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文档简介

《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》（征求意见稿）编制说明本团体标准根据《广东省真空学会<广东省真空学会团体标准管理办法>的通知》要求进行制定。起草单位有季华实验室、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司等。《半导体远程等离子体源的解离率提案、立项阶段：2024年7月，季华实验室向省真空学会提出了制定《半导起草（草案、论证）阶段：2024年7月～8月，季华实验室作为本标准的组织单要起草单位，为高质量完成编制起草工作，组织成立标准工作组，确定标准工作方案，负责草案的编写和进度控制。工作组广泛调研半导体远程等离子体源等相关标准及文献对业内进行调研、分析，确定了本标准的主框架、完成了标准草案撰写。随后，工作织了对标准草案和编制说明的论证，对必须注意的事项作了深入讨论与研究，对标准草案2024年8月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展为期意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表述等方遵照团体标准制定原则，积极征询各成员、各领域的意见以保证标准科学性。测试方法的团体标准需要考虑试验方法标准是将试验方法作为标准化对象，建立测定指定特性或在深入调查大量行业代表性远程等离子体源研发制造企业和检测研究机构的基础上，业专家进行研讨论证，广泛征求意见，保证标准的科学性、规范性、时效性，提高标本标准的制定符合产业发展的原则，本着先进性、科学性、合理性和可操作性的原则，本标准规定了半导体远程等离子体源的解离率测试方法的术语和定义、原理、缩略语、测试环境条件、仪器设备及样品、操作准备、测试步骤、数据处理、测量不本标准适用于半导体表面处理、清洗等应用场合中，通入气指明了解离率测试方法的基本原理、方法性质列出了测试中所使用的“测试平台”“冷却系统”“供电系统”“远程等离子体源”给出了“测试人员培训”和“测试注意事项”的准解离率测量不确定度按GB/T34876规定计算，给出了测试过程中不确定度份《半导体远程等离子体源的解离率测试方法》团体标准的推广是一个持续的过程，需要行业、企业、科研测试机构和协会各方面努力合作。将利用会议进行宣贯讲解，邀准起草人讲解标准内容，撰写标准解读文章，在专业杂志或网站或微

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