的质量。颗粒的测定按SJ/T11510中5.4规定的方法测定。氯化物按GB/T9729中规定的方法测定。按GB/T9728中规定的方法测定。金属元素的测定按SJ/